一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置的制作方法

本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域，尤其是一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置。

背景技术：

当前，企业在对硅片进行抛光加工时采用的加持装置均为电磁式，这种方式的加持设备不仅购买成本高，而且结构复杂，维修成本极高，不利于企业的低成本管理，存在不足。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，为克服上述的不足，采用真空结构，不仅购买成本低，而且设备的结构简单，易于维修，同时维修成本较低，有利于企业的低成本管理。

本实用新型的技术方案：

一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，包括本体、支撑环、外环；其中：本体边缘与外环固定连接，本体中部与支撑环固定连接，本体内部设有气孔，气孔通过密封垫圈与接头连通，接头通过气管与风机连通，风机与排气管连通。

一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，其中：支撑环内部设有通孔。

一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，其中：外环顶部设有密封环。

本实用新型的优点在于：本装置采用真空结构，不仅购买成本低，而且设备的结构简单，易于维修，同时维修成本较低，有利于企业的低成本管理。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意简图。

图2为本实用新型的俯视示意简图。

附图标记：本体1、支撑环2、外环3、密封环4、通孔5、气孔6、密封垫圈7、接头8、气管9、风机10、排气管11。

具体实施方式

实施例1、一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，包括本体1、支撑环2、外环3；其中：本体1边缘与外环3固定连接，本体1中部与支撑环2固定连接，本体1内部设有气孔6，气孔6通过密封垫圈7与接头8连通，接头8通过气管9与风机10连通，风机10与排气管11连通。

实施例2、一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，其中：支撑环2内部设有通孔5，利用连通器原理平衡内部气压，防止气压不均衡导致硅片破碎。其余同实施例1。

实施例3、一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，其中：外环3顶部设有密封环4，提高设备密封性，防止漏气。其余同实施例1。

工作原理：

将硅片放置于密封环4之上，启动风机10，风机10运行过程中将本体1、支撑环2、外环3、密封环4四者所构成的内腔空间内的空气抽出，并经过接头8、气管9与排气管11将空气排出，进而产生真空，并通过通孔实现各处的真空压强相等，密封环4与密封垫圈7保持密封性，使得真空压力不会泄露，进而使得硅片被夹持固定，真空夹持装置不仅能够平稳夹持硅片，而且能够提供有效的真空吸力，提高工作效率，动作结束。