一种蒸发源系统及真空蒸镀装置的制作方法

本实用新型实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸发源系统及真空蒸镀装置。

背景技术：

构成有机电致发光器件的各膜层一般通过蒸镀形成，线状蒸发源由于其成膜均匀的特性被广发应用于有机电致发光器件的制作。对于需要共混掺杂多种材料的膜层，需要多个蒸发源蒸镀成膜，目前采用多个蒸发源进行下料的共蒸镀，在每个线状蒸发源两侧设置角度板，通过调整角度板到每个线状蒸发源的距离以及角度板的高度调节对应每个线状蒸发源的蒸发角以及蒸发面积。

一方面，线状蒸发源之间有一定的间隔，势必会导致蒸镀的膜层除了不同材料共混掺杂的部分，还存在只包含某一种材料的单层膜层，随着蒸发源个数的增多，单层膜层和薄层膜层也会更多更复杂，降低了成膜的均匀性。

另一方面，蒸镀相同面积的共混掺杂膜层，由于每相邻两线状蒸发源之间均设置有角度板，蒸发角会随着线状蒸发源的增多而增大。但是，蒸发角的增大会增加蒸镀过程中的阴影效应。特定形状的膜层一般需要通过掩膜版进行蒸镀，当线状蒸发源喷嘴喷射出的蒸镀材料垂直于掩膜板通孔位置即蒸发角为零时，能够形成需要的蒸镀形状，随着蒸发角的增加，蒸镀材料经过掩膜版通孔形成扇面形状，在需要成膜位置的两侧延伸蒸镀材料，造成阴影效应，且蒸发角越大，成膜位置两侧延伸的蒸镀材料越多，阴影效应越严重，而阴影效应影响掩膜板开口率的增加，造成不同发光颜色像素区域之间出现混色现象，进而影响有机电致发光器件的显示质量。

技术实现要素：

本实用新型提供一种蒸发源系统及真空蒸镀装置，以实现增加多个线状蒸发源共蒸镀成膜均匀性的同时，减小由于蒸发角增大导致的阴影效应，提高有机电致发光器件的显示质量。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种蒸发源系统，包括：

至少两个线状蒸发源，所述线状蒸发源包括沿其延伸方向设置的多个喷嘴；

不同所述线状蒸发源沿所述线状蒸发源延伸方向对应位置处的所述喷嘴构成一喷嘴组，每个所述喷嘴组中的任意两个所述喷嘴之间的距离小于等于20厘米。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种真空蒸镀装置，包括第一方面所述的蒸发源系统。

本实用新型实施例提供了一种蒸发源系统及真空蒸镀装置，通过将不同线状蒸发源沿线状蒸发源延伸方向对应位置处的喷嘴构成一喷嘴组，且使每个喷嘴组中的任一两个喷嘴组之间的距离小于等于20厘米。解决了多个线状蒸发源进行共蒸镀时，由于每相邻两线状蒸发源之间均设置有角度板，蒸镀膜层均与性差，蒸发角大导致的阴影效应严重的问题，提高多个线状蒸发源共蒸镀成膜均匀性的同时，降低了由于蒸发角增大导致的阴影效应，提高了有机电致发光器件的显示质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种蒸发源系统的俯视结构示意图；

图2为图1所示蒸发源系统的局部剖面结构示意图；

图3为图1所示蒸发源系统的一种结构示意图；

图4为图1所示蒸发源系统的又一种结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的又一种蒸发源系统的俯视结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的又一种蒸发源系统的俯视结构示意图。

图7为本实用新型实施例提供的一种真空蒸镀装置示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

本实用新型实施例提供了一种蒸发源系统，包括至少两个线状蒸发源，线状蒸发源包括沿其延伸方向设置的多个喷嘴，且不同线状蒸发源沿线状蒸发源延伸方向对应位置处的喷嘴构成一喷嘴组，每个喷嘴组中的任意两个喷嘴之间的距离小于等于20厘米。

真空蒸镀使用的线状蒸发源具有封入蒸镀材料的坩埚和喷出蒸镀材料的喷嘴，进行真空蒸镀时，使蒸镀材料从加热的坩埚蒸发或升华，从喷嘴向设置于真空腔室内的待蒸镀基板或膜层上喷射气化的蒸镀材料形成所需膜层。

