晶圆残胶清洁方法及装置与流程

【技术领域】

本发明是有关于一种清洁方法及装置，尤指一种用以将晶圆上残胶予以清除的晶圆残胶清洁方法及装置。

背景技术：

按，一般晶圆加工制程中常使用粘胶进行喷涂或沾点在管芯或其周缘上，这些粘胶通常在完成制程后会留在管芯上，有些则必须作清除否则会影响下一制程的进行，而无论以任何溶剂进行清洁，粘胶都很难完全被清除；先前技术在进行清洁时，皆会采取对整片晶圆作擦拭的操作，以使整片晶圆的表面的残胶被清除。

技术实现要素：

先前技术中对整片晶圆作擦拭的操作仅能适用于晶圆表面具有大片残胶的状况，且仅适用于2d的晶圆；由于现今晶圆制程已发展至3d的制程，往往在晶圆已完成切割出管芯后，仍必须作管芯间的涂胶，因此许多时后残胶的发生不会是一大片，而是仅会残留在某些个别管芯，则作整片晶圆的清洁难以针对个别管芯作有效清洁。

爰是，本发明的目的，在于提供一种可针对个别管芯进行残胶清洁的晶圆残胶清洁方法。

本发明的另一目的，在于提供一种可针对个别管芯进行残胶清洁的晶圆残胶清洁装置。

本发明的又一目的，在于提供一种使用所述晶圆残胶清洁方法的装置。

依据本发明目的的晶圆残胶清洁方法，包括：在一机台上执行：一残胶检查步骤，使待施作工件的晶圆在一载台上受一检测机构逐一对晶圆上各管芯检视其残胶状况；一管芯擦拭步骤，使一擦拭机构以拭材对被检出有残胶的单独个别管芯逐一进行擦拭。

依据本发明另一目的的晶圆残胶清洁装置，包括：一机台，具有一机台台面，机台台面上设有一移载区间；一龙门轨架，将机台分隔出一第一工作区，以及一第二工作区；一检测机构，设于朝第一工作区的该龙门轨架一侧，对第一工作区中的待施作工件进行检视；一取放机构，设于机台该第一工作区，包括相隔间距设置的二夹座；一载台，设于机台该第二工作区可受驱动而位移于第一工作区、第二工作区间，并自取放机构承接待施作工件或将待施作工件交付取放机构；一擦拭机构，设于朝第二工作区的该龙门轨架一侧，设有一压抵座架及一拭材组件；该压抵座架设有一第一压抵组件，该拭材组件提供一拭材绕经其上；该第一压抵组件可受驱动压抵拭材对载台上的待施作工件进行残胶清洁。

依据本发明又一目的的晶圆残胶清洁装置，包括：使用如所述晶圆残胶清洁方法的装置。

本发明实施例的晶圆残胶清洁方法及装置，由于采管芯逐一擦胶清洁方式进行，故可针对被检出有残胶的管芯单独清洁，除可达较佳清洁效果外，对于整片晶圆上残胶的清洁可以有效率的执行；且在待施作工件已被载台上加热元件加热而使残胶受温热执行一由下对整片待施作工件第一次热解程序的情况下，擦拭机构h由具有热源的第一压抵组件再执行一由上对下针对单独管芯的第二次热解程序，被进行擦胶的该管芯上残胶已融成液态稀释状，再经无热源的第二压抵组件擦拭下，可以使残胶清洁更容易进行，且配合线激光测高器所投射线性激光光束对擦胶效果进行检查，可以更无遗漏的完成各管芯清洁；而擦拭机构的拭材组件借由释材区中卷轮释放拭材到卷收区中空的卷轮卷收拭材，其间使拭材可以无间断地自清洁液容器上滚轮沾附清洁液，并经配重轮配重轮、调整拭材在整个流路中被拉引的松紧适度，使擦胶清洁的作业可以循环不间断的自动化进行，使清洁效能大幅提高；同时压抵模块借第二轨座上、下侧的弹性元件在z轴向上、下位移时具有弹性的缓冲，使压抵模块上的第一压抵组件或第二压抵组件压抵拭材抵于管芯表面时，除受载台上荷重量测元件的量测而监控下压力道外，下压的压力本身就具有缓冲，可以降低待施作工件上管芯受损。

