专利名称：一种安全蒸镀机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及基板或镭射膜的蒸镀技术领域，尤其是指一种发生故障后能自动
报警的安全蒸镀机。
技术背景 所谓蒸镀机是指在蒸镀容器内配置蒸镀材料和被蒸镀体，保持蒸镀容器内的低压
状态，加热并熔融蒸镀材料使其蒸发或者升华从而使其气化，并将气化的蒸镀材料堆积在
被蒸镀体表面而形成薄膜的装置。近年来，蒸镀机的使用并没有仅限于金属蒸镀薄膜的形
成，还使用于有机物蒸镀薄膜的形成或者多种有机物混合蒸镀薄膜的形成。 目前市场上的蒸镀机一般包括包括蒸镀仓、与蒸镀仓通过管道连通的蒸镀发生器
及与蒸镀发生器通过管道连通的排气装置，蒸镀发生器包括容器、设置于容器内的增压泵
和扩散泵，容器底部设有给蒸镀材料加热的电加热器，排气装置包括机械泵及与机械泵的
出风口连通的排气管道；但是，当蒸镀仓的排气量较小时，利用大功率的机械泵进行排气容
易造成资源的严重浪费，不能有效地利用机械泵；另外，上述蒸镀机缺少对排气装置进行故
障检测的检测器，当机械泵应某种故障而停止工作时，设置于容器内的增压泵和扩散泵还
在继续加热，导致蒸镀仓内的高压气体不能及时排出，从而影响蒸镀机的蒸镀效果，严重时
甚至发生安全事故
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种节能的，发生故障后能自动报警的安全 蒸镀机。 为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案 —种安全蒸镀机，包括蒸镀仓、设置于蒸镀仓外部的控制箱、与蒸镀仓通过管道连
通的蒸镀发生器及与蒸镀发生器通过管道连通的排气装置，蒸镀发生器包括容器、设置于
容器内的增压泵和扩散泵，容器底部设有电加热器，排气装置包括机械泵及与机械泵的出
风口连通的排气管道，机械泵的进风口通过管道与容器连通，所述机械泵旁侧设有维持泵，
维持泵的进风口和出风口分别通过管道与机械泵的进风口和出风口连通； 所述排风装置设有检测机械泵或维持泵是否正常工作的检测器，该检测器与控制
箱电连接；控制箱设有与控制箱电连接的报警器。 其中，所述维持泵的额定功率小于机械泵的额定功率。 其中，所述报警器包括报警喇叭或警示灯。 其中，所述机械泵和维持泵的进风口分别设置有封堵管道的安全阀，工作时，安全 阀为接通状态。 本实用新型的有益效果在于 本实用新型提供了一种安全蒸镀机，包括蒸镀仓、设置于蒸镀仓外部的控制箱、与 蒸镀仓通过管道连通的蒸镀发生器及与蒸镀发生器通过管道连通的排气装置，蒸镀发生器包括容器、设置于容器内的增压泵和扩散泵，容器底部设有电加热器，排气装置包括机械泵 及与机械泵的出风口连通的排气管道，机械泵的进风口通过管道与容器连通，所述机械泵 旁侧设有维持泵，维持泵的进风口和出风口分别通过管道与机械泵的进风口和出风口连 通；当排气量很大时，同时开启机械泵和维持泵可以迅速排走蒸镀仓内的高压气体，提高排 气效率，而当排气量较小时，可以只用开启机械泵和维持泵中的一台即可满足排气需求，提 高了排气装置的效率，降低了生产成本； 所述排气装置设有检测机械泵或维持泵是否正常工作的检测器，该检测器与控制 箱电连接，控制箱设有与控制箱电连接的报警器；当机械泵或维持泵发生故障而无法工作 时，检测器将该信号传送给控制箱，控制箱控制报警器开始报警，提醒操作人员做相应的处 理，从而避免因设置于容器内的增压泵和扩散泵还在继续加热，导致蒸镀仓内的高压气体 不能及时排出而影响蒸镀机的蒸镀效果，进而减少安全事故的发生。 进一步，所述维持泵的额定功率小于机械泵的额定功率，排气量很小时，如果使用 机械泵，将不能有效地利用功率较大的机械泵，为此配置一种功率较小的辅助泵来维持机 械泵工作，即维持泵，在满足同样排气要求的前提下，使得节能效果更加明显。
