一种蒸发源系统及真空蒸镀装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12636261

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型实施例涉及显示技术领域,尤其涉及一种蒸发源系统及真空蒸镀装置。背景技术构成有机电致发光器件的各膜层一般通过蒸镀形成,线状蒸发源由于其成膜均匀的特性被广发应用于有机电致发光器件的制作。对于需要共混掺杂多种材料的膜层,需要多个蒸发源蒸镀成膜,目前采用多个蒸发源进行下料的共蒸镀,在每个线状蒸发源两侧设置角度板,通过调整角度板到每个线状蒸发源的距离以及角度板的高度调节对应每个线状蒸发源的蒸发角以及蒸发面积。一方面,线状蒸发源之间有一定的间隔,势必会导致蒸镀的膜层除了不同材料共混掺杂的部分,还存...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 王老师:功能高分子材料,污水处理,电化学合成
  • 赵老师:1. 金属材料表面改性技术 2. 超硬陶瓷材料制备与表面硬化 3. 规整纳米材料制备及应用研究
  • 王老师:1.数字信号处理 2.传感器技术及应用 3.机电一体化产品开发 4.机械工程测试技术 5.逆向工程技术研究
  • 王老师:1.精密/超精密加工技术 2.超声波特种加工 3.超声/电火花复合加工 4.超声/激光复合加工 5.复合能量材料表面改性 6.航空航天特种装备研发
  • 郝老师:1. 先进材料制备 2. 环境及能源材料的制备及表征 3. 功能涂层的设计及制备 4. 金属基复合材料制备
  • 刘老师:非常规环境下二次电池关键材料与电化学机理,锂/钠离子电池,锂-空气电池关键材料,多孔合金电极材料,新型二次电池的设计与改性。
  • 丁老师:1.材料物理与化学 2.新能源材料与技术 3.纳米多孔金属 4.纳米催化/电催化 5.化学合成及修饰 6.燃料电池 7.生物传感器
  • 王老师:机械制造