一种真空蒸镀银膜反射镜的制作方法

文档序号:9163448阅读:519来源:国知局
一种真空蒸镀银膜反射镜的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于反射镜领域,具体属于一种真空蒸镀银膜反射镜。
【背景技术】
[0002]市场上的反射镜Ag膜层与玻璃基板附着力差,而且Ag膜层与空气中的硫化物容易发生反应,而且Ag膜层的反射率低。

【发明内容】

[0003]本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种真空蒸镀银膜反射镜。
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型采用以下技术方案:
[0005]—种真空蒸镀银膜反射镜,包括基板,所述基板自下往上包括第一 Al2O3膜层、Ni膜层和射频离子源辅助镀膜层,所述Ni膜层的上表面还蒸镀有一层Ag膜层,所述Ag膜层上表面还镀有用来阻断Ag膜层与空气中的硫化物发生反应的第二 Al2O3膜层,所述射频离子源辅助镀膜层从上往下依次为第一 S1J莫层、Ti 305膜层以及第二 S1 J莫层。
[0006]所述第一 Al2O3膜层沉积于基板上。
[0007]采用以上技术方案后:本实用新型Ag膜层与基板之间增加2层过渡缓冲层,利用Al2O3膜层与玻璃附着良好特性,采用Al 203打底层,利用Ni膜层与Ag膜层和Al 203膜层附着性强来增强Ag膜层与底层的附着强度,Ag膜层上表面还镀有用来阻断Ag膜层与空气中的硫化物发生反应的第二 Al2O3膜层,为了增加Ag膜层反射率和Ag膜层表面牢固度再增加射频离子源辅助镀膜层。
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]参见图1,一种真空蒸镀银膜反射镜,包括基板1,所述基板I自下往上包括第一Al2O3膜层2、Ni膜层3和射频离子源辅助镀膜层,所述Ni膜层3的上表面还蒸镀有一层Ag膜层4,所述Ag膜层4上表面还镀有用来阻断Ag膜层4与空气中的硫化物发生反应的第二Al2O3膜层5,所述射频离子源辅助镀膜层从上往下依次为第一 S1 J莫层6、Ti 305膜层7以及第二 S1J莫层8。
[0010]所述第一 Al2O3膜层2沉积于基板I上。
[0011]采用以上技术方案后:本实用新型Ag膜层与基板之间增加2层过渡缓冲层,利用Al2O3膜层与玻璃附着良好特性,采用Al 203打底层,利用Ni膜层与Ag膜层和Al 203膜层附着性强来增强Ag膜层与底层的附着强度,Ag膜层上表面还镀有用来阻断Ag膜层与空气中的硫化物发生反应的第二 Al2O3膜层,为了增加Ag膜层反射率和Ag膜层表面牢固度再增加射频离子源辅助镀膜层。
【主权项】
1.一种真空蒸镀银膜反射镜,包括基板(I),其特征在于:所述基板(I)自下往上包括第一 Al2O3膜层(2)、Ni膜层(3)和射频离子源辅助镀膜层,所述Ni膜层(3)的上表面还蒸镀有一层Ag膜层(4),所述Ag膜层(4)上表面还镀有用来阻断Ag膜层(4)与空气中的硫化物发生反应的第二 Al2O3膜层(5),所述射频离子源辅助镀膜层从上往下依次为第一 S12膜层(6)、Ti3O5膜层(7)以及第二 S1 2膜层(8) ο2.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀银膜反射镜,其特征在于:所述第一Al 203膜层(2)沉积于基板⑴上。
【专利摘要】本实用新型涉及一种真空蒸镀银膜反射镜,包括基板,基板自下往上包括第一Al2O3膜层、Ni膜层和射频离子源辅助镀膜层,Ni膜层的上表面还蒸镀有一层Ag膜层,Ag膜层上表面还镀有用来阻断Ag膜层与空气中的硫化物发生反应的第二Al2O3膜层,采用以上技术方案后:本实用新型Ag膜层与基板之间增加2层过渡缓冲层,利用Al2O3膜层与玻璃附着良好特性,采用Al2O3打底层,利用Ni膜层与Ag膜层和Al2O3膜层附着性强来增强Ag膜层与底层的附着强度,Ag膜层上表面还镀有用来阻断Ag膜层与空气中的硫化物发生反应的第二Al2O3膜层,为了增加Ag膜层反射率和Ag膜层表面牢固度再增加射频离子源辅助镀膜层。
【IPC分类】B32B15/00, G02B5/08
【公开号】CN204832564
【申请号】CN201520553175
【发明人】徐裕宏, 廖贵军
【申请人】松林光电科技(湖北)有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年7月20日
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