【附图说明】

图1是本发明实施例中晶圆残胶清洁装置机台第一工作区侧的机构立体示意图。

图2是本发明实施例中晶圆残胶清洁装置机台第二工作区侧的机构立体示意图。

图3是本发明实施例中图1的正面示意图。

图4是本发明实施例中图1的左侧示意图。

图5是本发明实施例中载台的立体分解示意图。

图6是本发明实施例中载台的定位盘上气孔的示意图。

图7是本发明实施例中擦拭机构的立体示意图。

图8是本发明实施例中擦拭机构的背侧立体示意图。

图9是本发明实施例中压抵座架与压抵模块的立体分解示意图。

图10是本发明实施例中压抵模块及第一压抵组件的立体分解示意图。

图11是本发明实施例中调整组件的立体分解示意图。

图12是本发明实施例中拭材组件的立体示意图。

图13是本发明实施例中拭材组件绕设拭材的正面示意图。

图14是本发明实施例中第一压抵组件的移擦头在晶圆的管芯上作移擦的立体示意图。

图15是本发明实施例中以激光测高器的线激光光束进行残胶检测的示意图。

【具体实施方式】

请参阅图1、2，本发明实施例可以图中的晶圆残胶清洁装置来说明，包括：

一机台a，具有一机台台面a1，机台a一端的机台台面a1上两侧各凸设形成高度相对应的台座a2，使二台座a2间形成一凹设状的移载区间a3，该二台座a2上表面a21与未设台座a2的机台a另一端机台台面a1形成一高度落差；

一龙门轨架b，以二立柱b1横跨架于该机台a的二台座a2上，一横梁b2设于二立柱b1间，该龙门轨架b将机台a分隔并规划出位于未设台座a2的机台a另一端机台台面a1的第一工作区a4，以及位于二台座a2一侧的第二工作区a5，其中，该第一工作区a4用以执行取放待施作工件w及对待施作工件w进行检测；该第二工作区a5用以对待施作工件w进行擦胶作业；该待施作工件w为一粘设于一环状钢框w1所贴设的胶膜w2上的晶圆w3，该晶圆w3与环状钢框w1保持一环状间距，晶圆w3并已完成切割出逐粒的管芯w4，并因相关制程而于管芯w4上留有残胶；

一检测机构c，由一ccd镜头所构成，设于朝第一工作区a4的该龙门轨架b一侧，其受龙门轨架b上一第一驱动件b3所驱动而可在龙门轨架b上横梁b2的x轴向滑轨b4作x轴向往复位移，该检测机构c的ccd镜头以z轴向朝下方向对第一工作区a4中的待施作工件w进行检视；

一取放机构d，设于第一工作区a4的机台台面a1上，其包括在x轴向相隔间距设置的二夹座d1，二夹座d1分别各设有相向凹设卡掣部d2的嵌夹件d3，各嵌夹件d3分别各设于位于呈y轴向间隔列设的多个枢轴d4所支撑的固定座d5上，该二嵌夹件d3分别各受其下方固定座d5上的一驱动件d6所驱动，可作x轴向相向夹扣待施作工件w的环状钢框w1，使待施作工件w呈水平状态跨架于二嵌夹件d3间；该固定座d5并可连动嵌夹件d3随枢轴d4受驱动升降，而连动所夹持的待施作工件w作上下升降；二嵌夹件d3夹持扣待施作工件w时，待施作工件w的高度低于该龙门轨架b上横梁b2及检测机构c下端的高度；

一轨座e，设于机台台面a1上，呈y轴向设置，其一端伸于第一工作区a4中该取放机构d中二夹座d1的待施作工件w下方，另一端穿经龙门轨架b下方而伸置于第二工作区a5的二台座a2间凹设状的移载区间a3中，其一端并设有轨座驱动件e1；

