一种红外探测智能纳米压印机的制作方法

文档序号:12905522阅读:149来源:国知局

本发明属于纳米压印技术领域,具体涉及一种红外探测智能纳米压印机。



背景技术:

现有的纳米压印机主要是通过加压的方式实现将升降台上升,使得放置于升降台上的模板和衬底接触到承压台进行对压压印,但是在实际的应用过程当中,由于不同的工艺每次模板和衬底的总厚度存在很大的差异,然而升降台的上升高度主要取决于加压箱内的压力大小,可是现有的纳米压印机无法根据每次模板和衬底的总厚度来针对性的调整加压箱内的压力大小,因此升降台的上升高度无法适应于不同工艺要求的使用需求,纳米压印机实际的使用存在很大的局限性,使用效果不佳。



技术实现要素:

发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,提供一种能够适应于任何厚度的模板和衬底的压印需求的红外探测智能纳米压印机。

技术方案:为实现上述目的,本发明提供一种红外探测智能纳米压印机,包括顶部开口结构的加压箱、位于加压箱正上方的用于放置衬底和模板的升降台、位于升降台正上方的承压台,所述加压箱内设置有至少2个朝着加压箱上方纵向延伸的升降柱,所述升降柱贯穿升降台和承压台,所述承压台和升降柱固定连接,所述升降台能够沿着升降柱上下移动,所述加压箱的底部通过加压管连接着加压器,所述承压台上设置有紫外灯装置,所述升降台的两端分别设置有相互匹配的红外发射板和红外接收板,所述升降台上设置有用于读取到红外接收板接收到的红外线高度数据的信号转换发射器,所述加压器上设置有用于接收信号转换发射器发射数据的显示接收器,所述显示接收器连接着加压器。

本发明的设计原理为:利用红外接收板能够接收到红外发射板发射出来的红外线的所有高度范围,信号转换发射器能够读取红外接收板收到的数据范围,通过没有接收到的数据范围的峰值便是模板在升降台上的高度值,信号转换发射器将此数据值发送给显示接收器,显示接收器将收到的数据传递给加压器,通过在加压器内将加压箱内的压力值与接收到的模板在升降台上的高度值进行函数值的程序设定,使得对应的高度值能够对应上具体的压力值,从而使得升降台上的模板和衬底无论厚度为多少,升降台均能将模板和衬底上升到标准的位置。

进一步地,所述升降台的底部设置有抽真空装置。

进一步地,所述升降台与衬底之间设置有硅胶垫。

进一步地,所述升降柱的数量为4个且分别位于加压箱的四个角落处。

进一步地,所述接收显示发射器和显示接收器通过wifi信号进行数据传输。

进一步地,所述信号转换发射器固定在升降台的侧部。

有益效果:本发明与现有技术相比,加压器能够根据接收到的模板在升降台上的高度值来针对性的调整加压箱内的压力值,从而使得升降台上的模板和衬底无论厚度为多少,升降台均能将模板和衬底上升到准确的位置,解决了传统的纳米压印机无法适应于不同模板和衬底厚度的缺陷,不但提升了压印效果,而且扩大了使用广泛度,具有极好的市场应用前景。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本发明,应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围,在阅读了本发明之后,本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于

本技术:
所附权利要求所限定的范围。

如图1所示,本发明提供一种红外探测智能纳米压印机,包括顶部开口结构的加压箱1、位于加压箱1正上方的用于放置衬底11和模板12的升降台2、位于升降台2正上方的承压台3,所述加压箱1内设置有4个朝着加压箱1上方纵向延伸的升降柱4,所述4个升降柱4分别位于加压箱1的四个角落处,所述升降柱4贯穿升降台2和承压台3,所述承压台3和升降柱4固定连接,所述升降台2能够沿着升降柱4上下移动,所述加压箱1的底部通过加压管71连接着加压器7,所述承压台3上设置有紫外灯装置5,所述升降台2的两端分别设置有相互匹配的红外发射板8和红外接收板9,所述升降台2上设置有用于读取到红外接收板9接收到的红外线高度数据的信号转换发射器91,所述加压器7上设置有用于接收信号转换发射器91发射数据的显示接收器10,所述显示接收器10连接着加压器7,所述升降台2的底部设置有抽真空装置6,所述升降台2与衬底11之间设置有硅胶垫13,所述信号转换发射器91和显示接收器10通过wifi信号进行数据传输,所述信号转换发射器91固定在升降台2的侧部。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种红外探测智能纳米压印机,包括顶部开口结构的加压箱、位于加压箱正上方的用于放置衬底和模板的升降台、位于升降台正上方的承压台,所述加压箱内设置有至少2个朝着加压箱上方纵向延伸的升降柱,所述升降柱贯穿升降台和承压台,所述承压台和升降柱固定连接。本发明能够根据接收到的模板在升降台上的高度值来针对性的调整加压箱内的压力值,从而使得升降台上的模板和衬底无论厚度为多少,升降台均能将模板和衬底上升到准确的位置,解决了传统的纳米压印机无法适应于不同模板和衬底厚度的缺陷,不但提升了压印效果,而且扩大了使用广泛度,具有极好的市场应用前景。

技术研发人员:赵敏洁;杨彦涛
受保护的技术使用者:无锡英普林纳米科技有限公司
技术研发日:2017.08.23
技术公布日:2017.11.10
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