技术总结
本实用新型公开了一种用于调节镀膜源流量的装置，包括用于容纳蒸发源的蒸发箱、用于添加蒸发源的料斗、定量调节装置、开关阀以及液位传感器，该料斗、定量调节装置、蒸发箱自上而下依次连接用以传输蒸发源，所述液位传感器设置在蒸发箱内用于检测蒸发箱内的蒸发源高度信号，且该液位传感器与开关阀电性连接以反馈所述蒸发源高度信号，该开关阀与定量调节装置连接以用于根据所述蒸发源高度信号控制定量调节装置的通道开关或开关阀度。通过红外线感应器检测蒸发箱内蒸发源液面高度，并反馈给开关阀来定量调节装置添加蒸发源，保证蒸发箱内蒸发源不会间断，减小设备停机破真空的时间和生产产线工艺设备生产的稳定性，从而降低生产成本。
技术研发人员：陈金良;鄢开均;何光俊;齐鹏飞
受保护的技术使用者：中山瑞科新能源有限公司
文档号码：201621249384
技术研发日：2016.11.21
技术公布日：2017.06.09