1.一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，包括本体（1）、支撑环（2）、外环（3）；其特征在于：本体（1）边缘与外环（3）固定连接，本体（1）中部与支撑环（2）固定连接，本体（1）内部设有气孔（6），气孔（6）通过密封垫圈（7）与接头（8）连通，接头（8）通过气管（9）与风机（10）连通，风机（10）与排气管（11）连通。
2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，其特征在于：支撑环（2）内部设有通孔（5）。
3.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用硅片真空夹持装置，其特征在于：外环（3）顶部设有密封环（4）。