技术编号：12905530
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光刻工艺的技术领域，具体地说是一种光阻回收利用装置。背景技术光阻被称为半导体制造里面的黄金，可见光阻在半导体里面的重要性。它的重要性体现在一是价格上，非常昂贵。二是地位性，没有光阻就生产不出来芯片。从这两点上我们也可以看出每一滴光阻对芯片的代工厂何等重要。因此，本发明已此为契机，通过对可再利用光阻实现回收，这样长时间下来会带来很大的经济效益。发明内容针对上述问题，本发明的目的在于提供一种光阻回收利用装置。该装置通过将排泡时排出的光阻通过本装置回收利用，减少光阻的浪费，将可利用光阻量大大...
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