技术编号:12782271
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型关于一种液位控制系统,特别是关于一种适用于湿式制程的液位控制系统,尤其是适用于面板产业和半导体产业和生物产业。背景技术在面板产业中,湿式制程发展的已经相当成熟。然而,受限于现有的机构设计,在实际操作中仍存在许多问题。参考图1,绘示现有技术的液位控制系统10之示意图。所述控制系统10包括一水槽11、一机械夹持装置13。所述水槽11储放一液体12。一般而言,所述液体12是处理液体,像是蚀刻液及/或生物溶液。所述机械夹持装置13夹持着一基板14在所述液体12中往上缓慢移动离开所述液体12,以...
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