技术编号:12807156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置。背景技术液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay,LCD)或者有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode,OLED)显示装置的阵列基板上设置有多个薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)用于对上述显示装置的亚像素进行驱动。现有技术在TFT的制作过程中,受到制作工艺影响,会使得TFT的半导体有源层产生较多的缺陷,从而导致TFT在导通时,沟道中产生的载流子在传输过...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。