技术编号：12768279
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及自动化检测技术领域，尤其涉及一种调节式晶元片检测头组件。背景技术晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，晶元在封装制造成芯片之前需要对其性能进行检测，由于一个晶元片上存在成百上千个晶元，人工通过探针对每个晶元进行检测，工作量非常大，而且容易漏检。实用新型内容本实用新型为了解决现有技术...
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