技术编号:12671302
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板收纳状态检查装置及包括该装置的基板收纳设备,所述基板收纳状态检查装置,在收纳形成为圆板状的半导体基板的收纳空间,支持半导体基板的外周部的支持体以沿上下方向分开的状态并列多层而设置,并且将设置有在收纳空间与外部之间取放半导体基板的开口部的输送容器作为检查对象。背景技术在日本特开2005-64515号公报(专利文献1)中公开了如上所述的基板收纳状态检查装置的一个例子。在专利文献1的构成中,用拍摄装置拍摄在输送容器内部收纳的半导体基板,基于所拍摄的图像算出半导体基板相对于水平方向的倾斜角...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。