技术编号：12736392
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种用于高效异质结电池片的真空吸笔。背景技术在太阳能晶体硅电池片的生产与测试的过程中，难免需要进行手动吸放硅片，在吸放硅片的过程中，若吸笔用力不均，局部压力过大容易导致硅片弯曲变形，甚至导致硅片破裂，造成制程破片率攀升。所以一般晶体硅电池片生产用的真空吸笔，在吸笔结构上有一定的要求，吸笔的吸盘尽可能有效地接触硅片，使得硅片表面有均匀的受力，减少局部压强过大破坏硅片，同时保持吸盘表面洁净，吸附硅片过后，在硅片表面不留痕迹。然而在高效异质结太阳能电池的生...
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