一种光阻回收利用装置的制作方法

本发明属于光刻工艺的技术领域，具体地说是一种光阻回收利用装置。

背景技术：

光阻被称为半导体制造里面的黄金，可见光阻在半导体里面的重要性。它的重要性体现在一是价格上，非常昂贵。二是地位性，没有光阻就生产不出来芯片。从这两点上我们也可以看出每一滴光阻对芯片的代工厂何等重要。因此，本发明已此为契机，通过对可再利用光阻实现回收，这样长时间下来会带来很大的经济效益。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种光阻回收利用装置。该装置通过将排泡时排出的光阻通过本装置回收利用，减少光阻的浪费，将可利用光阻量大大提升，达到同是一瓶光阻情况下产生更大的效益。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种光阻回收利用装置，包括光阻瓶、缓存罐、回收盒、泵及过滤器，其中，所述光阻瓶与氮气管路连通，所述缓存罐通过供胶管路与所述光阻瓶连通，所述缓存罐通过排胶管路依次与泵、过滤器和涂胶单元连通；所述回收盒通过排泡管路i和排泡管路ii分别与所述缓存罐的顶部及所述过滤器的顶部连通；所述回收盒通过回收管路与所述光阻瓶连通；所述氮气管路、排泡管路i、排泡管路ii及回收管路上均设有通断阀。

所述回收盒的顶部设有回收盒排气口，该回收盒排气口通过排气管路与废液收集盒连通，所述排气管路上设有通断阀。

所述氮气管路、排泡管路i及排气管路上的通断阀均与控制器i连接、并通过控制器i的控制实现同时打开或关闭；所述排泡管路ii和回收管路上的通断阀均与控制器ii连接、并且通过控制器ii的控制实现同时打开或关闭。

所述回收盒的底部设有回收盒出液口，所述回收盒出液口与回收管路连 通。

所述回收盒的上端设有回收盒进液口，所述排泡管路i和排泡管路ii汇聚到一起后与所述回收盒进液口连通。

所述光阻瓶的顶部设有供气口、供液口及回收口，所述供气口与氮气管路连通，所述供液口与所述供胶管路连通，所述回收口与回收管路连通。

所述光阻瓶内设有插入底部的出液管，所述出液管的上端由所述供胶口伸出、并且与供胶管路连接。

所述缓存罐的上、下端分别设有上液位传感器和下液位传感器，所述上液位传感器和下液位传感器用于监测缓存罐内的光阻量。

所述缓存罐的顶部设有缓存罐进液口和缓存罐排泡口，底部设有缓存罐排液口，所述缓存罐进液口和缓存罐排泡口分别与供胶管路和排泡管路i连通，所述缓存罐排液口通过管路与泵的吸入口连通。

所述过滤器的顶部设有过滤器进液口、过滤器排液口及过滤器排泡口，所述过滤器进液口通过管路与泵的排出口连通，所述过滤器排液口通过管路与涂胶单元连通，所述过滤器排泡口与排泡管路ii连通。

本发明的优点及有益效果是：

1.本发明回收盒内的光阻可自动回到胶瓶，实现重新利用。

2.本发明的传感器a可实现无光阻报警但不停机和传感器b报警停机功能。

3.针对光刻工艺中用到的光阻，有一些步骤中能用的光阻被当废光阻排到厂务，而本发明就是要避免这种浪费。

附图说明

图1是本发明的原理示意图；

图2是本发明的缓存罐加液示意图；

图3是本发明的光阻回收示意图。

其中：a为光阻瓶，b为缓存罐，c为回收盒，d为泵，e为过滤器，f为废液收集盒，g为涂胶单元，a为上液位传感器，b为下液位传感器，1为通断阀i，2为通断阀ii，3为通断阀iii，4为通断阀iv，5为通断阀v，6为供 胶管路，7为排泡管路i，8为排气管路，9为排泡管路ii，10为回收管路。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

如图1所示，本发明提供的一种光阻回收利用装置，包括光阻瓶a、缓存罐b、回收盒c、泵d及过滤器e，其中，所述光阻瓶a的顶部与氮气管路连通，所述缓存罐b通过供胶管路6与所述光阻瓶a连通，所述缓存罐b通过排胶管路依次与泵d、过滤器e和涂胶单元g连通；所述回收盒c通过排泡管路i7和排泡管路ii9分别与所述缓存罐b的顶部及所述过滤器e的顶部连通；所述回收盒c通过回收管路10与所述光阻瓶a连通；所述氮气管路、排泡管路i7、排泡管路ii9及回收管路10上均设有通断阀。

所述光阻瓶a的顶部设有供气口、供液口及回收口，所述供气口与氮气管路连通，用n2加压方式实现光阻进入缓存罐b内。所述供液口与所述供胶管路6连通，所述回收口与回收管路10连通。所述光阻瓶a内设有插入底部的出液管，所述出液管的上端由所述供胶口伸出、并且与供胶管路6连接。

所述缓存罐b的顶部设有缓存罐进液口和缓存罐排泡口，底部设有缓存罐排液口。所述缓存罐进液口和缓存罐排泡口分别与供胶管路6和排泡管路i7连通，所述缓存罐排液口通过管路与泵d的吸入口连通。

