真空设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空设备，其包括传送室、与传送室连通的过渡室及位于过渡室内用于运送玻璃基板的运送臂，所述真空设备还包括用于清扫运送臂的清扫装置。本实用新型提供的真空设备上增加了清扫装置，该清扫装置可以自动清理真空设备内部运送臂上的玻璃碎片，因此，避免了现有人工清理所产生的问题。同时，该清扫装置结构简单，操作方便，装有该清扫装置的真空设备进行真空蒸镀工艺的生产效率高。
【专利说明】
真空设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种具有清扫装置的真空设备。
【背景技术】
[0002]在OLED显示面板的制造过程中，需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀，该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。真空蒸镀机内包括可以运送玻璃基板的传送室、与传送室连通的过渡室及与过渡室连通且用于进行真空蒸镀工艺的若干工艺腔以及将玻璃基板从传送腔及过渡室运送至工艺腔的运送臂。
[0003]玻璃基板在工艺腔内进行真空蒸镀的过程中，可能受到掩模板下表面凸起的刮擦而使玻璃基板发生缺损的情况。当玻璃基板返回过渡室后，玻璃基板可能会发生破裂而使一些玻璃碎片残留于运送臂上，该残留的玻璃碎片会刮擦需要运送的下一片进行真空蒸镀的玻璃基板，而对玻璃基板的表面造成损害。因此，需要对残留于运送臂上的玻璃碎品进行及时清理。
[0004]现有清理运送臂上的玻璃碎片的方法一般通过人工清理，S卩，先打开真空蒸镀机的阀门，往腔室内充气实现破真空，然而打开腔室人工清理运送臂上玻璃碎片。
[0005]然而通过人工清理的方法会产生以下问题:
[0006]1、工艺室破真空与抽真空所需时间长，再次达到工作压力大约需要6个小时；
[0007]2、消耗能源多，比如破真空时需要大量氮气，抽真空时需要大量电能；
[0008]3、具有危险性，工艺室是一个相对密闭的空间，在破真空后内部含有大量氮气，且不宜扩散，如果稍有操作不慎就可能会发生操作人员窒息等事件。
【实用新型内容】
[0009]本实用新型的目的是为了解决上述问题，提供一种能够自动清理其内运送臂上玻璃碎片的真空设备。
[0010]为实现上述目的，本实用新型提供了一种真空设备，其包括传送室、与传送室连通的过渡室及位于过渡室内用于运送玻璃基板的运送臂，所述真空设备还包括用于清扫运送臂的清扫装置。
[0011]进一步的，所述清扫装置包括气缸、与气缸连接的气缸连杆、与气缸连杆连接的驱动马达及与驱动马达连接的用于清扫运送臂的清扫单元。
[0012]进一步的，所述清扫单元包括水平连接杆及位于水平连接杆两侧的毛刷。
[0013]进一步的，所述气缸、气缸连杆及驱动马达位于所述传送室外，所述清扫单元位于所述传送室内。
[0014]进一步的，所述气缸包括两个，每个气缸内包括活塞杆，两个所述活塞杆连接至气缸连杆的两端。
[0015]进一步的，所述清扫装置还包括连接气缸连杆及驱动马达的竖直连接杆。
[0016]进一步的，所述清扫装置还包括连接驱动马达及水平连接杆的驱动杆，所述驱动杆与所述水平连接杆之间通过丝杠齿轮结构或者涡轮蜗杆结构实现连接。
[0017]与现有技术相比，本实用新型实施例提供的真空设备上增加了清扫装置，该清扫装置可以自动清理真空设备内部运送臂上的玻璃碎片，因此，避免了现有人工清理所产生的问题。同时，该清扫装置结构简单，操作方便，装有该清扫装置的真空设备进行真空蒸镀工艺的生产效率高。
【附图说明】
[0018]此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0019]图1为本实用新型优选实施例提供的真空设备的立体视图；
[0020]图2为图1所示真空设备内清扫装置的放大示意图。
【具体实施方式】
[0021]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0022]如图1所示，本实用新型较佳实施例提供了一种真空设备100，其内包括运送玻璃基板(未图示)的传送室2、与传送室2连通的过渡室3、与过渡室3连通的用于进行真空蒸镀工艺的若干工艺室(未图示)、位于过渡室3内将玻璃基板从传送室2、过渡室3运送至工艺室内的运送臂4以及用于清扫由于玻璃基板破碎而残留于运送臂4上的玻璃碎片的清扫装置
I。上述真空设备100内还包括可以控制运送臂4的控制单元(未图示)，运送臂4用于承载玻璃基板，在控制单元的控制下运送臂4可以进行伸缩、旋转、升降及直线移动等动作。如此，待处理的玻璃基板可以在传送室2、过渡室3及工艺室之间移动。真空设备100可以为真空蒸镀机等设备。
