技术编号:12753692
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域,尤其是一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置。背景技术当前,企业在对硅片进行抛光加工时采用的加持装置均为电磁式,这种方式的加持设备不仅购买成本高,而且结构复杂,维修成本极高,不利于企业的低成本管理,存在不足。发明内容本实用新型的目的是提供一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置,为克服上述的不足,采用真空结构,不仅购买成本低,而且设备的结构简单,易于维修,同时维修成本较低,有利于企业的低成本管理。本实用新型的技术方案:一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置,包括本体、支撑环、外环...
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