技术编号：12596394
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及制造技术领域，尤其涉及一种程序卡和工艺程序获取方法。背景技术现有的七八十年代的自动刻蚀机，可以通过控制模块更改刻蚀工艺程序的参数，以获得不同的刻蚀工艺程序，例如设置不同的刻蚀时间，刻蚀选择气体，刻蚀功率，刻蚀的步骤等一系列参数。但是每个刻蚀工艺程序包含很多参数，每换一个工艺程序，都要编辑一遍程序，要花很长时间，并且出错率高，每出错一次，就会导致巨大的经济损失。而对于自动刻蚀设备，只有工程师有权限去编辑工艺程序，每台设备都安排一个工程师去专门编辑工艺程序，会浪费大量的人力。因此自动...
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请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。