一种广范围检漏的氦气检漏仪的制作方法

本实用新型涉及检漏仪器，尤其涉及一种广范围检漏的氦气检漏仪。

背景技术：

氦气检漏仪使用氦气作为检测气体，由于氦气具有分子小质量轻、扩散穿透性强、反应快切稳定等特点，使氦气检漏装置受到重视并广泛使用。目前常用氦气检漏仪的结构示意图如图1所示，其包括磁场偏向性质量分析管a，在进行磁场偏向型的质量分析之后，分析管a内的压力需要保持在10^-2Pa以下。为此，设置与涡轮分子泵b相连通的不同压缩率的导入端口g～i，对分析管(1)，压缩率较高的导入端口3(9)，通过真空计，当试验体内的压力达到1000～2000Pa左右时进行连接，开始检测。氦气，由于是很小的分子，在涡轮分子泵中相反地往上走，到达分析管(1)，在10^-4～10^-9Pa·m³/s程度范围进行检测。

与此同样的原理，导入端口h，在100～200Pa下连接，在10^-6～10^-11Pa·m³/s程度进行检测，导入端口g，在10～20Pa下进行连接，在10^-7～10^-12Pa·m³/s程度进行检测，按照这样的方式进行。导入端口的数量，根据设计也有2种情况，大约在10^-4～10^-12Pa·m³/s程度为氦气检漏仪的检测范围。进行吸入法的情况下，将吸入探头m与导入口c连接。吸入探头m，大气压与导入端口的连接压力的压差采用毛细管或输入孔那样的结构，一般由导入端口h进行连接。其测定范围，一般在10^-4～10^-8Pa·m³/s的程度。综上，氦气检漏仪在差压式检测试验中无法检测10^-6Pa·m³/s以下的较小漏泄。当吸入了大量的氦气时，会产生氦气检漏仪的后台上升，灵敏度过高，超出检测范围的较大漏泄的位置无法探知的问题。

为了克服现有技术存在无法测量微小泄漏的缺陷，本实用新型提出了一种广范围检漏的氦气检漏仪，在检测对象漏泄量的大小不明的检漏试验时，虽然漏泄量较大，但还属于适当范围的，也可以进行漏泄量检漏。

技术实现要素：

本实用新型提出了一种广范围检漏的氦气检漏仪，其包括高感应度检漏装置，所述高感应度检漏装置包括依次连通的分析管、涡轮分子泵、辅助泵，在所述涡轮分子泵与所述辅助泵之间并联地设有低感应度检漏装置；所述低感应度检漏装置包括：通用浓度计，所述通用浓度计的进气端通过第一阀与所述辅助泵的排气管道相连通，所述排气管道的末端设有排气口；所述通用浓度计的进气端还通过第二阀与所述辅助泵的进气管道相连通；所述通用浓度计的排气端口设有排气管道，所述排气管道的末端设有排气口；低感应度吸入探头，其与所述通用浓度计的排气端口相连通。

本实用新型提出的所述广范围检漏的氦气检漏仪中，所述高感应度检漏装置包括：与所述涡轮分子泵连通的高感应度吸入探头；及与所述涡轮分子泵连通的排气阀。

本实用新型提出的所述广范围检漏的氦气检漏仪中，所述高感应度检漏装置进一步包括：与所述涡轮分子泵连通的真空计。

本实用新型提出的所述广范围检漏的氦气检漏仪中，所述高感应度检漏装置进一步设有测试端口，其与所述真空计、所述排气阀连通。

本实用新型提出的所述广范围检漏的氦气检漏仪中，进一步设有校正漏泄端，所述校正漏泄端与所述测试端口和所述涡轮分子泵连通。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提出了一种广范围检漏的氦气检漏仪，在检测对象漏泄量的大小不明的检漏试验时，虽然漏泄量较大，但还属于适当范围的，也可以进行漏泄量检漏。

附图说明

图1是现有技术中氦气检漏仪的结构示意图。

图2是本实用新型广范围氦气检漏仪的结构示意图。

具体实施方式

结合以下具体实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明。实施本实用新型的过程、条件、实验方法等，除以下专门提及的内容之外，均为本领域的普遍知识和公知常识，本实用新型没有特别限制内容。

图2显示的是本实用新型广范围氦气检漏仪的结构示意图。本实用新型广范围检漏的氦气检漏仪主要由高感应度检漏装置100和低感应度检漏装置200构成。其中，高感应度检漏装置100包括依次连通的分析管1、涡轮分子泵2、辅助泵3、真空计4、测试端口5、校正漏泄端6、排气阀11以及高感应度吸入探头13。分析管1与涡轮分子泵2连通，涡轮分子泵2通过辅助泵阀10与辅助泵3连通。涡轮分子泵2设有导入端口7、8、9，其中，真空计与导入端口7连通，排气阀11与导入端口8连通，高感应度吸入探头13通过吸入探头阀14与涡轮分子泵2连通。其中，由于泵油对通用浓度计的污染抑制检测能力的降低，所以辅助泵3使用卷动型干泵为佳。

低感应度检漏装置200包括：通用浓度计15、低感应度吸入探头16、第一阀17、第二阀18。通用浓度计15的进气端通过第一阀17与辅助泵3的排气管道相连通，排气管道的末端设有排气口19。通用浓度计15的进气端还通过第二阀18与辅助泵3的进气管道相连通。通用浓度计15的排气端口设有排气管道，排气管道的末端设有排气口19。低感应度吸入探头16，其与通用浓度计15的排气端口相连通。

通用浓度计15能测定数百ppm～10％的氦气浓度。本实施例是进行气体音速的测定，在根据音速差来测定被注入的气体浓度的原理基础上，选定浓度计。该通用浓度计15通过辅助泵3的上游和下游的螺栓进行连接。由辅助泵3的排气口分支通过测试端口5在通用浓度计15处由试验对象导入，由辅助泵3进行抽吸，气体则通过低感应度吸入探头16进入通用浓度计15中。由于通用浓度计15的进气端通过第一阀17直接与辅助泵3连接，若流量过大会导致通用浓度计15有内压上升，可能出现破损或是检测不良。所以本实施例第一阀17采用了能够导入对通用浓度计15同时不产生压力的气体量的输入孔。辅助泵3在排气口19处分支通过第一阀17将一部分从试验体排出的气体导入通用浓度计15以检测氦气浓度。经过检测的气体，由排气口19排出。如此，磁场偏向型质量分析管1也能够检测压力外的较大漏泄。

本实用新型使用较大漏泄专用的低感应度吸入探头16。通常的吸入探头的漏泄试验范围在10^-4～10^-8Pa·m³/s，但是如果使用了通用浓度计15，漏泄检测可以达到10^-4Pa·m³/s以上。低感应度吸入探头16导入的大气与从实验体流出的氦气，经过通用浓度计15，通过具有以降低流量为目的的输入孔的第一阀17，由辅助泵3进行排气。所以无需阀门试验所有领域可以采用干式的嗅漏试验。导入端口7在100～200Pa下连接，漏泄试验范围为10^-6～10^-11Pa·m³/s，导入端口8在10～20Pa下进行连接，漏泄试验范围为10^-7～10^-12Pa·m³/s，按照这样的方式进行。因此本实用新型广范围检漏的氦气检漏仪的漏泄试验范围范围在10^-4～10^-8Pa·m³/s。

本实用新型的保护内容不局限于以上实施例。在不背离实用新型构思的精神和范围下，本领域技术人员能够想到的变化和优点都被包括在本实用新型中，并且以所附的权利要求书为保护范围。