一种广范围检漏的氦气检漏仪的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12590132

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本实用新型涉及检漏仪器,尤其涉及一种广范围检漏的氦气检漏仪。背景技术氦气检漏仪使用氦气作为检测气体,由于氦气具有分子小质量轻、扩散穿透性强、反应快切稳定等特点,使氦气检漏装置受到重视并广泛使用。目前常用氦气检漏仪的结构示意图如图1所示,其包括磁场偏向性质量分析管a,在进行磁场偏向型的质量分析之后,分析管a内的压力需要保持在10-2Pa以下。为此,设置与涡轮分子泵b相连通的不同压缩率的导入端口g~i,对分析管(1),压缩率较高的导入端口3(9),通过真空计,当试验体内的压力达到1000~2000P...
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