专利名称：氦质谱检漏仪接收器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种氦质谱检漏仪的接收器。
背景技术：
氦质谱检漏仪的主要指标灵敏度，也称最小可检测漏率。其测量方法是用
一氦气标准漏孔Q。，接在检漏仪上产生的信号强度S，假设测量系统的噪声N, 那么仪器的灵敏度Q-QoXN/S。 S/N称为信噪比。同样的漏孔产生的信号越强， 灵敏度就越高，而测量系统的噪声越大，灵敏度就越低。为此，提高仪器灵敏 度的方法就是增大信号强度和降低噪声。
检漏仪中除了要检测的氦离子以外，通常有真空中残余气体碰撞产生的杂 散离子或电子进入接收器，为了减少干扰，在入口处装有一抑制电极，并加上 200-400V电压。因为接收极连接的微电流放大器的反馈电阻是IO"Q，阻抗很 高，抑制极和引线上的交流纹波会通过分布电容进入接收电极，形成测量噪声。
发明内容
本发明的目的在于减少测量噪声。在我们的设计中，抑制电极的引线6从 离子源的插头进入，与接收器的其它引线分开，经过屏蔽极2侧面的小孔，插 到抑制极上。抑制电极及引线与接收极之间由屏蔽极隔离，使测量噪声由原来 3-4mv减少为不足lmv。
本发明的另一个发明点是，接收电极通常用不锈钢材料制成，而我们选用 的是产生二次电子效率很高的金属材料，如铝或铍青铜，落入一个正离子可以打出1-2个电子，对正电流而可增加1-2倍的离子流强度。 由于上述改进，使仪器的灵敏度指标提高4-5倍。
下面结合附图对本发明进行说明，其中 图1是氦质谱检漏仪的接收器的示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和实例对本发明进一步说明。
图1为氦质谱检漏仪接收器的示意图。其中1为抑制电极，加200-400V 电压；2为屏蔽极；3是接收极；4是放大器的反馈电阻10"Q; 5是微电流放大 器，6是抑制极的引入线。抑制电极1和引线6单独对地屏蔽2。
经测量，噪声由原来的3-4mv减少为小于lmv,从而降低了抑制电极引线对 接收极的干扰。
权利要求
1.一种氦质谱检漏仪的接收器，检漏仪接收器包括抑制电极1及引线6、接收极3，其中抑制电极1及引线6与接收极3之间由屏蔽极2隔离。
2. 根据权利要求l的接收器，其中接收极3用产生二次电子系数更高的金 属材料。
3. 根据权利要求2的接收极，其中接收极3为铝或铍青铜。
全文摘要
一种氦质谱检漏仪的接收器，检漏仪接收器包括抑制电极1及引线6、接收极3，其中抑制电极1及引线6与接收极3之间由屏蔽极2隔离。其中接收极3用产生二次电子系数更高的金属材料，如铝或铍青铜。
文档编号G01M3/02GK101303266SQ20081013274
公开日2008年11月12日 申请日期2008年7月14日 优先权日2008年7月14日
发明者黄庆文 申请人:北京中科科仪技术发展有限责任公司