附图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本实用新型作进一步 的说明，实施方式提及的内容并非对本实用新型的限定。 如附图1所示，一种安全蒸镀机，包括蒸镀仓1、设置于蒸镀仓1外部的控制箱、与 蒸镀仓1通过管道连通的蒸镀发生器及与蒸镀发生器通过管道连通的排气装置，蒸镀发生 器包括容器2、设置于容器2内的增压泵和扩散泵，容器底部设有电加热器3，排气装置包括 机械泵4及与机械泵4的出风口连通的排气管道5，机械泵4的进风口通过管道与容器2 连通，所述机械泵4旁侧设有维持泵6，维持泵6的进风口和出风口分别通过管道与机械泵 4的进风口和出风口连通；当排气量很大时，同时开启机械泵4和维持泵6可以迅速排走蒸 镀仓内的高压气体，提高排气效率，而当排气量较小时，只用开启维持泵6即可满足排气需 求，提高了排气装置的利用率，降低了生产成本； 所述排风装置设有检测机械泵4或维持泵6是否正常工作的检测器，该检测器与 控制箱电连接，控制箱设有与控制箱电连接的报警器；当机械泵4或维持泵6发生故障而无 法工作时，检测器将该信号传送给控制箱，控制箱控制报警器开始报警，提醒操作人员做相 应的处理，从而避免因设置于容器2内的增压泵和扩散泵仍然继续加热，导致蒸镀仓1内的 高压气体不能及时排出而影响蒸镀机的蒸镀效果，进而减少安全事故的发生。 本实施例的所述维持泵6的额定功率为机械泵4额定功率的1/3，当排气量很小 时，如果使用机械泵4，将不能有效地利用功率较大的机械泵4，为此配置一种功率较小的 辅助泵来维持机械泵工作，即维持泵6，在满足同样排气要求的前提下，其节能效果更加明 显。 本实施例的所述报警器包括报警喇叭或警示灯，将报警器的报警信号转换成操作人员容易接收的声音信号或视觉信号，以便于操作人员接收报警装置的报警信号，从而作 出相应的处理。 本实施例中，所述机械泵4和维持泵6的进风口分别设置有封堵管道的安全阀7， 工作时，安全阀7为接通状态；若机械泵4或维持泵6发生故障需要修理时，只要关闭相应 的安全阀7即可安全地对机械泵4或维持泵6进行修理或更换操作。 上述实施例为本实用新型较佳的实现方案之一，除此之外，本实用新型还可以其 他方式实现，在不脱离本实用新型发明构思的前提下任何显而易见的替换均在本实用新型 的保护范围之内。
权利要求一种安全蒸镀机，包括蒸镀仓(1)、设置于蒸镀仓(1)外部的控制箱、与蒸镀仓(1)通过管道连通的蒸镀发生器、与蒸镀发生器通过管道连通的排气装置，蒸镀发生器包括容器(2)、设置于容器(2)内的增压泵和扩散泵，容器(2)底部设有电加热器(3)，排气装置包括机械泵(4)及与机械泵(4)的出风口连通的排气管道(5)，机械泵(4)的进风口通过管道与容器(2)连通，其特征在于所述机械泵(4)旁侧设有维持泵(6)，维持泵(6)的进风口和出风口分别通过管道与机械泵(4)的进风口和出风口连通；所述排气装置设有检测机械泵(4)或维持泵(6)是否正常工作的检测器，该检测器与控制箱电连接；控制箱设有与控制箱电连接的报警器。
2. 根据权利要求l所述的安全蒸镀机，其特征在于所述维持泵(6)的额定功率小于 机械泵(4)的额定功率。
3. 根据权利要求1所述的安全蒸镀机，其特征在于所述报警器包括报警喇叭或警示灯。
4. 根据权利要求1所述的安全蒸镀机，其特征在于所述机械泵(4)和维持泵(6)的 进风口分别设置有封堵管道的安全阀(7)，工作时，安全阀(7)为开通状态。
专利摘要本实用新型涉及基板或镭射膜的蒸镀技术领域，尤其是指一种发生故障后能自动报警的安全蒸镀机，包括蒸镀仓、控制箱、蒸镀发生器及排气装置，排气装置包括机械泵及与机械泵的出风口连通的排气管道，机械泵的进风口通过管道与容器连通，所述机械泵旁侧设有维持泵，维持泵的进风口和出风口分别通过管道与机械泵的进风口和出风口连通；所述排风装置设有检测机械泵或维持泵是否正常工作的检测器，当机械泵或维持泵发生故障而无法工作时，控制箱控制报警器开始报警，提醒操作人员做相应的处理，从而避免因设置于容器内的增压泵和扩散泵还在继续加热，导致蒸镀仓内的高压气体不能及时排出而影响蒸镀机的蒸镀效果，进而减少安全事故的发生。
文档编号C23C14/24GK201545905SQ200920237649
公开日2010年8月11日 申请日期2009年10月22日 优先权日2009年10月22日
发明者杨子军, 杨小全 申请人:东莞光群雷射科技有限公司