过渡舱及真空蒸镀设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种过渡舱及真空蒸镀设备，涉及真空蒸镀技术领域，以有效地除去过渡舱内壁上的杂质颗粒，降低基板蒸镀的不良率。所述过渡舱包括舱体以及设置在舱体内的充气管，还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。所述真空蒸镀设备包括上述技术方案所提的过渡舱。本实用新型提供的过渡舱及真空蒸镀设备用于显示基板的制造。
【专利说明】
过渡舱及真空蒸镀设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，尤其涉及一种过渡舱及真空蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]在真空蒸镀设备的过渡舱(1adlack)的舱体中通常设有充气管，该充气管用于对过渡舱的舱体进行充气(vent)或吹扫(purge)。现有技术的充气管通常为圆筒状，其一端或两端通过进气管与充气设备连通，且充气管的整个筒壁上设置有多个气孔。
[0003]在对过渡舱的舱体进行充气时，充气设备通过进气管向充气管内通入氮气等气体，这些气体通过气孔进入舱体内；在对上述舱体进行吹扫时，充气设备通过进气管向充气管内通入氮气等气体，这些气体通过气孔形成气流，吹扫舱体的内壁，除去内壁上附着的杂质颗粒(particle)。
[0004]然而，由于部分杂质颗粒与过渡舱的舱体的内壁的粘结十分紧密，致使上述吹扫过程无法有效地除去上述杂质颗粒，而这些没有除去的杂质颗粒进入真空蒸镀室内，导致基板蒸镀的不良率升高。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种过渡舱及真空蒸镀设备，以有效地除去过渡舱内壁上的杂质颗粒，降低基板蒸镀的不良率。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:
[0007]第一方面，一种过渡舱，包括舱体以及设置在所述舱体内的充气管，该过渡舱还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。
[0008]此外，所述过渡舱还包括进气管，所述进气管的一端通过旋转接头与所述舱体内的所述充气管连通;所述进气管的另一端穿过所述舱体的侧壁，与舱体之外的充气设备连通。
[0009]充气管的气孔的具体设置方式如下:
[0010]所述充气管的筒壁包括两个半圆筒状的区域，其中一个半圆筒状的区域内设有多个第一气孔。
[0011]关于该第一气孔的形状，其在内筒壁处的孔径小于在外筒壁处的孔径。具体地，所述第一气孔的形状可为圆台，根据该圆台所确定的圆锥的锥角的范围为120°?140°，优选为130。ο
[0012]所述充气管的两端分别设置有第二气孔，所述第二气孔分布在所述充气管的筒壁的整个周向上。
[0013]关于该第二气孔的形状，其在内筒壁处的孔径小于在外筒壁处的孔径。具体地，所述第二气孔的形状可为圆台，且根据该圆台所确定的圆锥的锥角的范围为110°?130°，优选为120°。
[0014]优选地，过渡舱还包括控制元件，所述控制元件与所述电动机连接，用于启动或停止所述电动机、以及控制所述电动机的转速。
[0015]在本实用新型提供的过渡舱中，充气管与设置在舱体的侧壁上的电动机连接，电动机驱动充气管绕自身轴向旋转。从而，在对舱体的内壁进行清理时，在旋转的充气管的作用下，上述气流以与内壁之间存在一定的倾斜角度的方向对舱体的内壁进行吹扫。而现有技术中充气管不旋转，从充气管喷出的气流的流向垂直指向过渡舱的舱体内壁，从而杂质颗粒的受力方向垂直指向舱体侧壁，导致杂质颗粒与舱体内壁粘合的更牢固而更难以除去。因此，与现有技术相比，本实用新型能够更有效地除去过渡舱的侧壁上的杂质颗粒。
[0016]第二方面，本实用新型还提供了一种真空蒸镀设备，包括上述任一项技术方案所述的过渡舱。
[0017]相对于现有技术，本实用新型所提供的真空蒸镀设备与上述技术方案所提供的过渡舱所具有的有益效果相同，此处不再赘述。
【附图说明】
[0018]此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0019]图1为本实用新型实施例所提供的过渡舱的剖面示意图。
[0020]附图标记:
[0021]10-舱体， 20-充气管，
[0022]21-第一气孔，22-第二气孔，
[0023]30-电动机 40-进气管。
【具体实施方式】
[0024]为了进一步说明本实用新型实施例提供的过渡舱及真空蒸镀设备，下面结合说明书附图进行详细描述。
