技术编号:12727787
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅生产领域,尤其涉及一种管束清理装置。背景技术近几年多晶硅产业规模得到了迅速的扩大,因而探索研究以转化率高、能耗低、安全性高的四氯化硅的氢化处理工艺已经刻不容缓,多晶硅冷氢化工段的生产过程中,存在一个很重要的操作就是将反应尾气通过一个骤冷淋洗装置,将尾气含有的固体杂质及高沸物与氯硅烷分离开来,但是由于工艺缺陷,急冷后的物料中仍含有极微量的高沸物,这一部分高沸物再通过空冷器进行热交换时,会凝结在空冷器内壁上,随着生产时间的延长,高沸物在空冷器内壁逐渐的凝结集聚,导致空冷器的换热效...
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