技术编号:12636261
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型实施例涉及显示技术领域,尤其涉及一种蒸发源系统及真空蒸镀装置。背景技术构成有机电致发光器件的各膜层一般通过蒸镀形成,线状蒸发源由于其成膜均匀的特性被广发应用于有机电致发光器件的制作。对于需要共混掺杂多种材料的膜层,需要多个蒸发源蒸镀成膜,目前采用多个蒸发源进行下料的共蒸镀,在每个线状蒸发源两侧设置角度板,通过调整角度板到每个线状蒸发源的距离以及角度板的高度调节对应每个线状蒸发源的蒸发角以及蒸发面积。一方面,线状蒸发源之间有一定的间隔,势必会导致蒸镀的膜层除了不同材料共混掺杂的部分,还存...
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