改良的光阻预烤炉加热装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明有关于一种改良的光阻预烤炉加热装置，其是利用于腔体外环边设置一内环边加热器，以改善热板端边不足的热度，使热板的温度达到均温。
【背景技术】
[0002]按，玻璃基板是液晶显示装置(TFT-1XD)的主要制程原料，就是俗称的母玻璃或素玻璃，是一种高精密透明的电子零件，玻璃在液晶显示装置(TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆，因此液晶显示装置(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。
[0003]其次，液晶显示装置(TFT-1XD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板，于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色片，IC驱动电路则利用半导体制程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能是作为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，而液晶显示装置(TFT-1XD)制程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板，必须要能忍受强酸强碱的腐蚀、高温的制程环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。
[0004]因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细，其中，当涂抹光阻液后，需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发，此时，请配合参阅图1所示，该基板I进行烘烤时，是将基板I放在热板11上，再藉由热板11的热度使基板I表面的化学物质挥发，在此过程中，其温度高达约70?150°C，且热板11的热源来自于底部的加热器12，而该加热器12则以I?15个区域设置在热板11下方，使热板11中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度，然而，尽管热板11已经设置I?15个区域来控制温度，却还是无法在烘烤过程中保持均温，加上每一相邻区域的温度会互相干扰，使得烘烤效果不佳，而影响液晶显示装置的生广品质。
[0005]有鉴于此，发明人特别针对热板端边受热不足的缺失进行改良，而研发一种内环边加热器，使热源除了底部的加热器外，更于腔体侧边进行加热，能将热板内的温度达到均匀一致，藉以将进行烘烤的玻璃基板达到均衡的受热，有效降低生产的不合格率，而为一理想的光阻预烤炉腔体内均匀加热的结构。
【发明内容】
[0006]本发明有关于一种改良的光阻预烤炉内环边加热器，特别是指一种运用在液晶显示装置(IXD)制程上的光阻预烤炉内环边加热器，藉由腔体内侧边的加热装置，使加热区域能达到均匀的受热，有效提升产品品质及生产合格率。其主要是由腔体、加热器、热板、温度感应器及内环边加热器所组成，该腔体为一容槽状，底部为支撑底板，并能于顶面盖合一上盖板而形成一封闭的加热空间，位于该腔体一侧设有入口，供置入玻璃基板，而于任一侧边开设有排风口，且于该支撑底板上方设有该加热器，能对该加热器上的热板进行加热，并于该热板上分成有多个小分区，该小分区是由多个独立设置的加热器分别投影至热板上所产生，位于该小分区内或该加热器内设有该温度感应器，使得该每一小分区具有独立的温度控制，而该腔体内侧装设有该内环边加热器，其是利用电热丝产生热源，确实加强热板端边的受热，将热板内全区域的温度调整至均衡一致，以提升加热玻璃基板的效能。
[0007]当光阻预烤炉腔体内进行烘烤作业时，是先将玻璃基板由入口置入腔体内，然后将入口封闭，使腔体形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口，以便于空气流通，而位于腔体内的热板，受加热器的加温，使其达到约70?150°C的温度，藉以将挥发玻璃基板表面的光阻溶剂及固化光阻，当烘烤一段时间后，该热板的每一小分区的温度会有些微的变化，一般来说，位于热板中央的温度通常高于端边，而容易导致玻璃基板的受热不均，此时维持热板的均温相当重要，虽然将热板分成多区加热可达到小分区的温度改善，但热板端边的温度却不易掌握，主要因为腔体内为密闭空间，所以温度还是容易集中在中央及环边，所以四周端边的温度偏低，而影响整体温度的一致性，因此，位于腔体侧边设置有内环边加热器，其为电热丝，藉由在腔体侧边产生热源，以平衡热板端边较差的受热，并达到热板内的均匀受热，而此些微的温度调整，就能大为降低玻璃基板的不合格率，同时提升生产效能，实为一突破性的改良。