一供液机构f，设于第一工作区a4中的机台台面a1上，内容置有清洁液，可设有管路将清洁液进行输送；

一载台g，设于该第二工作区a5的二台座a2间凹设状的移载区间a3中轨座e上，并受该轨座e上轨座驱动件e1的驱动可作y轴向穿经龙门轨架b下方而位移于第一工作区a4、第二工作区a5间；请同时配合参阅图3、4，载台g可在穿经龙门轨架b位移于第一工作区a4中时，移入取放机构d中二夹座d1的待施作工件w下方，并自取放机构d承接待施作工件w，并于承接待施作工件w后移至检测机构c下方接受检测，再承载移待施作工件w移至第二工作区a5中进行擦胶作业，完成擦胶作业后再至回移第一工作区a4中时，将完成擦胶作业的待施作工件w交付取放机构d；

一擦拭机构h，设于朝第二工作区a5的该龙门轨架b的横梁b2一侧的x轴向滑轨b5的滑座b6上，其受龙门轨架b上一第二驱动件b7所驱动而可在滑轨b5上作x轴向往复位移，该擦拭机构h以z轴向朝下方向对移送至第二工作区a5中的待施作工件w进行擦胶作业。

请参阅图5，该载台g包括：

一固定座g1，设于该轨座e上，受该轨座e上轨座驱动件e1的驱动可作y轴向位移，一载盘g2，设于固定座g1上，可受固定座g1中驱动件(图中未示)驱动而作旋转，载盘g2呈一圆盘状并于周缘等分设有外凸并微上扬高于载盘g2上表面g21的多个支撑架g22(本实施例中为四个)，载盘g2的上表面g21中央设有一荷重量测元件g23，载盘g2的上表面g21于荷重量测元件g23外周侧以呈九十度角方位分别各设有二定位件g24；

一固定架g3，设于载盘g2上的荷重量测元件g23上方并受荷重量测元件g23量测，其以一座面g31贴靠设于荷重量测元件g23上，并以四角部向外延伸凸设的架脚g32分别各座设于该载盘g2的支撑架g22上，固定架g3并可受载盘g2连动进行旋转；固定架g3上四架脚g32互呈九十度分叉设置，并使每二架脚g32间邻靠的座面g31侧边g311形成直边状，二架脚g32与其间邻靠的座面g31侧边g311间形成凹设的定位区间g33，固定架g3以座面g31贴靠设于荷重量测元件g23时，二相邻的定位区间g33恰被该荷重量测元件g23外周侧呈九十度角方位设置的二定位件g24所嵌靠定位；

一加热元件g4，由多个加热棒g41所组成，各加热棒g41呈相隔间距平行并水平设置于固定架g3上方；

一定位盘g5，设于该固定架g3上，其四角落并各由固定架g3的四架脚g32所支撑，该加热元件g4则位于定位盘g5与固定架g3间，且贴靠于定位盘g5下表面，可对定位盘g5进行加热；定位盘g5上表面设有环形的多个环相隔间距的同心凹沟g51，以及互呈九十度交叉设置的直线凹沟g52，在凹沟g51与凹沟g52交叉处的凹沟中设有气孔g53(请配合参阅图6)，该气孔g53中通有负压可对定位盘g5上承载物进行吸附。

请参阅图2、7、8，该擦拭机构h设有：

一压抵座架h1，设有长方形的一呈z轴向立置的固定座h11，其固设于第二工作区a5的该龙门轨架b的横梁b2一侧的x轴向滑轨b5的滑座b6上，并可受第二驱动件b7驱动而在滑轨b5上作x轴向滑移；该固定座h11背侧下方固设有一线激光测高器h2，其与固定座h11连动并可向下投射线性激光光束h21；该固定座h11前侧设有压抵模块h3，其由一第一压抵组件h31及第二压抵组件h32所构成，其中，该第一压抵组件h31设有热源；压抵模块h3受压抵座架h1的固定座h11上方一驱动件h12驱动而可作上下位移；

