一种蒸发源系统及真空蒸镀装置的制作方法

文档序号:12636261阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蒸发源系统,其特征在于,包括:

至少两个线状蒸发源,所述线状蒸发源包括沿其延伸方向设置的多个喷嘴;

不同所述线状蒸发源沿所述线状蒸发源延伸方向对应位置处的所述喷嘴构成一喷嘴组,每个所述喷嘴组中的任意两个所述喷嘴之间的距离小于等于20厘米。

2.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,沿所述线状蒸发源延伸方向,不同所述线状蒸发源的所述喷嘴交替设置。

3.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,沿所述线状蒸发源延伸方向的垂直方向,不同所述线状蒸发源的所述喷嘴并排设置。

4.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,包括第一线状蒸发源和第二线状蒸发源;

沿所述第一线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第一喷嘴;

沿所述第二线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第二喷嘴;沿所述线状蒸发源延伸方向,所述第一喷嘴和所述第二喷嘴交替设置。

5.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,包括第一线状蒸发源和第二线状蒸发源;

沿所述第一线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第一喷嘴;

沿所述第二线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第二喷嘴;

沿所述线状蒸发源延伸方向的垂直方向,所述第一喷嘴和所述第二喷嘴并排设置。

6.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,包括第一线状蒸发源、第二线状蒸发源和第三线状蒸发源;

沿所述第一线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第一喷嘴;

沿所述第二线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第二喷嘴;

沿所述第三线状蒸发源延伸方向排列设置有多个第三喷嘴;

沿每个线状蒸发源延伸方向对应位置处的所述第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴构成一喷嘴组;

所述喷嘴组中的所述第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴的排列位置构成三角形。

7.根据权利要求2所述的蒸发源系统,其特征在于,所述线状蒸发源还包括坩埚,不同所述线状蒸发源对应的所述坩埚位于同一层,且在沿所述线状蒸发源的工作移动方向的侧面具有间隔设置的凸起结构,所述喷嘴位于所述凸起结构的蒸发面上;不同所述线状蒸发源的凸起结构相互嵌合。

8.根据权利要求2所述的蒸发源系统,其特征在于,所述线状蒸发源还包括坩埚,不同所述线状蒸发源对应的所述坩埚位于不同层;一所述线状蒸发源在沿工作移动方向的侧面具有间隔设置的凸起结构,所述喷嘴位于所述凸起结构的蒸发面上,其余所述线状蒸发源的每一所述喷嘴位于相邻所述凸起结构的每一间隙中。

9.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,至少一所述线状蒸发源用来蒸发的材料包括有机发光主体材料,至少一所述线状蒸发源用来蒸发的材料包括有机发光客体材料。

10.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,所述蒸发源系统两侧设置有角度板。

11.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,所述至少两个线状蒸发源被控制为同时进行蒸镀。

12.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,所述至少两个线状蒸发源的蒸发角对应的蒸发面重合。

13.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于,还包括盖板,所有所述喷嘴对应同一盖板。

14.一种真空蒸镀装置,其特征在于,包括权利要求1~13中任一项所述的蒸发源系统。

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