【附图说明】
[0008]图1为现有烘烤玻璃基板的示意图；
[0009]图2为本发明的立体图；
[0010]图3为本发明的立体分解图；
[0011]图4为本发明另一实施例的示意图；
[0012]图5为本发明烘烤玻璃基板的示意图；
[0013]图6为本发明调整小分区的示意图。
[0014]附图标记说明:1基板；11热板；12加热器；2腔体；20上盖板；201支撑底板；202排风口；203入口；21加热器；22热板；221小分区；23温度感应器；25内环边加热器；3玻璃基板。
【具体实施方式】
[0015]以下是实施例，但本发明的内容并不局限于这些实施例的范围。
[0016]本发明一种改良的光阻预烤炉内环边加热器，首先，请参阅图2并配合图3所示，其主要是由腔体2、加热器21、热板22、温度感应器23及内环边加热器25所组成，该腔体2为一容槽状，底部为支撑底板201，并能于顶面盖合一上盖板20而形成一封闭的加热空间，位于腔体2 —侧设有入口 203，供置入玻璃基板3，并于任一侧边开设有排风口 202，且于支撑底板201上方设有加热器21，能对加热器21上的热板22进行加热，而该热板22上分成多个小分区221，其是由下方多个独立的加热器21投影至热板22所产生的加热区域，且该热板22内或加热器21内皆可设置有温度感应器23 (请配合图4所示)，其是能配合加热器21来进行加热区域的独立温度控制，并于腔体2内侧装设有内环边加热器25，其是利用电热丝产生热源，以加强热板22端边的受热，使热板22内全区域的温度调整达到均匀一致，可全面性的烘烤玻璃基板3，进而提升玻璃基板3的生产合格率。
[0017]当腔体2内进行烘烤作业时，请仍然参阅图4并配合图5所示，先将玻璃基板3由入口 203置入腔体2内，然后将入口 203封闭，使腔体2形成一封闭空间，仅保留侧边的排风口 202，以便于空气进行流通，而位于腔体2加热器21则持续对热板22加温，使腔体2内的温度达到约摄氏70?150°C，并藉由该热度将放置在热板22上的玻璃基板3表面的光阻溶剂挥发，当烘烤一段时间后，请再配合参阅图6所示，该热板22的每一小分区221的温度会有些微的变化，即每一小分区221的温度不一致，这样的差异会严重影响玻璃基板3的品质，尤其位于热板22中央及环边的温度会高于端边，使得玻璃基板3的受热不均，而为了改善热板22端边的偏低温度，当温度感应器23显示热板22端边温度较低时，可启动腔体2内侧的内环边加热器25，其能对腔体2的内环边提供热源，以弥补热板2端边的温度上的差异，并将热板22的每一小分区221的温度调整成一致，使热板22能对玻璃基板3进行均匀的加热，完全不会有受热不均的问题，而为一极佳的温度控制装置。
[0018]综上所述，本发明是于腔体内侧设置有内环边加热器，并藉由提供的热源改善热板端边偏低的温度，能使热板达到全区域的均温，使位于热板上的玻璃基板的烘烤温度相当一致，不会过高或过低，确实达到最佳的效能，本发明极具进步性及实用性，理已符合发明的专利要件，爰依法提出专利申请。
[0019]以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。
【主权项】
1.一种改良的光阻预烤炉加热装置，其主要由腔体、加热器、热板和温度感应器所组成，该腔体为一容槽状，底部为支撑底板，并能于顶面盖合一上盖板而形成一封闭的加热空间，位于该支撑底板上方设有该加热器，能对该加热器上的热板进行加热，而该热板配合下方独立的该加热器产生有小分区，且该小分区内或该加热器内设有该温度感应器，以进行该小分区的独立温度控制，其特征在于:该腔体内侧装设有内环边加热器，其利用电热丝产生热源，以加强该热板端边的受热，使该热板内全区域的温度调整达到均匀一致，而能全面性的烘烤放置于该热板上的玻璃基板。
【专利摘要】本发明有关于一种改良的光阻预烤炉加热装置，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉内环边加热器，藉由腔体内侧边的加热装置，使加热区域能达到均匀的受热，有效提升产品品质及生产合格率。其主要是由腔体、加热器、热板、温度感应器及内环边加热器所组成，该腔体为一容槽状，底部为支撑底板，位于该支撑底板上方设有该加热器，能对该加热器上的热板进行加热，而该热板内或该加热器内设置有该温度感应器，藉以侦测热板各区域的温度，且该腔体内侧装设有该内环边加热器，能加强该热板端边的受热，达到该热板的全区域的均匀温度，使放置在热板上的玻璃基板达到均匀的烘烤。
【IPC分类】G03F7/16, G02F1/13
【公开号】CN105629666
【申请号】CN201410594376
【发明人】李东明
【申请人】李东明
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2014年10月29日