基板收纳状态检查装置及包括该装置的基板收纳设备的制作方法

本发明涉及基板收纳状态检查装置及包括该装置的基板收纳设备，所述基板收纳状态检查装置，在收纳形成为圆板状的半导体基板的收纳空间，支持半导体基板的外周部的支持体以沿上下方向分开的状态并列多层而设置，并且将设置有在收纳空间与外部之间取放半导体基板的开口部的输送容器作为检查对象。

背景技术：
在日本特开2005-64515号公报(专利文献1)中公开了如上所述的基板收纳状态检查装置的一个例子。在专利文献1的构成中，用拍摄装置拍摄在输送容器内部收纳的半导体基板，基于所拍摄的图像算出半导体基板相对于水平方向的倾斜角度，判别半导体基板是否为以在左右方向为倾斜姿势的状态被收纳等异常的收纳状态。专利文献1的基板收纳状态检查装置需要对多个半导体基板的都进行如下的麻烦的分析：从所拍摄的半导体基板的图像提取沿半导体基板的外周部的周方向排列的多个部位的边缘，求出各个半导体基板的连结多个边缘的直线，从该直线相对于水平方向的倾斜角度求出半导体基板的倾斜度。因此，判别在输送容器内半导体基板是否为异常的收纳状态的构成变得复杂。

技术实现要素：
鉴于上述背景，期望实现一种能以简单的构成判别输送容器内半导体基板是否为异常的收纳状态的基板收纳状态检查装置及包括该基板收纳状态检查装置的基板收纳设备。本发明所涉及的基板收纳状态检查装置，在收纳形成为圆板状的半导体基板的收纳空间，支持所述半导体基板的外周部的支持体以沿上下方向分开的状态并列多层而设置，并且将设置有在所述收纳空间与外部之间取放所述半导体基板的开口部的输送容器作为检查对象，包括：照明装置，经由所述开口部向收纳在位于检查用位置的所述输送容器的所述半导体基板照射光；拍摄装置，拍摄由所述照明装置照射光的所述半导体基板；以及基板收纳状态判别部，基于由所述拍摄装置拍摄的图像，执行判别所述半导体基板的收纳姿势是否正常的基板收纳状态判别处理，此处，所述照明装置在位于所述检查用位置的所述输送容器的开口部的前面侧，包括沿与所述开口部的上下方向正交的宽度方向分开而设置的第一照明部和第二照明部，所述基板收纳状态判别部执行辉点检测处理，在由所述拍摄装置拍摄的检查对象图像中，检测利用所述第一照明部和所述第二照明部照射的光而在所述半导体基板的周缘部的周方向上分开的部位产生的一对高辉度部分，并且基于通过所述辉点检测处理而在所述检查对象图像上检测的所述一对高辉度部分的上下方向的位置的对应关系，执行判别所述半导体基板的收纳姿势是否异常的姿势判别处理。即，利用在位于检查用位置的输送容器的开口部的前面侧沿该开口部的宽度方向(开口宽度方向)分开而设置的第一照明部与第二照明部，向收纳在输送容器的半导体基板照射光。因此，在收纳空间内收纳半导体基板时，在由拍摄装置拍摄的检查对象图像中，在半导体基板的周缘部的周方向上分开的部位会产生一对高辉度部分。而且，如果半导体基板是被构成同一层的单个或者多个支持体(例如在上下方向相同高度的一对支持体)支持的适当的收纳状态，则在检查对象图像中，在与该支持体对应的上下方向的位置会产生一对高辉度部分。另一方面，在半导体基板为倾斜姿势等半导体基板没有被支持体适当支持时，一对高辉度部分的一个不会在与该支持体对应的上下方向的位置产生。所以，在半导体基板被支持体适当支持时，在检查对象图像上检测的一对高辉度部分的各上下方向的位置互相相同，在半导体基板没有被支持体适当支持时，这一对高辉度部分的各上下方向的位置互不相同。因此，通过检查在与检查对象图像上检测到的高辉度部分相同高度、与该高辉度部分在开口宽度方向不同的位置是否产生了其他高辉度部分，能够判别收纳姿势是否适合。这样，用对在检查对象图像上检测的沿开口宽度方向分开的一对高辉度部分的上下方向的位置进行比较这样的简单方法，能够判别半导体基板在收纳空间内是否以适当的收纳姿势被收纳。所以，根据上述构成，能够得到能以简单的构成判别在输送容器内半导体基板是否为异常的收纳状态的基板收纳状态检查装置。