专利名称：Oled蒸镀机的蒸发源装置的制作方法
技术领域：
本发明属于OLED显示技术领域，尤其涉及OLED显示器件有机发光层的蒸镀设备。
背景技术：
OLED显示器件通过蒸镀有机物来制作构成OLED显示器件的载流子传输层和有机 发光层。如图1所示，现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括包括工作平台1、坩埚组件2、 蒸发源挡板组件3，工作平台1的中央具有工作通孔11，多组坩埚组件2和蒸发源挡板组件 3在工作通孔内按照圆周均勻排列，蒸发源挡板组件3可以与装置外部的动力机构连接，不 断的开启和遮挡坩埚组件2，以便有选择的进行蒸镀工艺。在有机物蒸镀过程中，由于蒸镀 出的有机物为蓬松结构，很容易在坩埚组件2的出口部位集结，直至将坩埚组件2的出口完 全堵住。但由于OLED显示器件制作工艺的特殊性，需要在持续的真空环境下，连续完成有 机物的蒸镀，而一旦坩埚组件2的出口被堵，将使有机物无法蒸发，使蒸镀工艺无法继续进 行，严重影响生产、实验进度。同时，在现有情况下，疏通坩埚组件2的出口需要打开蒸镀腔 室，手动疏通坩埚组件2的出口，打开蒸镀腔室并重新抽真空，一般需要1 2个小时，对生 产的连贯性和效率性带来很大影响，同时由于器件制作中断，器件性能也收到一定程度的 影响，影响产品质量。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置不能自动疏通疏通其 坩埚组件的出口堵塞的材料的不足，提出了一种可以自动疏通坩埚组件的出口堵塞的材料 的OLED蒸镀机的蒸发源装置。为了实现上述目的，本发明的具体方案是一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括 工作平台、坩埚组件、蒸发源挡板组件，所述工作平台的中央具有工作通孔，至少一组坩埚 组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均勻排列，其特征在于，还包括坩埚疏通组 件，所述坩埚疏通组件位于工作通孔的中心，包括探针、挂臂和升降构件，所述探针通过挂 臂与升降构件固定连接，并可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转。上述升降构件包括升降轴、定位齿轮、电机齿轮和固定盘，所述升降轴的外侧具有 凸缘，所述固定盘和定位齿轮具有与升降轴截面匹配的通孔，所述升降轴安装在固定盘和 定位齿轮的通孔内，所述定位齿轮与电机齿轮啮合，所述电机齿轮与装置外部的伺服电机 连接并可在伺服电机的带动下旋转，所述升降轴与装置外部的气缸连接并可在气缸的带动 下垂直运动。本发明的有益效果是由于在现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置的基础上增加了 坩埚疏通组件，坩埚疏通组件的探针可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转，因 此可以自动的对排列在工作通孔四周的坩埚组件堵塞的蒸镀材料进行疏通，因此保持了生 产的连贯性和效率，也避免了人工疏通过程中对OLED显示器件品质的影响。
图1是现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置结构示意图。图2是本发明的OLED蒸镀机的蒸发源装置结构示意图。图3是本发明的坩埚疏通组件的升降构件上升状态的结构示意图。图4是本发明的坩埚疏通组件的升降构件下降状态的结构示意图。附图标记说明工作平台1、工作通孔11、坩埚组件2、蒸发源挡板组件3、坩埚疏通 组件4、探针41、挂臂42、升降构件43、升降轴431、凸缘4311、固定盘432、定位齿轮433、电 机齿轮434。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。如图1，一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台1、坩埚组件2、蒸发源挡板 组件3和坩埚疏通组件4，工作平台1的中央具有工作通孔11，六组坩埚组件和蒸发源挡板 组件在工作通孔内按照圆周均勻排列，坩埚疏通组件4位于工作通孔11的中心，包括探针 41、挂臂42和升降构件43，探针41通过挂臂42与升降构件43固定连接，并可以随升降构 件43垂直运动和沿工作通孔11中心旋转。上述坩埚组件和蒸发源挡板组件成对配置，其数量可以根据需要任意设置。如图2和3所示，为了便于说明，图中的升降构件43与实际安装位置颠倒，升降构 件43包括升降轴431、定位齿轮433、电机齿轮434和固定盘432，升降轴431的外侧具有凸 缘4311，固定盘432和定位齿轮433具有与升降轴截面匹配的通孔，升降轴431安装在固定 盘432和定位齿轮433的通孔内，定位齿轮433与电机齿轮434啮合，电机齿轮434与装置 外部的伺服电机连接并可在伺服电机的带动下旋转，所述升降轴431与装置外部的气缸连 接并可在气缸的带动下垂直运动。本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发 明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的 普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各 种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。
权利要求
一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台、坩埚组件、蒸发源挡板组件，所述工作平台的中央具有工作通孔，至少一组坩埚组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均匀排列，其特征在于，还包括坩埚疏通组件，所述坩埚疏通组件位于工作通孔的中心，包括探针、挂臂和升降构件，所述探针通过挂臂与升降构件固定连接，并可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转。
2.根据权利要求1所述OLED蒸镀机的蒸发源装置，其特征在于，所述升降构件包括升 降轴、定位齿轮、电机齿轮和固定盘，所述升降轴的外侧具有凸缘，所述固定盘和定位齿轮 具有与升降轴截面匹配的通孔，所述升降轴安装在固定盘和定位齿轮的通孔内，所述定位 齿轮与电机齿轮啮合，所述电机齿轮与装置外部的伺服电机连接并可在伺服电机的带动下 旋转，所述升降轴与装置外部的气缸连接并可在气缸的带动下垂直运动。
全文摘要
本发明涉及一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台、坩埚组件、蒸发源挡板组件，所述工作平台的中央具有工作通孔，至少一组坩埚组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均匀排列，其特征在于，还包括坩埚疏通组件，所述坩埚疏通组件位于工作通孔的中心，包括探针、挂臂和升降构件，所述探针通过挂臂与升降构件固定连接，并可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转。本发明的有益效果是可以自动的对排列在工作通孔四周的坩埚组件堵塞的蒸镀材料进行疏通，因此保持了生产的连贯性和效率，也避免了人工疏通过程中对OLED显示器件品质的影响。
文档编号C23C14/12GK101942641SQ20101027547
公开日2011年1月12日 申请日期2010年9月8日 优先权日2010年9月8日
发明者雷霖, 高昕伟 申请人:四川虹视显示技术有限公司