技术编号：12965529
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。晶圆残胶清洁方法及装置【技术领域】本发明是有关于一种清洁方法及装置，尤指一种用以将晶圆上残胶予以清除的晶圆残胶清洁方法及装置。【背景技术】按，一般晶圆加工制程中常使用粘胶进行喷涂或沾点在管芯或其周缘上，这些粘胶通常在完成制程后会留在管芯上，有些则必须作清除否则会影响下一制程的进行，而无论以任何溶剂进行清洁，粘胶都很难完全被清除；先前技术在进行清洁时，皆会采取对整片晶圆作擦拭的操作，以使整片晶圆的表面的残胶被清除。【发明内容】先前技术中对整片晶圆作擦拭的操作仅能适用于晶圆表面具有大片残胶的状况，且...
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