下面，说明本发明的优选实施方式的例子。在本发明所涉及的基板收纳状态检查装置的实施方式中，优选的是各个所述第一照明部和所述第二照明部包括沿上下方向构成为长条状的光源而构成。即，对于被沿收纳空间的上下方向包括多层的支持体支持的所有的半导体基板，能够以尽可能均一的条件经由开口部照射光。因此，在由拍摄装置拍摄的检查对象图像中，无论被上下方向的哪个位置的支持体支持的半导体基板都能适当产生高辉度部分。所以，能够与收纳空间内的上下方向的位置无关地适当检测在半导体基板产生的高辉度部分。在本发明所涉及的基板收纳状态检查装置的实施方式中，优选的是所述拍摄装置由1台拍摄用照相机构成。即，在拍摄沿开口宽度方向分开的一对高辉度部分时，由于拍摄装置由1台拍摄用照相机构成，因此与例如对于一对高辉度部分的各个各别地包括拍摄装置的构成相比，能够简化设备构成。此外，在该情况下，如果将1台拍摄用照相机的视场设定在能拍摄收纳空间中在上下方向收纳多个的半导体基板的各自的一对高辉度部分的全部的区域，则能够用1次拍摄得到检查用图像。在本发明所涉及的基板收纳状态检查装置的实施方式中，优选的是设置有显示所述基板收纳状态判别部的判别结果的显示装置，所述基板收纳状态判别部构成为在判别为在与通过所述辉点检测处理在所述检查对象图像上检测到的高辉度部分对应的高度、与该高辉度部分在所述宽度方向不同的位置设定的对应部分不存在其他高辉度部分的情况下，将该对应部分判别为不存在所述半导体基板的异常部分，执行异常显示处理，所述异常显示处理是将示出所述高辉度部分的高辉度记号和示出所述异常部分的异常记号，与所述检查对象图像中的所述高辉度部分和所述异常部分的相对位置关系建立对应，在所述显示装置显示的处理。即，由于在与由开口宽度方向的一侧检测的高辉度部分对应的高度不存在开口宽度方向的另一侧的高辉度部分的情况下，在显示装置显示示出高辉度部分不存在的部分的异常记号，因此，使用者能够利用显示在显示装置的记号，容易得知在半导体基板的收纳姿势产生异常、以及该收纳姿势的异常在收纳空间的哪个位置产生。所以，得知在半导体基板的收纳姿势产生异常的使用者为了更正该输送容器内的半导体基板的输送姿势，能够进行用于更正半导体基板的收纳姿势的处理。这样，根据上述构成，能够提供对于使用者易用性好的基板收纳状态检查装置。在本发明所涉及的基板收纳状态检查装置的实施方式中，优选的是所述检查用位置设定在输送所述输送容器的输送路径上，所述第一照明部和所述第二照明部设置在所述输送路径中的所述输送容器的移动范围的所述宽度方向的两侧部、且不与所述移动范围重叠的位置，所述拍摄装置设置在所述输送路径的上方、且不与所述移动范围重叠的位置。即，由于在对输送容器进行输送的输送路径上设置的检查用位置拍摄收纳在输送容器的半导体基板，在为了处理输送容器而输送的情况下，在其输送中途能够为了获取检查对象图像而拍摄收纳空间内的半导体基板。而且，由于照明装置和拍摄装置设置在不与在输送路径移动的输送容器的移动范围重叠的位置，因此照明装置和拍摄装置不会干扰移动的输送容器。因此，例如，每次拍摄照明装置或者拍摄装置，向与输送容器的移动范围重叠的输送容器的前面移动，拍摄结束后隐蔽至不与输送容器的移动范围重叠部位的构成相比，不设置用于使照明装置、拍摄装置移动的构成即可，因此构成简单。进一步，由于不使照明装置或者拍摄装置移动即可，因此在使输送容器位于检查用位置后，能够迅速拍摄半导体基板。本发明所涉及的基板收纳设备包括所述各构成的基板收纳状态检查装置，包括容器收纳架，所述容器收纳架包括多个收纳所述输送容器的收纳部；其中，所述基板收纳状态检查装置设置在所述容器收纳架的入库口、或者向所述入库口输送所述输送容器的输送装置。即，由于基板收纳状态检查装置设置在容器收纳架的入库口、或者向入库口输送输送容器的输送装置，因此在收纳在输送容器的半导体基板的收纳姿势有异常的情况下，使用者也能够在向容器收纳架保管用的入库时，得知半导体基板的收纳姿势有异常。