所述缓存罐b的上、下端分别设有上液位传感器a和下液位传感器b，所述上液位传感器a和下液位传感器b用于监测缓存罐b内的光阻量。当上液位传感器a报警，则预示光阻瓶a内胶液已空，需要更换新光阻；当下液位传感器b报警，则预示缓存罐b内胶液已空，需要机台停止工作。

所述回收盒c的顶部设有回收盒排气口，该回收盒排气口通过排气管路8与废液收集盒f连通。所述排气管路8上设有通断阀，所述排气管路8可以减小回收盒c内的压力。所述回收盒c的上端还设有回收盒进液口，所述排泡管路i7和排泡管路ii9汇聚到一起后与所述回收盒进液口连通。所述回收盒c的底部设有回收盒出液口，所述回收盒出液口与回收管路10连通，可将可回收光阻通过回收管路10返回到所述光阻瓶a内。

所述过滤器e的顶部设有过滤器进液口、过滤器排液口及过滤器排泡口，所述过滤器进液口通过管路与泵d的排出口连通，所述过滤器排液口通过管路与涂胶单元g连通，所述过滤器排泡口与排泡管路ii9连通。用泵d实现过滤器e内的空气排出，并将一起排出的光阻回收。

所述氮气管路、排泡管路i7及排气管路8上的通断阀均与控制器i连接、并通过控制器i的控制实现同时打开或关闭；所述排泡管路ii9和回收管路10上的通断阀均与控制器ii连接、并且通过控制器ii的控制实现同时打开或关闭。

各管路上的通断阀的具体设置为：所述氮气管路上设有通断阀i1，所述回收管路10上设有通断阀ii2，所述排气管路8上设有通断阀iii3，所述排泡管路ii9上设有通断阀iv4，所述排泡管路i7上设有通断阀v5，其中通断阀i1、通断阀iii3及通断阀v5均与控制器i连接、并通过控制器i的控制实现同时打开或关闭；所述通断阀ii2和通断阀iv4均与控制器ii连接、并且通过控制器ii的控制实现同时打开或关闭。

当缓存罐b内充满光刻胶，则控制通断阀i1使n2断开，同时通过通断阀v5将排泡管路i7也断开；当过滤器e内充满光刻胶，通过通断阀iv4将排泡管路ii9断开。

本实施例中，所述控制器i和控制器ii采用两路cda(压缩空气)，其中一路cda控制通断阀i1、通断阀iii3及通断阀v5同时打开或关闭，另一路cda控制通断阀ii2和通断阀iv4同时打开或关闭。

本发明的工作原理是：

通过回收缓存罐b和过滤器e排出的光阻到回收盒c，将回收的光阻通过回收管路10再次返回到光阻瓶a内，实现可用光阻的重复利用。

本发明的工作过程是：

第一次管路上胶

a、缓存罐b上液及排泡管路将可用光阻回收：

光阻瓶a放上之后，操作通断阀i1、通断阀iii3及通断阀v5同时打开，光阻瓶a内的光阻被n2压到缓存罐b内部。当光阻充满缓存罐b时，多余的 光阻会通过上边的排泡管路i7送到回收盒c内部，此时上液位传感器a被触发，通断阀i1、通断阀iii3及通断阀v5经过几秒延迟后关闭。这样排出的可再利用的光阻被全部收集到回收盒c内，如图2所示。

b、过滤器e上液及回收管路将可用光阻回收：

当缓存罐b充满光阻之后，通过泵d要将光阻送到涂胶单元g内的出口，要实现光阻出口处的流量稳定，必须保障整条管路没有气泡，所以泵d出口处安有过滤器e。当泵d工作后将光阻充满整条管路，但过滤器e内可能没全部充满，光阻里面有空气，通过过滤器e上部的排泡管路ii9将内部空气排出。此时，通断阀ii2和通断阀iv4打开，和空气一起排出的光阻顺着过滤器e上部的排泡管路ii9进入回收盒c，并通过压力将回收盒c内的光阻送回到光阻瓶a内，实现可用光阻的重复利用，如图3所示。

后期换光阻

a、缓存罐b上液及排泡管路将可用光阻回收：

当缓存罐b上的上液位传感器a被触发报警，预示光阻瓶a内胶液已空，需换新光阻。当新光阻换上之后，通断阀i1、通断阀iii3及通断阀v5同时打开，光阻瓶a内的光阻被n2压到缓存罐b内部。当光阻充满缓存罐b，多余的光阻会通过上边的排泡管路i7送到回收盒c内部，此时上液位传感器a被触发解除报警，通断阀i1、通断阀iii3及通断阀v5经过几秒延迟后关闭。这样排出的可再利用的光阻被全部收集起来。

b、过滤器e上液及回收管路将可用光阻回收：

后期给过滤器e排泡时，通过排泡管路ii9排出的光阻会被送到回收盒c内、并把回收盒内c内的光阻送回到光阻瓶a内。

上述的两种过程会很频繁，光阻在半导体内堪比黄金，本发明可以很好的将可再利用光阻收回到胶瓶内再利用，避免不必要的浪费，达到相同光阻产出更多效益的目的。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本发明的保护范围内。