一种用于调节镀膜源流量的装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种用于调节镀膜源流量的装置。

背景技术：

随着工业的发展，真空镀膜技术在各个行业的应用日益广泛，对真空镀膜源条件的要求也越来越严格：（1）要求镀膜源能线性定量调节；（2）控制工艺设备在真空镀膜工艺中的连续性；（3）减小或避免更换镀膜源对工艺的影响及时间浪费等。如何控制更换和调节镀膜源真空镀膜技术的关键。

当前的技术主要是在镀膜源使用到快要结束时通过监控装置来检测，如果需要更换镀膜源，那么就要停机更换，这样会耽误生产时间和影响工艺生产的稳定性。如果能有一种装置能保证镀膜源的连续更换或增加，那么就能够使我们的工艺在真空镀膜时不需要破真空，直接能连续生产，降低生产成本。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种用于调节镀膜源流量的装置。

本实用新型所采用的技术方案为：

一种用于调节镀膜源流量的装置，包括用于容纳蒸发源的蒸发箱、用于添加蒸发源的料斗、定量调节装置、开关阀以及液位传感器，该料斗、定量调节装置、蒸发箱自上而下依次连接用以传输蒸发源，所述液位传感器设置在蒸发箱内用于检测蒸发箱内的蒸发源高度信号，且该液位传感器与开关阀电性连接以反馈所述蒸发源高度信号，该开关阀与定量调节装置连接以用于根据所述蒸发源高度信号控制定量调节装置的通道开关或开关阀度。

进一步，所述定量调节装置包括自上而下依次设置的上储料仓、中间活动仓、下入料仓，该上储料仓顶部与料斗底部端口连通，中间活动仓与开关阀对接，并受控于该开关阀推动以控制上储料仓与中间活动仓的蒸发源传输以及中间活动仓与下入料仓的蒸发源传输，该下入料仓的出料口与所述蒸发箱连通。

进一步，所述蒸发箱包括上盖、箱体、导流管以及蒸汽运输口，上盖与箱体组成中空的内腔以容纳蒸发源，导流管连通所述下入料仓与蒸发箱内腔，箱体内设置有加热装置用以升温蒸发源为蒸汽，蒸汽运输口连通蒸发箱内外以输送蒸汽并使之沉积到待镀膜基板表面。

其中，所述液位传感器为红外线感应器。

与现有技术相比较，本实用新型具有以下有益效果：通过红外线感应器检测蒸发箱内蒸发源液面高度，并反馈给开关阀来定量调节装置添加蒸发源，保证蒸发箱内蒸发源不会间断，减小设备停机破真空的时间和生产产线工艺设备生产的稳定性，从而降低生产成本。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做进一步的说明。

图1为本实用新型镀膜源流量调节装置的装配图；

图2为本实用新型的定量调节装置分解图；

图3为本实用新型的蒸发箱内部结构图。

具体实施方式

参阅图1所示，为本实用新型的一种用于调节镀膜源流量的装置，包括用于容纳蒸发源的蒸发箱10、用于添加蒸发源的料斗20、定量调节装置30、开关阀40以及液位传感器50。

上述部件的构造及连接关系为：该料斗20、定量调节装置30、蒸发箱10自上而下依次连接用以传输蒸发源，所述液位传感器50设置在蒸发箱10内用于检测蒸发箱10内的蒸发源高度信号，且该液位传感器50与开关阀40电性连接以反馈所述蒸发源高度信号，该开关阀40与定量调节装置30连接以用于根据所述蒸发源高度信号控制定量调节装置30的通道开关或开关阀40度。

需要说明的是，定量调节装置30的通道开关与开关阀40度代指两种控制模式，其中，通道开关就是控制通道的开关次数及时间，而开关阀40度是指始终保持导通，仅仅控制流量大小；总而言之，不同控制模式都是为了保证蒸发箱10内的蒸发源不间断，由料斗20添加、定量调节装置30动态控制流量，不仅限于本实施例提供的两种模式。

如图2所示，本技术方案的定量调节装置30包括自上而下依次设置的上储料仓301、中间活动仓302、下入料仓303，该上储料仓301顶部与料斗20底部端口连通，中间活动仓302与开关阀40对接，并受控于该开关阀40推动以控制上储料仓301与中间活动仓302的蒸发源传输以及中间活动仓302与下入料仓303的蒸发源传输，该下入料仓303的出料口与所述蒸发箱10连通。

上述定量调节装置30的工作过程为：初始状态下，料斗20内的蒸发源直接进入上储料仓301，此时开关阀40未推动活动仓302，因而上储料仓301与中间活动仓302连通而使得的蒸发源填满中间活动仓302；一旦开关阀40触发推动中间活动仓302的信号后，将中间活动仓302推离初始位置而与下入料仓303导通，此时中间活动仓302的蒸发源就进入下入料仓303直至蒸发箱10，当开关阀40将中间活动仓302拉回初始位置，就回到初始状态。该工作过程主要描述前述通道开关模式，而开关阀40度控制模式同理，区别仅在于中间活动仓302与上储料仓301、下入料仓303二者同时连通或者单个连通。

如图3并结合图1所示，所述蒸发箱10包括上盖101、箱体102、导流管103以及蒸汽运输口104，上盖101与箱体102组成中空的内腔以容纳蒸发源，导流管103连通所述下入料仓与蒸发箱10内腔，箱体102内设置有加热装置105用以升温蒸发源为蒸汽，蒸汽运输口104连通蒸发箱10内外以输送蒸汽并使之沉积到待镀膜基板表面。

其中，所述液位传感器50为设置在箱体102侧面的红外线感应器，当然红外线感应器仅作为本技术方案的优选实施例，其他的单法兰静压/双法兰差压液位变送器、浮球式液位变送器、磁性液位变送器、投入式液位变送器、电动内浮球液位变送器、电动浮筒液位变送器、电容式液位变送器、磁致伸缩液位变送器、侍服液位变送器等接触式液位传感器50，以及超声波液位变送器、雷达液位变送器等非接触液位传感器50同样适用于本实用新型。

如上所述，本实用新型通过红外线感应器检测蒸发箱10内蒸发源液面高度，并反馈给开关阀40来定量调节装置30添加蒸发源，保证蒸发箱10内蒸发源不会间断，减小设备停机破真空的时间和生产产线工艺设备生产的稳定性，从而降低生产成本。

以上所述仅为本实用新型的优先实施方式，本实用新型并不限定于上述实施方式，只要以基本相同手段实现本实用新型目的的技术方案都属于本实用新型的保护范围之内。