[0023]以下针对本实用新型实施例提供的真空设备100的清扫装置I作具体说明。
[0024]清扫装置I包括安装于传送室2外的两个气缸11、安装于传送室2外且与两个气缸11连接的气缸连杆12、与气缸连杆12连接的驱动马达13及与驱动马达13连接的清扫单元14。两个气缸11可以驱动气缸连杆12、与气缸连杆12连接的驱动马达13及与驱动马达13连接的清扫单元14在竖直方向上移动。
[0025]具体的，两个气缸11安装并固定于传送室2外，每个气缸11内具有一个可以移动的活塞杆111。每个活塞杆111的一端与气缸连杆12的一端连接，因此，气缸连杆12的两端分别与两个气缸11连接。气缸11工作时，两个活塞杆111在气体的带动下驱动气缸连杆12上下移动。
[0026]气缸连杆12水平设置于传送室2外，其通过一个竖直连接杆131连接至驱动马达13。由于气缸连杆12连接至驱动马达13，当气缸连杆12向下移动时，也带动驱动马达13向下移动。由于清扫单元14连接至驱动马达13，因此，清扫单元14也会随驱动马达13乡下移动而到达运动臂4的上方。竖直连接杆131连接至气缸连杆12的中间位置使得驱动马达13位于两个气缸11之间。
[0027]驱动马达13设置于传送室2外，其下方设置一个沿竖直方向延伸的驱动杆132。驱动杆132上端连接至驱动马达13，驱动杆132的下端连接至清扫单元12。驱动杆132在驱动马达13的驱动下在水平面内作旋转运动，即沿Dl方向旋转。
[0028]清扫单元14设置于传送室2内，且位于传送室2内的上方。清扫单元14包括水平连接杆141及位于水平连接杆141两端的两个毛刷142。驱动杆132连接至清扫单元14的水平连接杆141上，且与水平连接杆141之间通过丝杠齿轮结构或者涡轮蜗杆结构实现连接。这样，驱动杆132在水平面内作旋转运动时(沿Dl方向旋转)，可以驱动水平连接杆141在竖直平面内也作旋转运动，即沿D2方向旋转，从而带动毛刷142也沿D2方向作旋转运动。
[0029]当需要清扫运送臂4上的玻璃碎片时，两个气缸11同时工作带动气缸连杆12、驱动马达13及清扫单元14向下移动一定距离使得清扫单元14到达运送臂4的上方。此时，驱动马达13开始工作带动驱动杆132沿Dl方向作旋转运动，在驱动杆132旋转运动的带动下，水平连接杆141及连接于水平连接杆141上的毛刷142也沿D2方向作旋转运动。运送臂4在真空设备100内的控制单元的控制下作移动，使得运送臂4上的玻璃碎片能够被清理干净。
[0030]综上，由于真空设备100上增加了清扫装置I，该清扫装置I自动清理真空设备100内部运送臂4上的玻璃碎片，因此，避免了现有人工清理所产生的问题。同时，该清扫装置I结构简单，操作方便，装有该清扫装置I的真空设备100进行真空蒸镀工艺的生产效率高。
[0031]以上所述的具体实例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空设备，其包括传送室、与传送室连通的过渡室及位于过渡室内用于运送玻璃基板的运送臂，其特征在于:所述真空设备还包括用于清扫所述运送臂的清扫装置，所述清扫装置包括气缸、与所述气缸连接的气缸连杆、与所述气缸连杆连接的驱动马达及与所述驱动马达连接的用于清扫运送臂的清扫单元。2.如权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述清扫单元包括水平连接杆及位于水平连接杆两侧的毛刷。3.如权利要求1或2所述的真空设备，其特征在于，所述气缸、气缸连杆及驱动马达位于所述传送室外，所述清扫单元位于所述传送室内。4.如权利要求3所述的真空设备，其特征在于，所述气缸包括两个，每个气缸内包括活塞杆，两个所述活塞杆连接至气缸连杆的两端。5.如权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述清扫装置还包括连接气缸连杆及驱动马达的竖直连接杆。6.如权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述清扫装置还包括连接驱动马达及水平连接杆的驱动杆，所述驱动杆与所述水平连接杆之间通过丝杠齿轮结构或者涡轮蜗杆结构实现连接。
【文档编号】C23C14/24GK205443430SQ201521082653
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2015年12月22日
【发明人】张珅骏, 朱晓庆
【申请人】昆山国显光电有限公司