所以，使用者能够有效利用保管输送容器的时间，进行用于更正半导体基板的收纳姿势的异常的处理。附图说明图1是示出包括基板收纳状态检查装置的基板收纳设备的主要部分的图，图2是说明在输送装置包括基板收纳状态检查装置的构成的图，图3是输送容器的正视图，图4是示出位于检查用位置的输送容器与照明装置和拍摄用照相机的位置关系的图，图5是示出位于检查用位置的输送容器与照明装置和拍摄用照相机的位置关系的图，图6是控制框图，图7是姿势判别处理的流程图，图8是示出异常显示处理时的显示内容的图。附图标记说明1输送装置；19入库口；51拍摄装置；61照明装置；C输送容器；Co开口部；Cs支持体；D显示装置；H2基板收纳状态判别部；K移动范围；P检查处；S收纳空间；W半导体基板；Y1高辉度记号；Y2异常记号。具体实施方式基于附图说明包括本发明的基板收纳状态检查装置的基板收纳设备的实施方式。如图1所示，基板收纳设备包括储料器3、以及作为向该储料器3的入库口19输送半导体基板收纳用的输送容器C的输送装置的输送机1。储料器3在其内部包括容器收纳架，容器收纳架包括多个收纳输送容器C的收纳部(未图示)。输送机1跨储料器3的内部与外部之间将输送容器C送入和送出。输送机1中的与储料器3相反一侧的端部侧处是操作者用转送处P，进行将从储料器3送出的输送容器C在储料器3的外部卸下的卸下转送、将送入储料器3的输送容器C抓取到储料器3的外部的抓取转送。另外，位于储料器3的内部的输送机1的端部侧处(储料器3侧的端部侧处)是储料器内转送处Q，进行将从储料器3送出的输送容器C抓取到储料器3的内部的抓取转送、将送入储料器3的输送容器C在储料器3的内部卸下的卸下转送。而且，操作者在操作者用转送处P附近，以站立的姿势进行接受位于输送机1的操作者用转送处P的输送容器C，或者向输送机1的操作者用转送处P供给输送容器C转送操作。储料器3和输送机1设置在具备空气净化装置的无尘室内。在无尘室的底板侧，从楼板5的上方以隔开间隔的状态设置有多孔状的栅板6，在无尘室的天花板侧从天花板至下方隔开间隔地设置有由HEPA过滤器等构成的空气过滤器(未图示)。空气净化装置包括形成于栅板6的下方侧的进气室、形成于空气过滤器的上方侧的腔室、将进气室和腔室连通的循环通路，在循环通路包括通风风扇和预过滤器。而且，通过使空气净化装置的通风风扇工作，从天花板侧到底板侧形成清净空气的下降流。在储料器3的内部设置有升降式的库内转送装置4。库内转送装置4包括：可沿着竖直设置在栅板6的库内升降引导7自由升降的升降体8；以及经由旋转台9和链接机构10安装在该升降体8的库内转送用载放台11。在储料器3的内部设置有载放支持输送容器C的多个收纳台(未图示)，在各个收纳台的上部空间形成收纳输送容器C的收纳部。收纳部在上下方向为多层，并且平面视下围住库内转送装置4而排列为放射状。而且，通过组合升降体8的升降工作、旋转台9的旋转工作和链接机构10的伸缩工作，使库内转送用载放台11的位置移动且使库内转送用载放台11的平面视姿势变更，进行送出用带入操作、送入用带出操作。此处，送出用带入操作是抓取在收纳台以载放支持的状态收纳在收纳部的输送容器C，使该输送容器C载放支持在输送机1的储料器内转送处Q设置的储料器内载放台1Q的操作。另外，送入用带出操作是抓取载放支持在储料器内载放台1Q的输送容器C，使该输送容器C载放支持在空状态的收纳部中的收纳台的操作。另外，如图6所示，设置有控制输送机1和库内转送装置4的工作的输送控制装置Hv。输送机1构成为设置在从栅板6起与操作者的腰的高度一致的设定高度的上方，利用沿着水平方向的输送面的往返移动的载放台20，输送对象的输送容器C在操作者用转送处P与储料器内转送处Q之间被载放输送。载放台20在沿着其长边方向走行的走行体23的上端包括构成输送机1的输送机框架22的内部。