一拭材组件h4，设有一略呈ㄇ形的固定架h41，并于固定架h41下方设有一下方开口状的镂空第一区间h411，固定架h41上方同时也是镂空第一区间h411上方设有一中空的镂空第二区间h412，第一区间h411与第二区间h412间设有一肋状固定部h413，拭材组件h4以该固定架h41的固定部h413与该压抵座架h1固设并受其连动。

请参阅图7、9，该压抵座架h1于固定座h11前侧设有一z轴向第一轨座h13，该轨座h13上设有z轴向滑轨(图中未示)，并于滑轨上设有一滑座h131，一连动座h14设于该滑座h131上并受驱动件h12所驱动可作z轴向滑移，该连动座h14供该拭材组件h4的固定架h41的固定部h413固设其上，使该拭材组件h4被驱动件h12所驱动可作z轴向滑移及与压抵座架h1连动；该连动座h14下方的滑座h131上设有一x轴向的第二轨座h15，该第二轨座h15可在第一轨座h13上作z轴向上下位移，第二轨座h15上设有x轴向的滑轨h151，其上设有可在滑轨h151上作x轴向位移的滑座h152；滑轨h151下方相隔间距平行设有x轴向轨杆h153，轨杆h152上设有可在轨杆h153上作x轴向滑移的驱动件h154，该第二轨座h15上、下侧各在x轴向相隔间距设有z轴向弹性作用力的弹簧构成的弹性元件h155，该弹性元件h155使整个第二轨座h15在z轴向上、下位移时具有弹性的缓冲；该压抵模块h3以一座架h33底部座设于该驱动件h154上受其驱动可作x轴向位移，座架h33背侧并同时贴靠固设于该滑座h152以获得被驱动时的稳固滑移，故压抵模块h3将借第二轨座h15上、下侧的弹性元件h155在z轴向上、下位移时具有弹性的缓冲。

请参阅图10，该压抵模块h3以座架h33供第一压抵组件h31及第二压抵组件h32分别各以z轴向且平行地相并设置；其中，该第一压抵组件h31包括：

一驱动件h311，以一固定座h3111固设于该座架h33上并受座架h33连动，该驱动件h311驱动其下方一连结座h3112可作z轴向上、下位移，连结座h3112一侧固设一与其连动的侧座h3113；

一调整组件h312，其上端以一第一调整座h3121上表面与该驱动件h311的连结座h3112底部固设，并以第一调整座h3121的侧面与侧座h3113下端前侧固定；

一联结座h313，其上端与该调整组件h312下端的一第二调整座h3122固设，联结座h313中设有一加热孔h3131，联结座h313一侧设有温度开关h3135，可在检测温度高于一预定值时停止加热；联结座h313前侧两斜角面处各分别设有与加热孔h3131相通的测温孔h3132；联结座h313下端凸设有一装卸部h3133，其上设有装卸孔h3134；

一加热件h314，为一长条棒状体并穿置于该联结座h313的加热孔h3131中，其受温度开关h3135所监控；

一压抵座h315，设于调整组件h312下方，并受连结座h3112连动可作z轴向上、下位移，其设有一呈u型的装卸头h3151及位于装卸部h3151下端的移擦头h3152，该装卸头h3151可嵌套定位于该联结座h313下端的装卸部h3133，并以一推把h3153所连动的插销状联接件h3154插入该装卸部h3133的装卸孔h3134而联结；移擦头h3152为一方型体状，其下端具有一方形平面状的移擦部h3155；加热件h314底端与该移擦头h3152接触并将热源传导至移擦头h3152的移擦部h3155；推把h3153一侧设有一磁吸件h3156，可在联接件h3154插入该装卸部h3133的装卸孔h3134时与联结座h313吸附，使推把h3153不易滑脱；