[0025]本实用新型实施例提供一种用于真空蒸镀设备中的过渡舱，具体地，真空蒸镀设备用于显示基板的制作，其能够在真空环境中将材料加热并镀到玻璃基板上形成功能层(即真空蒸镀)。进而通过图案化工艺等后续工艺对形成的功能层进行蚀刻，即可在玻璃基板上形成需要的部件，以实现显示功能。
[0026]由于上述真空蒸镀必须在真空蒸镀室中进行，因此，为避免在取放玻璃基板的过程中破坏真空蒸镀室内的真空环境，真空蒸镀设备通常还包括过渡舱，该过渡舱包括舱体10，舱体10的一端通过第一密封阀门(未图示)与真空蒸镀室连通，另一端通过第二密封阀门(未图示)与外界环境连通，并且，舱体10还与真空栗连通，真空栗用于抽出或排放舱体10中的空气。
[0027]在需要向真空蒸镀室送入工具或待加工的玻璃基板等时，将第一密封阀门关闭；接着将第二密封阀门打开，将玻璃基板或工具送入;而后将第二的密封阀门关闭，启动与过渡舱连通的真空栗，将过渡舱内的气体抽出，使过渡舱的舱体10内变为真空;然后打开第一密封阀门，将玻璃基板或工具等送入真空蒸镀室;最后关闭第一密封阀门。在需要取出工具或加工完毕的玻璃基板等时，参照上述过程逆向进行。从而在玻璃基板等出入真空蒸镀室时，通过过渡舱的设置确保真空蒸镀室保持真空环境。
[0028]如图1所示，过渡舱的舱体10内设有充气管20，充气管20上设有气孔，该充气管20与真空蒸镀室之外的充气设备连通，能够实现如下两个作用:
[0029]作用一，避免玻璃基板冷却过快导致玻璃基板上已形成的膜层脱落。具体地，在将蒸镀完毕的玻璃基板等从真空蒸镀室取出的情况下，在该玻璃基板从真空蒸镀室进入过渡舱后，需要关闭第一密封阀门并向舱体10内通入气体，以使舱体10内与外界气压平衡，同时对过渡舱内的玻璃基板进行冷却。与直接将气体充入过渡舱内相比，气体通过充气管20上的气孔进入过渡舱内需要的时间较长，从而使过渡舱内的气压与大气压平衡的时间较长，这降低了玻璃基板通过热传导向周围气体释放热量的速度，进而降低了玻璃基板的冷却速度，避免玻璃基板上的膜层脱落。
[0030]作用二，清理过渡舱以减少由过渡舱进入真空蒸镀室的杂质颗粒。由于过渡舱与真空蒸镀室及外界大气连通，因此，过渡舱的内壁上经常附着各类杂质颗粒，因此需要经常对过渡舱进行清理，防止杂质颗粒进入真空蒸镀室造成玻璃基板镀膜不良。为此，可向充气管20内通入具有一定压强的气体，该气体通过气孔从充气管20喷出，对过渡舱的内壁进行吹扫，使过渡舱内壁上的杂质颗粒脱落，进而将其除去。
[0031 ]并且，在本实用新型实施例中，过渡舱配设有电动机30，该电动机30连接充气管20的一端，且电动机30的转轴平行于充气管20的中轴线，该电动机30驱动充气管20绕自身轴向旋转。因此，在对本实用新型实施例提供的过渡舱进行清理时，在旋转的充气管20的作用下，从充气管20中喷出的气流的流向与舱体10的侧壁之间存在一定的倾斜角度，因此气流对杂质颗粒的作用力可分解为垂直于舱体10的侧壁的第一分量和平行于舱体10的侧壁的第二分量，在该第二分量的作用下，侧壁上的杂质颗粒更容易从过渡舱的侧壁上脱落。而在现有技术中，充气管20不旋转，因而从充气管20流出的气流的流向正对过渡舱的侧壁，气流对杂质颗粒的作用力全部垂直指向舱体10的侧壁，在该作用力的作用下，杂质颗粒与舱体10的侧壁结合更牢固，更加难以除去。因此，与现有技术相比，本实用新型实施例所提供的过渡舱能够更有效地除去过渡舱的侧壁上的杂质颗粒。
[0032]此外，过渡舱还包括进气管40。在舱体10内部，进气管40的一端与充气管20中与电动机30相对的一端通过旋转接头连接，使得充气管20能够相对于进气管40转动。进气管40的另一端从舱体10的侧壁、顶部或底部穿过而延伸至过渡舱之外，与充气设备连通，在进气管40与过渡舱的侧壁、顶部或底部的交界处，设有用于将上述交界处密封的密封圈等密封件。
[0033]在本实用新型实施例中，上述气孔包括第一气孔21和/或第二气孔22，具体地:
[0034]过充气管20的中轴线的平面将充气管20的筒壁分为两个半圆筒状的区域，其中一个半圆筒状的区域内设有多个第一气孔21，并优选第一气孔21均匀地分布在该半圆筒状地区域内。
[0035]第一气孔21在内筒壁处的孔径可小于在外筒壁处的孔径，使得从第一气孔21喷出的气流在喷出的过程中逐渐扩散，增加气流所能覆盖的舱体10的侧壁的面积，使清理效果更好。例如，第一气孔21的形状可为圆台，并且根据该圆台所确定的圆锥的锥角的范围为120°?140°，优选地，对于第一气孔21，根据该圆台所确定圆锥的锥角为130°。
[0036]需要说明的是，在本说明书中，关于“根据圆台所确定的圆锥”，其含义如下:对于已知的圆台b，存在一个圆锥a，与该圆锥a的底面平行的平面将该圆锥a切割为两部分，若其中的圆台部分与圆台b完全相同，贝帽锥a即为“根据圆台b所确定的圆锥”。此外，由于充气筒的筒壁的内外两侧均为曲面，不易形成形状标准的圆台孔，因此在本说明书中，第一气孔21以及下述的第二气孔22的形状为大致圆台即可。