当需要在同一腔室内对两种以上不同材料共混掺杂的膜层进行蒸镀时，采用共蒸镀技术，即在相同的真空腔室中设置多个线状蒸发源，在不同的线状蒸发源的坩埚内配置不同的材料。

本实用新型实施例提供了一种蒸发源系统，通过将不同线状蒸发源沿线状蒸发源延伸方向对应位置处的喷嘴构成一喷嘴组，且使每个喷嘴组中的任意两个喷嘴之间的距离小于等于20厘米，可选的，任意两个喷嘴之间的距离小于2厘米，大大减小了用于蒸镀不同材料的线状蒸发源喷嘴之间的距离，解决了多个线状蒸发源进行共蒸镀时，由于角度板的设置而导致的蒸镀膜层均匀性差，以及蒸发角增大导致的阴影效应严重的问题，提高多个线状蒸发源共蒸镀成膜均匀性的同时，降低了由于蒸发角增大导致的阴影效应，提高了有机电致发光器件的显示质量。

可选的，沿线状蒸发源延伸方向，不同线状蒸发源的喷嘴可以交替设置，且使交替设置的不同线状蒸发源喷嘴之间的距离小于2厘米。可选的，沿线状蒸发源延伸方向的垂直方向，不同线状蒸发源的喷嘴也可以并排设置，且使并排设置的不同线状蒸发源喷嘴之间的距离小于2厘米，以提高不同线状蒸发源共蒸镀成膜的均匀性，同时降低由于蒸发角增大导致的阴影效果。

可选的，至少一线状蒸发源用来蒸发的材料包括有机发光主体材料，至少一线状蒸发源用来蒸发的材料包括有机发光客体材料。示例性的，有机电致发光器件中的发光材料层可以包括有机发光主体材料和有机发光客体材料，例如红色像素区域的发光材料层和/或蓝色像素区域的发光材料层可以采用一种或两种有机发光主体材料并掺杂有有机发光客体材料，绿色像素区域的发光材料层可以采用至少两种有机发光主体材料并掺杂有机发光客体材料，可以通过本实用新型实施例提供的蒸发源系统制作有机电致发光器件的发光材料层的有机发光主客体材料共混掺杂膜层。

可选的，至少两个线状蒸发源被控制为同时进行蒸镀。示例性的，可以控制至少两个线状蒸发源沿同一方向同时运动，能够保证共蒸镀成膜的均匀性。需要说明的是，本实用新型对每个线状蒸发源蒸镀时的运动方向不作限定，只要保证用于蒸镀不同材料的线状蒸发源可以被控制同时进行蒸镀以形成均匀的共混掺杂膜层即可。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型实施例提供的一种蒸发源系统的俯视结构示意图，图2为图1所示蒸发源系统的局部剖面结构示意图。如图1所示，蒸发源系统包括第一线状蒸发源和第二线状蒸发源，沿第一线状蒸发源延伸方向排列设置的多个第一喷嘴1，沿第二线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第二喷嘴2，沿线状蒸发源延伸方向，第一喷嘴1和第二喷嘴2交替设置，且每个第一喷嘴1与对应的第二喷嘴2之间的距离d小于等于20厘米。

可选的，蒸发源系统还包括盖板110，所有的喷嘴对应同一盖板110。示例性的，第一线状蒸发源和第二线状蒸发源对应位置处的喷嘴可以构成一喷嘴组，如图1所示，第一喷嘴1和第二喷嘴2可以构成一喷嘴组100。示例性的，第一线状蒸发源用于蒸镀第一材料，第二线状蒸发源用于蒸镀第二材料，二者可以被同时控制进行第一材料与第二材料的共混蒸镀，图1中的第一喷嘴1与第二喷嘴2之间的距离d小于等于20厘米，相对于在第一线状蒸发源与第二线状蒸发源之间设置角度板的情况，本实用新型实施例提供的蒸发源系统中的第一喷嘴1与第二喷嘴2之间的距离d大大减小，在形成第一材料与第二材料共混掺杂的膜层时带来的阴影效应也大大降低，降低了混色现象对有机电致发光器件的影响。

