技术特征：
技术总结
本发明属于光刻工艺的技术领域，具体地说是一种光阻回收利用装置。包括光阻瓶、缓存罐、回收盒、泵及过滤器，其中，所述光阻瓶与氮气管路连通，所述缓存罐通过供胶管路与所述光阻瓶连通，所述缓存罐通过排胶管路依次与泵、过滤器和涂胶单元连通；所述回收盒通过排泡管路I和排泡管路II分别与所述缓存罐的顶部及所述过滤器的顶部连通；所述回收盒通过回收管路与所述光阻瓶连通；所述氮气管路、排泡管路I、排泡管路II及回收管路上均设有通断阀。本发明可以很好的将可再利用光阻收回到胶瓶内再利用，避免不必要的浪费，达到相同光阻产出更多效益的目的。
技术研发人员：王丽鹤
受保护的技术使用者：沈阳芯源微电子设备有限公司
技术研发日：2016.05.03
技术公布日：2017.11.10