技术编号：12905522
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米压印技术领域，具体涉及一种红外探测智能纳米压印机。背景技术现有的纳米压印机主要是通过加压的方式实现将升降台上升，使得放置于升降台上的模板和衬底接触到承压台进行对压压印，但是在实际的应用过程当中，由于不同的工艺每次模板和衬底的总厚度存在很大的差异，然而升降台的上升高度主要取决于加压箱内的压力大小，可是现有的纳米压印机无法根据每次模板和衬底的总厚度来针对性的调整加压箱内的压力大小，因此升降台的上升高度无法适应于不同工艺要求的使用需求，纳米压印机实际的使用存在很大的局限性，使用效果不佳。...
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