一种用于高效异质结电池片的真空吸笔的制作方法

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种用于高效异质结电池片的真空吸笔。

背景技术：

在太阳能晶体硅电池片的生产与测试的过程中，难免需要进行手动吸放硅片，在吸放硅片的过程中，若吸笔用力不均，局部压力过大容易导致硅片弯曲变形，甚至导致硅片破裂，造成制程破片率攀升。所以一般晶体硅电池片生产用的真空吸笔，在吸笔结构上有一定的要求，吸笔的吸盘尽可能有效地接触硅片，使得硅片表面有均匀的受力，减少局部压强过大破坏硅片，同时保持吸盘表面洁净，吸附硅片过后，在硅片表面不留痕迹。

然而在高效异质结太阳能电池的生产过程中，对于真空吸笔的要求更加严苛，主要取决于异质结太阳能电池的PN结结构，异质结太阳能电池是在单晶硅硅片的表面叠加一层或数层非晶硅的膜层，非晶硅膜层决定了PN结的特性，决定了电池片的电气性能，且非晶硅膜层较薄，一般在3-10nm极其敏感易受损害，所以真空吸笔吸附异质结太阳能电池时不仅不能破坏衬底单晶硅片，更不能造成非晶硅膜层的损伤或表面脏污残留。

在试验的过程中发现，用一般市面上的真空吸笔吸附高效异质结太阳能电池片，肉眼观察虽硅片表面干净无痕迹，但EL测试发现，一般真空吸笔吸附后硅片上留有明显的吸笔印迹，说明一般真空吸笔容易造成硅片局部压力过大、非晶硅膜层受损，或者表面易受污染，导致成品电池片的电气性能受到一定影响。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型提供了一种吸附硅片受力均匀，可以有效地控制吸附的压力，吸附压强稳定的用于高效异质结电池片的真空吸笔。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于高效异质结电池片的真空吸笔，包括依次连接的吸盘、笔杆及气体进口通道管，所述笔杆内部中空形成气体通道管，所述笔杆中部设有真空计，所述气体进口通道管上安装有调压阀。

所述吸盘面上设有三到五个开口小孔，小孔直径3-5mm，开孔面积与整个吸盘面积比例在1:15-1:5之间。

所述吸盘表面涂覆一纳米材料层，所述纳米材料层为聚四氟乙烯纳米涂层或其他纳米涂层。

所述真空吸笔的吸盘与笔杆端有一定的倾斜角，倾斜角在20-40°之间。

所述笔杆的真空计与气体进口通道管连接段为手持部，所述手持部上设有控制按钮，当需要将吸取的硅片移至另一位置放置时，按住按钮堵住通气孔，吸嘴端的负压失效则硅片自然脱落，不按时，吸笔的各部件相通可以吸附硅片。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

1、本实用新型吸盘与硅片的接触面积大，吸盘开孔小，保证吸力的同时，可以增大硅片的受力面积，同样吸力的条件下所受的压强小，能够实现对硅片表面均匀受力，避免硅片局部受力过大弯曲变形，可以最大程度地减少硅片非晶硅膜层受损。

2、本实用新型在笔杆中部设有真空计，实时监测吸附的压强，在气体进口通道管附有调压阀，可以有效地控制吸附的压力，保证操作过程中吸附压强的稳定性。

3、本实用新型吸盘的表面涂覆一层聚四氟乙烯材料，具有防水、不粘尘、脏污易清洁等特性，保证吸附硅片时不污染硅片的表面，破坏硅片的膜层。

4、本实用新型吸盘与笔杆端倾斜连接，即可以吸附竖直放置的硅片，也可以吸附水平载板上的硅片。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一种用于高效异质结电池片的真空吸笔的结构示意图；

图2为本实用新型一种用于高效异质结电池片的真空吸笔的吸盘与笔杆连接侧面示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

一种用于高效异质结电池片的真空吸笔，包括依次连接的吸盘、笔杆及气体进口通道管，所述笔杆内部中空形成气体通道管，所述笔杆中部设有真空计，实时监测吸附的压强，在气体进口通道管附有调压阀，可以有效地控制吸附的压力，保证操作过程中吸附压强的稳定性，所述气体进口通道管上安装有调压阀。

所述吸盘面上设有三到五个开口小孔，小孔直径3-5mm，开孔面积与整个吸盘面积比例在1:15-1:5之间，吸盘与硅片的接触面积大，吸盘开孔小，保证吸力的同时，可以增大硅片的受力面积，同样吸力的条件下所受的压强小，能够实现对硅片表面均匀受力，避免硅片局部受力过大弯曲变形，可以最大程度地减少硅片非晶硅膜层受损。

所述吸盘表面涂覆一纳米材料层，所述纳米材料层为聚四氟乙烯纳米涂层或其他纳米涂层，具有防水、不粘尘、脏污易清洁等特性，保证吸附硅片时不污染硅片的表面，破坏硅片的膜层。

所述真空吸笔的吸盘与笔杆端有一定的倾斜角，倾斜角在20-40°之间，既可以竖向吸附装于花篮里的硅片，也可吸附水平载板上的硅片，而市面上的吸笔一般是吸盘与笔杆直线连接，在吸附水平载板上的硅片时操作难度较大，而倾斜角的吸笔更有利于提高吸片效率。

所述笔杆的真空计与气体进口通道管连接段为手持部，所述手持部上设有控制按钮，当需要将吸取的硅片移至另一位置放置时，按住控制按钮堵住气体通道管，吸盘端的负压失效则硅片自然脱落，不按时，吸笔的各部件相通可以吸附硅片。

实施例2

一种用于高效异质结电池片的真空吸笔，包括依次连接的吸盘、笔杆及气体进口通道管，所述吸盘面上设有五个开口小孔，小孔直径3mm。所述吸盘表面涂覆一层聚四氟乙烯纳米涂层。所述真空吸笔的吸盘与笔杆端有一定的倾斜角，倾斜角为25°，所述笔杆内部中空形成气体通道管，所述笔杆中部上设有真空计，所述气体进口通道管上安装有调压阀，所述笔杆的真空计与气体进口通道管连接段为手持部，所述手持部上设有控制按钮。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。