封装管壳密封性检测系统的检测方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及零件密封性检测装置技术领域，尤其是涉及封装管壳密封性检测系统 的检测方法。
【背景技术】
[0002] 氦质谱喷氦检漏法是将封装管壳通过密封垫及真空硅脂等密封件与氦质谱检漏 仪进行密封连接，之后对封装管壳抽真空处理，当检漏仪的质谱室达到稳定状态后，用装有 氦气的喷枪向封装管壳疑似漏气部位喷吹氦气，氦气被吸入封装管壳内部并进入氦质谱检 漏仪，由输出仪表显示漏孔的漏率值，及通过喷氦枪喷吹来判断漏孔的位置从而完成检漏 测试。
[0003] 目前，国家标准及试验方法中没有对喷氦时间及移动速度两个重要的检漏参数作 相关规定，导致检验人员对管壳检漏只能靠经验操作，易造成试验结果漏判或误判。此外， 传统手工操作管壳密封性检测也存在检漏灵敏度低、漏孔位置难以确定及喷氦压力无法满 足等问题，对于低漏率(小于5Xl(T 4pa · cm3/s)的非线性特殊封装异形管壳更是无法满足 密封性检测要求。同时，市场上尚未有封装管壳密封性自动喷氦检漏系统，不利于检测结果 的准确性、重复性。
【发明内容】
[0004] 基于此，本发明在于克服现有技术的缺陷，提供一种封装管壳密封性检测系统的 检测方法，实现封装管壳密封性的自动化检测，大大提供检测精度和效率，且该系统结构简 单，操作简便，可靠性较高。
[0005] 本发明的目的是这样实现的：
[0006] -种封装管壳密封性检测系统的检测方法，包括如下步骤：
[0007] S1、将被测封装管壳固定于检测平台上，抽真空装置和质谱检漏仪均与被测封装 管壳密封连接；
[0008] S2、将喷枪固定于支撑驱动装置，并保持喷枪喷嘴与被测封装管壳的疑漏部位相 对；
[0009] S3、抽真空装置对被测封装管壳进行抽真空处理，供气装置动作，喷枪对多个疑漏 部位进行喷吹;喷枪喷吹疑漏部位的同时，质谱检漏仪进行漏率值的测定；
[0010] S4、判断质谱检漏仪是否检测到的相对漏率值，若是，当前检测部位则确定为实际 泄漏部位，若否，则进入步骤S3对下一个疑漏部位进行检测。
[0011] 进一步地，在步骤S1之前还包括利用标准真空漏孔对质谱检漏仪进行校准。
[0012] 进一步地，在步骤S3之前还包括测量被测封装管壳的壳腔体积和疑漏部位的尺 寸，并根据质谱检漏仪的电路反应时间、抽真空装置的抽气速率以及喷枪喷出气体的浓度 来计算喷枪喷吹时间。
[0013] 进一步地，步骤S3中所述的喷枪喷吹时间的计算公式为：
[0014]
[0015] At-为喷吹时间，s;
[0016] Τι 一检漏仪电路反应时间，s;
[0017] SHe-检漏仪对氦气的抽速，m3/s;
[0018] rHe-氦气百分比浓度，％ ;
[0019] V-被测样品的体积，m3;
[0020] Q'min一最小有效可检漏率，Pa · m3/s;
[0021] Qmin一最小可检漏率，Pa · m3/s。
[0022] 进一步地，在步骤S3中还包括根据测量出的疑漏部位的尺寸，控制喷枪的工作模 式为定点喷射或往复扫喷。
[0023]进一步地，步骤S2中还包括根据喷枪枪嘴的直径及喷枪枪嘴距离被测管壳表面的 距离，设定喷枪对被测管壳疑漏部位的喷吹速度。
[0024]进一步地，在步骤S2之前还包括在被测封装管壳上罩设回流罩。
[0025]本发明的有益效果在于：
[0026] 上述封装管壳密封性检测系统的检测方法通过所述检测装置和所述抽真空装置 均与所述测试件密封连接，所述喷气装置、所述抽真空装置和所述支撑驱动装置与所述控 制装置电性连接，较之以前的手动操作相比，可以在实现封装管壳的自动化检漏工作的同 时，消除人为操作产生的误差，从而可以极大提高检测的准确性和检测效率，且该系统操作 简便，可靠性较高。
【附图说明】
[0027] 图1为本发明实施例所述的封装管壳密封性检测系统的检测方法的检测流程图。
【具体实施方式】
[0028] 下面对本发明的实施例进行详细说明：
[0029] 如图1所示，一种封装管壳密封性检测系统的检测方法，包括如下步骤：
[0030] S1、将被测封装管壳固定于检测平台上，抽真空装置和质谱检漏仪均与被测封装 管壳密封连接；
[0031] S2、将喷枪固定于支撑驱动装置，并保持喷枪喷嘴与被测封装管壳的疑漏部位相 对；
[0032] S3、抽真空装置对被测封装管壳进行抽真空处理，供气装置动作，喷枪对多个疑漏 部位进行喷吹;喷枪喷吹疑漏部位的同时，质谱检漏仪进行漏率值测定；
[0033] S4、判断质谱检漏仪是否检测到的相对漏率值，若是，当前检测部位则确定为实际 泄漏部位，若否，则进入步骤S3对下一个疑漏部位进行检测。
[0034]其中，上述封装管壳密封性检测系统主要包括测试件、控制装置、喷气装置、抽真 空装置、检测装置以及支撑驱动装置，所述检测装置与所述测试件密封连接，所述抽真空装 置与所述测试件密封连接，所述喷气装置包括喷气件，所述喷气件固定于所述支撑驱动装 置并与所述测试件相对设置，所述喷气装置、所述抽真空装置及所述支撑驱动装置均与所 述控制装置电性连接，上述各个动作和检测部件均由所述控制装置空气完成相应的工作， 通过所述检测装置和所述抽真空装置均与所述测试件密封连接，所述喷气装置、所述抽真 空装置和所述支撑驱动装置与所述控制装置电性连接，较之以前的手动操作相比，可以在 实现封装管壳的自动化检漏工作的同时，消除人为操作产生的误差，从而可以大大提高测 试数据的精确性和检测效率，且该系统操作简便，可靠性较高。
[0035] 此外，所述抽真空装置为真空栗，真空栗包括涡轮分子栗TMH 071和IWATA涡旋栗 ISP-500B，在其他实施例中，上述装置也可以采用其他型号。所述质谱检漏仪具体为氦质谱 检漏仪，即用氦气作为示漏气体，在其他实施例中也可以采用氢气等其他气体。真空栗和氦 质谱检漏仪通过真空硅脂和橡胶密封垫与被测封装管壳连接，以保证优良的密封性能，被 测封装管壳放置于检测平台上，抽真空装置置于检测平台下方。
[0036]为了确保还质谱检漏仪的正常工作，在步骤S1之前还包括利用标准真空漏孔对质 谱检漏仪进行校准，使其具有良好的检测精度和灵敏性。
[0037] 上述喷气装置具体包括高压氦气气罐、流量计、减压阀、管路、喷枪等，喷枪固定于 支撑驱动装置上并有控制装置驱动，为了提高检测方法的便利性，喷枪的喷嘴应正对被测 物体，且喷枪应当是方便装拆的固定结构，流量计用于控制气流的速度和浓度，减压阀用于 调节供气压力确保试验安全。
[0038] 在步骤S3中包括对多个疑漏部位进行漏率值测定，质谱检漏仪检测到