技术编号：12581813
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种用于调节镀膜源流量的装置。背景技术随着工业的发展，真空镀膜技术在各个行业的应用日益广泛，对真空镀膜源条件的要求也越来越严格：（1）要求镀膜源能线性定量调节；（2）控制工艺设备在真空镀膜工艺中的连续性；（3）减小或避免更换镀膜源对工艺的影响及时间浪费等。如何控制更换和调节镀膜源真空镀膜技术的关键。当前的技术主要是在镀膜源使用到快要结束时通过监控装置来检测，如果需要更换镀膜源，那么就要停机更换，这样会耽误生产时间和影响工艺生产的稳定性。如果能有一种装置能保证镀膜...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。