走行体23在下端包括走行车轮（未图示），在操作者用转送处P与储料器内转送处Q之间自由走行移动地构成。而且，在操作者用转送处P和储料器内转送处Q，通过使载放台20在其上面与输送面一致的输送用上升位置、位于该输送用上升位置的下方的转送用下降位置进行升降，在操作者用转送处P，将输送容器C在载放台20与检查用载放台1P之间转送，或者在储料器内转送处Q，将输送容器C在载放台20与储料器内载放台1Q之间转送。此外，所述输送面是位于输送机框架22的上面的上方的假想面。如图1和图2所示，在输送机1的操作者用转送处P，检查用载放台1P安装固定在输送机框架22的上面板。检查用载放台1P将输送容器C以使其前面的开口部Co与储料器3对置的状态下，并且开口部Co的开口方向(即基板的取放方向)从水平面向上方倾斜设定角度(本例中为5度)的状态进行支持而设置。另外，在输送机1的储料器内转送处Q，储料器内载放台1Q安装固定在输送机框架22的上面板。储料器内载放台1Q也与检查用载放台1P同样，安装固定在输送机框架22的上面板，使得将输送容器C以输送容器C的开口部Co的开口方向从水平面向上方倾斜5度的状态进行支持。输送容器的构成输送容器C如图3所示，包括收纳形成为圆板状的晶片W(半导体基板)的收纳空间S。在收纳空间S，支持晶片W的外周部的支持体Cs(本例中为一对支持体Cs)沿上下方向分开的状态并列多层而设置。在输送容器C的前面侧设置有在收纳空间S与外部之间取放晶片W的开口部Co。此外，关于输送容器C的上下方向是收纳空间S内的晶片W的层叠方向(图3中的上下方向)。此外，输送容器C是以SEMI(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational：国际半导体设备和材料)规格为基准的合成树脂制的气密容器，例如称为FOSB或FOUP。在这些FOSB或FOUP通常设置有用于阻塞开口部Co的前面盖，但在本实施方式中，如上所述以在无尘室内部使用为前提，使用的开口部Co不用前面盖阻塞。输送容器C在收纳在储料器3前，即在向储料器3的入库口19输送输送容器C的输送机1的操作者用转送处P，执行对于该输送容器C的收纳空间S中的晶片W的收纳姿势是否正常的检查。即，在本实施方式中，操作者用转送处P相当于本发明的“检查用位置”。所以，检查用位置设定在输送输送容器C的输送路径上。基板收纳状态检查装置说明对晶片W的收纳姿势是否正常进行检查的基板收纳状态检查装置。基板收纳状态检查装置如图1、图2、图4和图5所示，包括经由输送容器C的开口部Co向收纳在位于操作者用转送处P的输送容器C的晶片W照射光的照明装置61；以及作为拍摄由照明装置61照射光的收纳空间S内的晶片W的拍摄装置的拍摄用照相机51。照明装置61沿输送容器C的开口部Co的宽度方向分开地包括一对由多个红外线LED在上下方向排列为长条状而配置的照明部62。此处，开口部Co的宽度方向(开口宽度方向)是与上下方向和开口部Co的开口方向这两者正交的方向(图3中的左右方向、图4中的上下方向)。一对照明部62的一个相当于本发明的“第一照明部”，另一个相当于本发明的“第二照明部”。各个一对照明部62在本实施方式中，被从与检查用载放台1P中的输送机1的长边方向正交的宽度方向的两侧的各个侧部在垂直方向竖直设置的垂直支持体60v、以及从沿垂直支持体60v的上下方向分开的2处沿水平方向延伸的水平支持体60h固定支持在输送机框架22。即，照明装置61包括沿上下方向构成为长条状的光源。而且，照明装置61在位于操作者用转送处P的输送容器C的开口部Co的前面侧，包括沿开口宽度方向(左右方向)分开而设置的一对照明部62。另外，一对照明部62中的各个如图4所示，设置在输送路径中的输送容器C的移动范围K的开口宽度方向的两侧部、且不与该移动范围K重叠的位置。