该加热件h314是加热该联结座h313而将热温传导至压抵座h315的移擦头h3152的移擦部h3155，该装卸头h3151及移擦头h3152为铜质材料制成；

该调整组件h312用以微调及连动压抵座h315下方移擦头h3152的移擦部h3155在x轴向、y轴向的两侧水平高度，以符合并对应下方所擦拭的表面；

该第二压抵组件h32构造与第一压抵组件h31相同，仅未设加热件h314及温度开关h3135，兹不赘述其它构件。

请参阅图11，该调整组件h312的第一调整座h3121与第二调整座h3122间设有一第三调整座h3123；其中，该位于上方的第一调整座h3121与位于下方的第三调整座h3123形成一组x轴向水平调整组件，其间的x轴向两侧各以片状固定件h3124固设；该位于上方的第三调整座h3123与位于下方的第二调整座h3122形成一组y轴向水平调整组件，其间的y轴向两侧各以片状固定件h3125固设；

以该位于上方的第一调整座h3121与位于下方的第三调整座h3123形成一组x轴向水平调整组件为例，该位于上方的第一调整座h3121与位于下方的第三调整座h3123间以一组螺接件h316螺设，该组螺接件h316包括：位于上方的第一调整座h3121的x轴向偏设一侧用以由上而下螺设位于上方的第一调整座h3121与位于下方的第三调整座h3123间的一微调螺接件h3161、自两侧固定件h3124外用以分别各将二侧固定件h3124上端与位于上方的第一调整座h3121固定的四固定螺接件h3182、自一侧固定件h3124外用以将固定件h3124下端与位于下方的第三调整座h3123固定的四可调螺接件h3163；

其中，该可调螺接件h3163螺经的固定件h3124下端穿孔h3164孔径较可调螺接件h3163的螺纹部外径略大，使其间留有可移位的余裕，但该位于一侧的该组二可调螺接件h3163采与位于下方的第三调整座h3123常态性螺固，另一组与微调螺接件h3161同侧的二可调螺接件h3163采与位于下方的第三调整座h3123可依须要随机作松放或螺固；

在与微调螺接件h3161同侧的固定件h3124外，设有插经固定件h3124下端与位于下方的第三调整座h3123的二销件h3171；在与微调螺接件h3161同侧的位于上方的第一调整座h3121与位于下方的第三调整座h3123间，设有在y轴向相隔间距的弹簧构成的二弹性元件h3172；

该二销件h3171插设状态为一常态下的标准定位，一旦出现须调整倾斜状态时，由于二固定件h3124在x轴向两侧相隔设置，因此可先拔出该二销件h3171，并松放与微调螺接件h3161同侧该二可调螺接件h3163，由于穿孔h3164孔径与可调螺接件h3163的螺纹部外径间留有可移位的余裕，故与微调螺接件h3161同侧的二弹性元件h3172将在位于上方的第一调整座h3121固定下，遂行一撑张推抵位于下方的第三调整座h3123该与微调螺接件h3161同侧下移的驱力，经由微调该微调螺接件h3161，使该弹性元件h3172撑张推抵的驱力将位于下方的第三调整座h3123与微调螺接件h3161同侧的该侧向下推抵，以获得位于下方的第三调整座h3123x轴向两侧水平高度的调整，调整定位后再将与微调螺接件h3161同侧的该二可调螺接件h3163螺紧锁固；

该位于上方的第三调整座h3123与位于下方的第二调整座h3122所组成的该组y轴向水平调整组件其间的y轴向两侧水平高度的调整与前述x轴向两侧水平高度的调整方法同理，其构件亦相同，惟设置方位以y轴向对称设置，此由图11中可以理解，兹不赘述。