示例性的，第一材料可以为有机发光主体材料，第二材料可以为有机发光客体材料，需要说明的是，本实用新型实施例对第一材料与第二材料的具体类型不作限定。

如图2所示，示例性的蒸发源系统可以包括第一线状蒸发源11、第二线状蒸发源12以及盖板(未示出)。第一线状蒸发源11用于蒸镀第一材料，第二线状蒸发源12用于蒸镀第二材料。可选的，在蒸发源系统的两侧设置角度板13，角度板13用于根据需要的第一材料和第二材料共混掺杂膜层的宽度与预设位置，阻挡第一线状蒸发源11喷射的第一材料与第二线状蒸发源12喷射的第二材料，以在基板10的预设位置上形成蒸发面积为S的第一材料与第二材料的共混掺杂膜层。

在两侧角度板13的作用下，第一线状蒸发源11喷射的第一材料形成切面扇形夹角为α₁的蒸发角，第二线状蒸发源12喷射的第二材料形成切面扇形夹角为α₂的蒸发角，可以通过调整角度板之间的间距L、角度板的高度H以及第一线状蒸发源11与第二线状蒸发源12的位置，控制两蒸发源在基板10上形成的第一材料与第二材料共混掺杂膜层的蒸发面积S与蒸镀位置。

由于用于蒸镀第一材料的第一线状蒸发源11上的第一喷嘴1与用于蒸镀第二材料的第二线状蒸发源12上的第二喷嘴2沿两蒸发源的延伸方向交替设置，二者之间的距离d小于等于20厘米，示例性的，可以设置第一线状蒸发源与第二线状蒸发源之间的距离为2厘米，两线状蒸发源在共蒸镀时，相对于在两线状蒸发源之间设置角度板，可以认定为第一线状蒸发源11喷射第一材料形成的扇面，与第二线状蒸发源12喷射第二材料形成的扇面几乎重合，如图2所示，即二者在基板10上形成的蒸发面几乎重合。

这样使第一喷嘴1与第二喷嘴2交替设置，且使二者之间的距离d小于等于20厘米，一方面，大大减小了两线状蒸发源对应的蒸发角，也就降低了在形成第一材料与第二材料的共混掺杂膜层时产生的阴影效应，降低了混色现象对有机电致发光器件显示质量的影响。另一方面，由于两线状蒸发源喷射蒸镀材料形成的两扇面几乎重合，减小了蒸发源系统在形成第一材料与第二材料的共混掺杂膜层时，基板10上的单层膜层或薄层膜层的面积，即减小了只含有某一种材料的膜层的面积，增加了第一材料与第二材料共混掺杂膜层的均匀性。

需要说明的是，图2为了清楚地显示第一线状蒸发源11与第二线状蒸发源12共蒸镀时，喷射蒸镀材料形成扇面的位置关系，将两线状蒸发源之间的距离绘制为图2所示的距离，但图2中的位置关系并不代表实际的尺寸。

图3为图1所示蒸发源系统的一种结构示意图，如图3所示，第一线状蒸发源还包括第一坩埚111，第二线状蒸发源还包括第二坩埚121，第一坩埚111与第二坩埚121位于同一层，第一线状蒸发源和第二线状蒸发源在沿工作移动方向(AA’方向)的侧面具有间隔设置的凸起结构，第一喷嘴1位于第一线状蒸发源凸起结构的蒸发面上，第二喷嘴2位于第二线状蒸发源凸起结构的蒸发面上，如图3所示，这里的蒸发面是指线状蒸发源凸起结构面向蒸镀基板(未示出)的一侧，即面向盖板110的一侧，两线状蒸发源的凸起结构相互嵌合，且第一喷嘴1与第二喷嘴2位于盖板110上与各喷嘴对应的通孔4中，示例性的，各喷嘴可以经由螺纹连接在通孔4上。

图4为图1所示蒸发源系统的又一种结构示意图，如图4所示，第一线状蒸发源还包括第一坩埚111，第二线状蒸发源还包括第二坩埚121，第一坩埚111与第二坩埚121位于不同层，第一线状蒸发源在沿工作移动方向(AA’方向)的侧面具有间隔设置的凸起结构，第一喷嘴1位于凸起结构的蒸发面上，第二线状蒸发源的每一第二喷嘴2位于相邻凸起结构的每一间隙中，且第一喷嘴1与第二喷嘴2位于盖板110上与各喷嘴对应的通孔4中，示例性的，各喷嘴可以经由螺纹连接在通孔4上。