拍摄用照相机51被从与输送机1的长边方向正交的宽度方向的单侧的侧部在垂直方向竖直设置的垂直支持体50v、从垂直支持体50v的上端部沿水平方向延伸的水平支持体50h、以及安装在水平支持体50h的支持支架50b固定支持在输送机框架22。此外，支持支架50b在平面视下与输送机1重叠的位置、与输送机1的长边方向正交的宽度方向的中央部，支持拍摄用照相机51。拍摄用照相机51能拍摄由所述红外线LED照射的红外线所生成的像，其视场设定为能拍摄收纳在输送容器C的收纳空间S的所有晶片W的范围。即，一对照明部62如图4所示，设置在输送路径中的输送容器C的移动范围的开口宽度方向的两侧部、且不与移动范围K重叠的位置，拍摄用照相机51如图5所示，设置在输送路径的上方且不与移动范围K重叠的位置。基板收纳状态检查装置如图6所示，包括判别用控制装置H，判别用控制装置H包括拍摄控制器H1和基板收纳状态判别部H2而构成。判别用控制装置H例如由包括储存装置和计算处理装置的计算机构成，构成拍摄控制器H1的程序进程和构成基板收纳状态判别部H2的程序进程由该计算机的计算处理装置执行。另外，在判别用控制装置H经由控制用接口或者数据收发用接口连接有拍摄用照相机51和照明装置61。拍摄控制器H1构成为与拍摄用照相机51之间自由接受拍摄指令的指令和拍摄数据，并且构成为与拍摄指令同步自由指示向照明装置61的工作指令(向LED通电的指令)。而且，拍摄控制器H1，作为拍摄处理，向照明装置61指示工作指令并且向拍摄用照相机51指示拍摄指令，将由拍摄用照相机51拍摄的图像作为检查对象图像，提交给基板收纳状态判别部H2。虽然未图示，但在检查用载放台1P包括检测载放了输送容器C的载放检测传感器，若载放检测传感器检测到在检查用载放台1P载放了输送容器C，则判别用控制装置H执行所述拍摄处理。基板收纳状态判别部H2基于由拍摄用照相机51拍摄的图像，判别晶片W的收纳空间S中的收纳姿势是否正常。在判别用控制装置H包括可进行图像输出的显示装置D作为输出接口，显示装置D构成为可显示判别用控制装置H所涉及的处理结果。另外，在判别用控制装置H包括定点设备(鼠标等)和字符输入装置(键盘等)作为输入接口。基于图7的流程图说明基板收纳状态判别部H2执行的处理。基板收纳状态判别部H2执行辉点检测处理，检测在所述拍摄处理中由拍摄用照相机51拍摄的检查对象图像中，利用照明装置61(本例中为一对照明部62)照射的光而在晶片W的周缘部的周方向上分开的部位产生的一对或者多对高辉度部分(步骤＃1)。此外，在收纳空间S收纳有一片晶片W的情况下，检测一对高辉度部分；在收纳空间S收纳有多片晶片W的情况下，检测多对高辉度部分。辉点检测处理是在检查对象图像上检测被一对照明部62的光照射而产生的沿晶片W的开口宽度方向分开的辉点的处理。接下来，执行姿势判定处理，对于利用辉点检测处理在检查对象图像上检测的沿开口宽度方向分开的高辉度部分，通过判别是存在与在开口宽度方向的一侧检测的高辉度部分对应的高度的另一侧的高辉度部分的正常状态，还是不存在该另一侧的高辉度部分的异常状态，判别半导体基板的收纳姿势是否异常(步骤＃2)。即，在姿势判定处理中，判别为在与利用辉点检测处理在检查对象图像上检测到的高辉度部分对应的高度、设定在与该高辉度部分在开口宽度方向不同位置的对应部分，不存在其他高辉度部分的情况下，判定为是异常状态。在步骤＃2中判别为是异常状态的情况(步骤＃2：是)下，基板收纳状态判别部H2将不存在高辉度部分的部分(所述对应部分)判别为不存在晶片W的异常部分，执行异常显示处理(步骤＃5)。该异常显示处理如图8所示，是将示出高辉度部分的高辉度记号Y1和示出异常部分的异常记号Y2与检查对象图像中的高辉度部分和异常部分的相对位置关系建立对应，显示在显示装置D的处理。在图8所示的例子中，在异常显示处理中，如图8的显示区域右上所示，作为综合判定结果显示E而显示“NG”。