技术编号:12646418
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。铌镁酸铅-钛酸铅和锆钛酸铅异质结构薄膜及其制备方法技术领域本发明属于功能薄膜材料领域,具体涉及一种铌镁酸铅-钛酸铅和锆钛酸铅异质结构薄膜及其制备方法。背景技术铁电薄膜是一类重要的功能性薄膜材料,具有良好的压电性,铁电性,热释电性,电光及非线性光学特性等,其应用与推广渗透到各相关技术领域。目前已经在非易失性存储器,动态随机存储器,自旋电子器件,新型传感器等新型功能材料与集成器件上得到广泛的应用。锆钛酸铅(PbZr1-xTixO3,简称PZT)铁电体材料是PbTiO3和PbZrO3的固溶体,在x=0...
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