技术编号:12772384
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体技术领域,特别是涉及一种TEM样品格栅及TEM样品放置装置。背景技术目前,TEM(Transmissionelectronmicroscope,透镜电子显微镜)越来越多的用于观察半导体器件形貌,从而对半导体器件进行失效分析。制备TEM样本的技术可以涉及劈开、化学抛光、机械抛光、或者宽束、低能量离子铣削,或者将上述技术中一个或多个进行组合。这些技术的缺点在于它们常常需要将起始材料分割为越来越小的片,由此破坏大部分原始工件。而被称作“取出/提升出(lift-out)”技术,使用F...
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