此外，在异常显示处理的执行时，基板收纳状态判别部H2向输送控制装置Hv指示输送停止指令。另外，在步骤＃2中判别为是正常状态的情况(步骤＃2：否)下，执行正常显示处理，基板收纳状态判别部H2在显示装置D显示检查对象图像，仅显示在与该检查对象图像重叠的状态下示出高辉度部分的高辉度记号Y1的存在位置(步骤＃3)。关于正常显示处理省略图示，但作为示出正常状态的综合判定结果显示E而显示“OK”。另外，接着正常显示处理(步骤＃3)，基板收纳状态判别部H2向输送控制装置Hv指示输送指令。由此，输送机1和库内转送装置4工作，输送容器C收纳在储料器3。在本实施方式中，显示装置D相当于显示基板收纳状态判别部H2的判别结果的“显示装置”。而且，基板收纳状态判别部H2构成为，基于关于利用辉点检测处理在检查对象图像上检测的沿开口宽度方向分开的高辉度部分的上下方向的位置的对应关系，执行判别半导体基板的收纳姿势是否异常的姿势判别处理。其他实施方式(1)在上述实施方式中，说明了将基板收纳状态检查装置用于收纳形成为圆板状的晶片W的输送容器C内的晶片W的收纳姿势的检查的情况，但晶片W的形状不限于平面视正圆形的圆板状，例如也可以设置用于示出晶片中的结晶轴的方向的缺口或定位平台。另外，在上述实施方式中，说明了不安装输送容器C的前面盖而使用的方式，但不限于这样的使用方式，例如也可以是用透明的材质形成前面盖，从前面盖的外侧进行照明装置所涉及的光的照射和拍摄用照相机所涉及的拍摄的方式。(2)在上述实施方式中，说明了构成为将拍摄用照相机51设置在输送路径的上方、且不与输送容器C的移动范围K重叠的位置，但不限于这样的构成，例如也可以构成为将拍摄用照相机设置在输送路径的下方侧、且不与输送容器C的移动范围K重叠的位置。另外，在上述实施方式中，说明了仅使用1台拍摄用照相机51的构成，但也可以构成为将2台以上的拍摄用照相机设置在不与输送路径中的移动范围K重叠的位置。在该情况下，例如考虑使拍摄用照相机设置在位于输送容器C的移动范围K的开口宽度方向的两侧部，作为不与输送路径中的移动范围K重叠的位置。(3)在上述实施方式中，说明将一对照明部62中的各个包括沿上下方向构成为长条状的光源而构成的例子，但一对照明部62中的各个中的光源的形状不限于如上所述的构成，只要可对支持在收纳空间S内的全部的支持体Cs的晶片W经由输送容器C的前面的开口部Co照射光，可以使用点状光源或环状光源等、各种形状的光源。(4)在上述实施方式中，例举了将基板收纳状态检查装置设在从作为输送容器C的输送源处的输送机1的检查用载放台1P、向储料器3的入库口19输送输送容器C的输送机1的构成，但在未设置有输送机1的情况下，也可以构成为在储料器3的入库口19设置基板收纳状态检查装置。另外，输送输送容器C的输送装置不限于输送机，也可以是自走式转向架等其他输送装置。(5)在上述实施方式中，图8所示的在显示装置D的显示是异常显示处理的显示形态的一个例子，除图8所示的图像显示以外，例如也可以采用用字符模式画面仅用字符显示高辉度记号和异常记号，或者特别扩大显示异常记号的存在部位周围的图像，或者仅显示综合判定结果显示E等各种显示形态。另外，在上述实施方式中，作为异常显示处理，例举了在判别用控制装置H包括的显示装置D进行显示的构成，但作为异常显示处理显示信息的对象，也可以是可经由判别用控制装置H和网络收发信息的其他计算机的显示装置、使用者携带的便携式无线终端的显示画面。并且，作为异常显示处理，除了在显示装置D显示信息以外，也可以使用警告灯的点亮、声音的信息输出，另外，这些可以分别单独使用，也可以复合使用任意一个或者全部。(6)在上述实施方式中，构成为作为照明装置61使用红外线LED，拍摄用照相机51能拍摄照明装置61的红外线LED的红外线所涉及的像的结构，但不限于这样的构成，作为照明装置61也可以使用可见光区域的光线，作为拍摄用照相机51，也可以使用能拍摄该可见光区域的光所涉及的像的照相机。