请参阅图8、12，该拭材组件h4的ㄇ形固定架h41下方开口状的凹设镂空的第一区间h411一侧设有一释材区h414，镂空的第一区间h411另一侧设有一卷收区h415，该与释材区h414同侧的下方设有一沾液区h416，与卷收区h412同侧的下方设有一拉引区h417，在沾液区h416与拉引区h417间形成一擦拭区h418；一温度传感器h419以一延伸杆h4191上端的一固定座h4192固设于一滑座h4193上，该滑座h4193设于固定架h41上方中空的镂空第二区间h412底缘的x轴向滑轨h4194上，该温度传感器h419可嵌设于联结座h313(请配合参阅图7、10)前侧两斜角面处与加热孔h3131相通的测温孔h3132中检测加热件h314温度并随第一压抵组件h31同步作x轴向位移；其中，

该释材区h414设有轮轴呈y轴向设置并受固定架h41背侧一驱动件h4141驱动的卷绕拭材的卷轮h4142，卷轮h4142下方设有x轴向相隔间距轮轴呈y轴向设置的第一转向轮h4143、第二转向轮h4144，第一转向轮h4143、第二转向轮h4144间的下方设有一轮轴呈y轴向设置的配重轮h4145，配重轮h4145位于释材区h414中固定架h41上的一z轴向长槽孔h4146处，该配重轮h4145的轮轴伸经该长槽孔h4146而于固定架h41背侧与一配重h4147连动，该配重h4147设于一长槽孔h4146侧并与长槽孔h4146平行的z轴向滑轨h4148上，而可连动该配重轮h4145作z轴向上下位移，其上下位移的行程间距受一组分置上、下位置的感测件h4149所监测及控制；

该卷收区h415设有轮轴呈y轴向设置并受固定架h41背侧一驱动件h4151驱动的卷绕拭材的空卷轮h4152，卷轮h4152下方设有x轴向相隔间距轮轴呈y轴向设置的第三转向轮h4153、第四转向轮h4154，第三转向轮h4153、第四转向轮h4154间的下方设有一轮轴呈y轴向设置的配重轮h4155，配重轮h4155位于卷收区h415中固定架h41上的一z轴向长槽孔h4156处，该配重轮h4155的轮轴伸经该长槽孔h4156而于固定架h41背侧与一配重h4157连动，该配重h4157设于一长槽孔h4156侧并与长槽孔h4156平行的z轴向滑轨h4158上，而可连动该配重轮h4155作z轴向上下位移，其上下位移的行程间距受一组分置上、下位置的感测件h4159所监测及控制；

该沾液区h416设有一清洁液容器h4161，其置设于固定架h41下端固设的置架h42上，并与图1中供液机构f间设有管路(图中未示)联结，可自该供液机构f获得清洁液的供给；清洁液容器h4161中设有一滚轮h4162，该滚轮h4162的轮轴呈y轴向设于清洁液容器h4161，滚轮h4162的圆周一部分沾浸于清洁液容器h4161中，一部分显露于清洁液容器h4161外，其圆周表面并呈等间距环列布设成y轴向嵌沟状；沾液区h416中设有一轮轴呈y轴向设置的近转轮h4163，其近靠该清洁液容器h4161，并于近转轮h4163与清洁液容器h4161的滚轮h4162间上方，设有一由二个为一组并相隔间距设于一摆架h4164的第一活动轮h4165、第二活动轮h4166，该第一活动轮h4165、第二活动轮h4166位于沾液区h416中固定架h41上的一z轴向长槽孔h4167处，设于摆架h4164后侧的轴杆h4168伸经该长槽孔h4167而于固定架h41背侧受一旋转驱动件h4169驱动，使摆架h4164可作旋摆而令第一活动轮h4165可下移抵靠该清洁液容器h4161上滚轮h4162上周缘；