[0037]此外，第一气孔21在内筒壁处的孔径也可大于外筒壁处的孔径，以将从第一气孔21喷出的气体汇聚到一个方向上，增加气流的流速，从而更好地清理过渡舱的舱体10的内壁。
[0038]另外，在过渡舱中，为了更好地清理舱体10中与充气管20的中轴垂直的侧壁(SP充气管20的两端指向的侧壁)，在本实用新型实施例中，充气管20的两端分别设置有第二气孔22，且第二气孔22分布在充气管20的筒壁的整个周向上。通过增加充气管20两端的第二气孔22的数量，来增加对上述与充气管20的中轴垂直的侧壁进行吹扫的气流，进而提高对该侧壁的清理效果。
[0039]关于该第二气孔22的形状，其在内筒壁处的孔径小于在外筒壁处的孔径。具体地，第二气孔22的形状可为圆台，并且根据该圆台所确定的圆锥的锥角的范围为110°?130°。优选地，对于第二气孔22，根据该圆台所确定的圆锥的锥角为120°。通过该形状的设置，使上述与充气管20的中轴垂直的侧壁上得到吹扫的面积增加，进一步提高对该侧壁的清理效果O
[0040]第二气孔22的具体设置请参照上述内容中对于第一气孔21的描述，此处不再赘述。
[0041 ]优选地，过渡舱还包括控制元件，控制元件与电动机30连接，用于启动或停止电动机30、以及控制电动机30的转速。具体地，例如，控制元件可为脉冲宽度调制电机调速器(PWM电机调速器)等。通过控制元件，根据过渡舱内部的实际情况调节电动机30转速，控制电动机30开关，以更好地对过渡舱内部进行清理，可以理解的是，对于电动机30的控制可由工作人员手动进行，也可利用单片机等元件，通过预先设定的程序进行控制，本实用新型实施例对此不做限定。
[0042]本实用新型还提供了一种真空蒸镀设备，应用上述任一实施例所述的过渡舱。
[0043]本实用新型提供的真空蒸镀设备，其过渡舱的舱体中的充气管与设置在舱体的侧壁上的电动机连接，电动机驱动充气管绕自身轴向旋转。在旋转的充气管的作用下，从充气管上的气孔喷出的气流不是以正对过渡舱的舱体内壁的方向对舱体内壁进行吹扫，而是以与内壁之间存在一定的倾斜角度的方向对舱体内壁进行吹扫。而现有技术中充气管不旋转，从充气管喷出的气流的流向正对过渡舱的舱体内壁，从而杂质颗粒的受力方向垂直指向舱体侧壁，导致部分杂质颗粒与舱体内壁粘合的更牢固，致使杂质颗粒更难以除去。因此，与现有技术相比，本实用新型能够更有效地除去过渡舱的侧壁上的杂质颗粒。
[0044]在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0045]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种过渡舱，包括舱体以及设置在所述舱体内的充气管，该过渡舱的特征在于，还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。2.根据权利要求1所述的过渡舱，其特征在于，所述过渡舱还包括进气管，所述进气管的一端通过旋转接头与所述舱体内的所述充气管连通;所述进气管的另一端穿过所述舱体的侧壁，与舱体之外的充气设备连通。3.根据权利要求1所述的过渡舱，其特征在于，所述充气管的筒壁包括两个半圆筒状的区域，其中一个半圆筒状的区域内设有多个第一气孔。4.根据权利要求3所述的过渡舱，其特征在于，所述第一气孔在内筒壁处的孔径小于在外筒壁处的孔径。5.根据权利要求4所述的过渡舱，其特征在于，所述第一气孔的形状为圆台，根据该圆台所确定的圆锥的锥角的范围为120°?140°。6.根据权利要求5所述的过渡舱，其特征在于，所述根据该圆台所确定圆锥的锥角为130。。7.根据权利要求1-6中的任一项所述的过渡舱，其特征在于，所述充气管的两端分别设置有第二气孔，所述第二气孔分布在所述充气管的筒壁的整个周向上。8.根据权利要求7所述的过渡舱，其特征在于，所述第二气孔在内筒壁处的孔径小于在外筒壁处的孔径。9.根据权利要求8所述的过渡舱，其特征在于，所述第二气孔的形状为圆台，根据该圆台所确定的圆锥的锥角的范围为110°?130°。10.根据权利要求9所述的过渡舱，其特征在于，所述根据该圆台所确定的圆锥的锥角为120。ο11.根据权利要求1-6中的任一项所述的过渡舱，其特征在于，还包括控制元件，所述控制元件与所述电动机连接，用于启动或停止所述电动机、以及控制所述电动机的转速。12.—种真空蒸镀设备，其特征在于，包括根据权利要求1-11中的任一项所述的过渡舱。
【文档编号】C23C14/24GK205420531SQ201620241961
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年3月25日
【发明人】苏清双
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司