图5为本实用新型实施例提供的又一种蒸发源系统的俯视结构示意图，如图5所示，蒸发源系统包括第一线状蒸发源和第二线状蒸发源，沿第一线状蒸发源延伸方向排列设置的多个第一喷嘴1，沿第二线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第二喷嘴2，沿线状蒸发源延伸方向的垂直方向，第一喷嘴1和第二喷嘴2并排设置，且每个第一喷嘴1与对应的第二喷嘴2之间的距离d小于等于20厘米。

可选的，所有的喷嘴对应同一盖板110。示例性的，第一线状蒸发源和第二线状蒸发源对应位置处的喷嘴可以构成一喷嘴组，如图5所示，第一喷嘴1和第二喷嘴2可以构成一喷嘴组101。示例性的，第一线状蒸发源用于蒸镀第一材料，第二线状蒸发源用于蒸镀第二材料，两者可以被同时控制进行第一材料与第二材料的共混蒸镀，图5中的第一喷嘴1与第二喷嘴2之间的距离d小于等于20厘米，相对于在第一线状蒸发源与第二线状蒸发源之间设置角度板的情况，本实用新型实施例提供的蒸发源系统中的第一喷嘴1与第二喷嘴2之间的距离d大大减小，在形成第一材料与第二材料共混掺杂的膜层时带来的阴影效应也大大降低，降低了混色现象对有机电致发光器件的影响。

图6为本实用新型实施例提供的又一种蒸发源系统的俯视结构示意图，如图6所示，蒸发源系统包括第一线状蒸发源、第二线状蒸发源和第三线状蒸发源，沿第一线状蒸发源延伸方向排列设置的多个第一喷嘴1，沿第二线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第二喷嘴2，沿第三线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第三喷嘴3，沿每个线状蒸发源延伸方向对应位置处的喷嘴组成喷嘴组，如图6所示，第一喷嘴1、第二喷嘴2和第三喷嘴3构成一喷嘴组102，,喷嘴组102中的第一喷嘴1、第二喷嘴2和第三喷嘴3的排列位置构成三角形，且喷嘴组102中的任意两喷嘴之间的距离小于20厘米，即每个喷嘴组102中的第一喷嘴1与第二喷嘴2之间的距离d₁、第一喷嘴1与第三喷嘴3之间的距离d₂和第二喷嘴2与第三喷嘴3之间的距离d₃均小于等于20厘米，以保证喷嘴组102中的喷嘴足够靠近。

可选的，所有的喷嘴对应同一盖板110。示例性的，第一线状蒸发源用于蒸镀第一材料，第二线状蒸发源用于蒸镀第二材料，第三线状蒸发源用于蒸镀第三材料，三者可以被同时控制进行第一材料、第二材料与第三材料的共混蒸镀，图6中每一喷嘴组102中喷嘴之间的距离小于等于20厘米，相对于在第一线状蒸发源、第二线状蒸发源与第三线状蒸发源任意两蒸发源之间设置角度板的情况，本实用新型实施例提供的蒸发源系统中每一喷嘴组102中喷嘴之间的距离，在形成第一材料与第二材料共混掺杂的膜层时带来的阴影效应也大大降低，降低了混色现象对有机电致发光器件的影响。

需要说明的是，每一喷嘴组102中的第一喷嘴1、第二喷嘴2和第三喷嘴3也可以沿线状蒸发源延伸方向的垂直方向并排设置，也可以以本领域技术人员可以想到的其他排列方式设置，只要保证每一喷嘴组中的喷嘴之间的距离小于等于20厘米即可。本实用新型实施例附图只是示例性的示出喷嘴之间的间距以及喷嘴组之间的间距，不表示实际的间距大小与间距比例。

本实用新型实施例还提供了一种真空蒸镀装置，包括上述任意实施例中的蒸发源系统，还可以包括蒸镀腔室和蒸镀基板。图7示例性的示出一种真空蒸镀装置的结构示意图。如图2所示，真空蒸镀装置包括蒸镀腔室5，蒸镀基板6以及蒸发源系统7，进行真空蒸镀时，蒸发源系统7沿AA’方向移动喷射蒸镀材料至蒸镀基板6上，可以通过掩膜版形成所需膜层。本实用新型实施例提供的真空蒸镀装置包括上述实施例中的蒸发源系统，因此本实用新型实施例提供的真空蒸镀装置也具备上述实施例中所描述的有益效果，此处不再赘述。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。