该拉引区h417设有一受固定架h41背侧一驱动件h4171驱动，且其轮轴呈y轴向设置的可旋转拉引轮h4172，该拉引轮h4172的圆周表面呈等间距环列布设成y轴向嵌沟状；拉引轮h4172邻侧设有一轮轴呈y轴向设置的嵌抵轮h4173，其圆周表面同样呈等间距环列布设成y轴向嵌沟状，嵌抵轮h4173设于一以枢轴h4174为支点枢设于固定架h41的摆臂h4175上，摆臂h4174上的嵌抵轮h4173邻侧另设有插枢于固定架h41的枢销h4176，相对枢销h4176的嵌抵轮h4173另一侧摆臂h4174受固定架h41上一弹簧构成的弹性元件h4177(图13)所拉引，在拔起插枢于固定架h41的枢销h4176后，摆臂h4175将受弹性元件h4177拉引而嵌抵该拉引轮h4172圆周；

该擦拭区h418设有由沾液区h416的固定架h41固设并斜向朝下延伸的第一导引臂h4181，以及由拉引区h417的固定架h41固设并斜向朝下延伸的第二导引臂h4182，第一导引臂h4181、第二导引臂h4182下端相靠近而保持一操作间距h4183，并各于末端设有轮轴呈y轴向设置的第一支撑轮h4184、第二支撑轮h4185；第一支撑轮h4184、第二支撑轮h4185底缘共同维持一相同的x轴向水平高度；其中，第二导引臂h4182的上方邻靠该拉引区h417的拉引轮h4172处设有一轮轴呈y轴向设置的导引轮h4186。

请参阅图12、13，在进行残胶的擦拭清洁上，使成卷的带状拭材l自该释材区h414的卷轮h4142依序绕经第一转向轮h4143、配重轮h4145、第二转向轮h4144后；进入该沾液区h416并绕经近转轮h4163、第一活动轮h4165、第二活动轮h4166、滚轮h4162后，再绕经该擦拭区h418的第一支撑轮h4184、第二支撑轮h4185、导引轮h4186，而进入该拉引区h417绕经拉引轮h4172后，进入该卷收区h415而绕经第三转向轮h4153、配重轮h4155、第四转向轮h4154，而被空的卷轮h4152所卷收；其中，拭材l在绕经第二活动轮h4166时，第二活动轮h4166可被驱动压抵绕经该第二活动轮h4166处拭材l抵及清洁液容器h4161上已沾附清洁液的滚轮h4162以沾附清洁液；拭材l在绕经拉引轮h4172时受嵌抵轮h4173夹抵，使拉引轮h4172受驱动件h4171驱动时可以拉动绕经擦拭区h418中的拭材l进行位移，当擦拭区h418中的拭材l被拉引至该释材区h414中的配重轮h4145被迫上移至配重h4147触及上方位置的感测件h4149后，将促使该驱动件h4141驱动卷轮h4142释放拭材l，直到配重h4147触及下方位置的感测件h4149为止；而在卷收区h415处一样，当拭材l被拉引轮h4172拉引至使卷收区h415中拭材l松弛至该配重轮h4155连动的配重h4157触及下方位置的感测件h4159时，驱动件h4151将驱动该空的卷轮h4152卷收拭材l直到配重h4157触及上方位置的感测件h4159为止，借此以调整拭材l在整个流路中被拉引的松紧适度；

该压抵模块h3可选择性地以第一压抵组件h31或第二压抵组件h32进行操作，并分别各以压抵座h315下端移擦头h3152的移擦部h3155压贴该绕跨于该擦拭区h418中第一支撑轮h4184、第二支撑轮h4185间的拭材l上方。

本发明实施例进行晶圆残胶清洁方法是执行以下步骤：

一供料步骤，将待施作工件w载入该取放机构d中受二夹座d1上二嵌夹件d3以呈水平状态夹持；该载入作业可由一机器人(图中未示)自一供收料装置(load/unload)(图中未示)取出及执行；

一取料步骤，使载台g由第二工作区a5以y轴向直线位移流路穿经龙门轨架b位移于第一工作区a4中，并移入取放机构d中二夹座d1间的待施作工件w下方，并自取放机构d上的二嵌夹件d3承接待施作工件w；待施作工件w被载台g承接时，将于载盘g2上受到气孔g53中所通负压吸附而定位于载盘g2上，且受到加热元件g4的加热；

