一种调节式晶元片检测头组件的制作方法

本实用新型涉及自动化检测技术领域，尤其涉及一种调节式晶元片检测头组件。

背景技术：

晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，晶元在封装制造成芯片之前需要对其性能进行检测，由于一个晶元片上存在成百上千个晶元，人工通过探针对每个晶元进行检测，工作量非常大，而且容易漏检。

技术实现要素：

本实用新型为了解决现有技术中晶元片检测效率低的问题，提供了一种能适用于自动检测设备，安装调节方便，可极大提高检测效率的调节式晶元片检测头组件。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种调节式晶元片检测头组件，包括探针座，所述探针座的上端中心设有凹腔，所述凹腔底部设有若干探针定位通孔，所述探针定位通孔内设有探针，探针的下端伸出探针座底面，所述凹腔的内壁上设有环形阶梯面，所述的环形阶梯面上设有线路板，所述的线路板与探针之间电连接，所述凹腔的开口端设有端盖，所述端盖的上侧面中心设有螺杆，螺杆的下端与端盖之间转动连接，所述端盖的正上方设有连接座，连接座的底板上设有螺套，所述的螺杆穿过螺套，螺套的侧面设有锁止螺栓，所述螺杆的上端设有调节轮，所述端盖上还设有与螺杆平行的导向杆，所述导向杆的上端穿过连接座的底板形成滑动连接，所述连接座的顶部设有连接柱。

连接柱与自动检测设备上的升降机构连接，升降机构的升降位移是固定的，晶元片安装在滑动支架上，通过调节轮带动螺杆转动实现探针座的整体升降，从而调节探针与晶元接触时的压缩量，确保探针与晶元稳定接触，调节好之后锁紧螺栓拧紧；探针座向下移动一次，所有的探针与晶元片表面的晶元弹性接触、检测，然后探针座上移，滑动支架带动晶元片移动一段距离，探针座下降检测，依次循环，将晶元片上的所有晶元都检测一次，检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果，极大的提高了晶元片的检测效率；线路板、探针上端电连接都被封装在凹腔内，受外界干扰小，具有良好的防水、防尘性能好。

作为优选，所述探针定位通孔的两端设有套设在探针外侧的绝缘夹套，所述探针的下端表面位于绝缘夹套处设有限位凸环，所述探针的上端设有导电套，所述导电套的外端设有导电柱，所述的导电柱与线路板之间电连接。探针的两端通过两个绝缘夹套限位并与探针座之间绝缘，探针上端与导电套连接，探针下端通过限位凸环限位，探针长时间使用需要更换，只需要卸下导电套，卸下探针上端的绝缘夹套，然后将探针从下端抽出，更换上新的探针，探针更换非常方便。

作为优选，所述的绝缘夹套包括夹套本体、设在夹套本体一端的挡圈，所述夹套本体的另一端外侧面呈锥形。锥形便于夹套本体头部能够快速插入探针定位通孔内，挡圈露在探针定位通孔外部，便于取出绝缘夹套。

作为优选，所述凹腔的侧面设有引线孔，线路板上的数据线穿过引线孔，数据线的外端设有数据插头，所述的引线孔内设有防水套。线路板上的数据线从引线孔处伸出，数据接头与自动化设备上的接口直接连接，实现数据传递；防水套对引线孔密封，起到防水作用，防止外界的水汽进入凹腔内导致探针短路。

作为优选，所述端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈。密封圈起到密封作用，防止外界水分进入凹腔内造成短路。

作为优选，所有探针的检测端面为球面，所有探针的检测端面共面。检测端面与晶元接触检测，球面能确保与晶元接触良好。

因此，本实用新型能适用于自动检测设备，安装调节方便，可极大提高检测效率；同时自身密封性能好，防水防尘性能好，稳定性好；探针损坏后更换非常方便。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为探针座的内部结构示意图。

图3为图2中A处局部放大示意图。

图4为图2中B处局部放大示意图。

图中：探针座1、凹腔2、探针定位通孔3、探针4、绝缘夹套5、导电套6、导电柱7、环形阶梯面8、线路板9、端盖10、密封圈11、螺杆12、引线孔13、数据线14、数据插头15、防水套16、连接座17、螺套18、锁止螺栓19、调节轮20、导向杆21、连接柱22、限位凸环40、夹套本体50、挡圈51。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

如图1和图2所示的一种调节式晶元片检测头组件，包括探针座1，探针座1的上端中心设有凹腔2，凹腔底部设有若干探针定位通孔3，探针定位通孔内设有探针4，本实施例中的探针有16根，呈4X4的矩阵分布，探针定位通孔3的两端设有套设在探针外侧的绝缘夹套5，探针的下端伸出探针座底面，探针的检测端面为球面，所有探针的检测端面共面；如图3所示，绝缘夹套5包括夹套本体50、设在夹套本体一端的挡圈51，夹套本体的另一端外侧面呈锥形，探针4的下端表面位于绝缘夹套处设有限位凸环40，如图4所示，探针的上端设有导电套6，导电套6的外端设有导电柱7，凹腔的内壁上设有环形阶梯面8，环形阶梯面上设有线路板9，线路板与导电柱之间电连接，凹腔的开口端设有端盖10，端盖与凹腔开口端之间螺纹连接，端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈11，凹腔的侧面设有引线孔13，线路板上的数据线14穿过引线孔，数据线的外端设有数据插头15，引线孔内设有防水套16。

端盖的上侧面中心设有螺杆12，螺杆的下端与端盖之间转动连接，端盖的正上方设有连接座17，连接座的底板上设有螺套18，螺杆穿过螺套，螺套的侧面设有锁止螺栓19，螺杆的上端设有调节轮20，端盖上还设有与螺杆平行的导向杆21，导向杆的上端穿过连接座的底板形成滑动连接，连接座的顶部设有连接柱22。

结合附图，本实用新型的使用方法如下：连接柱与自动检测设备上的升降机构连接，数据插头与自动检测设备上的插口连接，通过调节轮带动螺杆转动实现探针座的整体升降，从而调节探针与晶元接触时的压缩量，确保探针与晶元稳定接触；晶元片安装在滑动支架上，探针座向下移动一次，4X4的探针分别与晶元片表面的4X4的晶元一一对应弹性接触、检测，然后探针座上移，滑动支架带动晶元片移动一段距离，探针座下降检测，依次循环，将晶元片上的所有晶元都检测一次，检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果，极大的提高了晶元片的检测效率；线路板、探针与导电片的连接都被完全封装在凹腔内，受外界干扰小，防水、防尘性能好；探针损坏后，更换非常方便。