一残胶检查步骤，使载台g沿y轴向直线位移流路回移，并于第一工作区a4中于移出取放机构d时，使待施作工件w受龙门轨架b上检测机构c逐一对其上各管芯w4检视其残胶状况；

一换区步骤，使完成残胶状况的待施作工件w被载台g沿原y轴向直线位移流路穿经龙门轨架b位移回第二工作区a5；

一管芯擦拭步骤，使该擦拭机构h的压抵座架h1连动拭材组件h4，以设有热源的第一压抵组件h31的移擦头h3152的移擦部h3155压贴该拭材l(请参阅图14)，并使拭材l受拉引轮h4172拉引轮h4172，而在移擦头h3152的移擦部h3155底面与管芯w4上表面间移擦，对被检出有残胶的个别管芯w4进行擦拭；由于该移擦头h3152方型体状下端方形平面状的移擦部h3155面积与管芯w4的表面积约略相当，故擦拭范围可涵盖整个管芯；待施作工件w上各被检出有残胶的管芯w4完成擦拭后，再以无热源的第二压抵组件h32的移擦头h3152的移擦部h3155压贴该拭材l对被检出有残胶的管芯w4进行擦拭；在移擦头h3152的移擦部h3155压贴拭材l抵于施作工件w上管芯w4时，移擦头h3152下压的施力受到载台g中荷重量测元件g23的量测，一旦达到设定的荷重值时，移擦头h3152将停止下压以避免损及管芯w4；

一清洁检查步骤，使待施作工件w被载台g沿y轴向直线位移流路往取放机构d方向位移，并于龙门轨架b下方的第二工作区a5受压抵座架h1固定座h11背侧下方的线激光测高器h2所投射线性激光光束h21对原被检出有残胶的管芯w4进行检查(请参阅图15)；当检出尚有清洁未达预期程度的管芯时，待施作工件w被载台g沿y轴向直线位移流路重新执行前述管芯w4擦拭步骤；当所有原被检出有残胶的管芯w4被检查已达合于预期程度时，被认定已清洁完成；

一换件步骤，已清洁完成待施作工件w被载台g沿y轴向直线位移流路经过龙门轨架b下方往第一工作区a4中取放机构d方向位移，并移入取放机构d中二夹座d1间，使取放机构d上的二嵌夹件d3承接待施作工件w以供机器人取走卸离并转存放入该供收料装置，并执行下一循环的载入待施作工件w。

本发明实施例晶圆残胶清洁方法及装置，由于采管芯w4逐一擦胶清洁方式进行，故可针对被检出有残胶的管芯w4单独清洁，除可达较佳清洁效果外，对于整片晶圆上残胶的清洁可以有效率的执行；且在待施作工件w已被载台g上加热元件g4加热而使残胶受温热执行一由下对整片待施作工件w第一次热解程序的情况下，擦拭机构h由具有热源的第一压抵组件h31再执行一由上对下针对单独管芯w4的第二次热解程序，被进行擦胶的该管芯w4上残胶已融成液态稀释状，再经无热源的第二压抵组件h32擦拭下，可以使残胶清洁更容易进行，且配合线激光测高器h2所投射线性激光光束h21对擦胶效果进行检查，可以更无遗漏的完成各管芯清洁；而擦拭机构h的拭材组件h4借由释材区h414中卷轮h4142释放拭材l到卷收区h415中空的卷轮h4152卷收拭材，其间使拭材l可以无间断地自清洁液容器h4161上滚轮h4162沾附清洁液，并经配重轮配重轮h4145、h4155调整拭材l在整个流路中被拉引的松紧适度，使擦胶清洁的作业可以循环不间断的自动化进行，使清洁效能大幅提高；同时压抵模块h3借第二轨座h15上、下侧的弹性元件h155在z轴向上、下位移时具有弹性的缓冲，使压抵模块h3上的第一压抵组件h31或第二压抵组件h32压抵拭材抵于管芯表面时，除受载台g上荷重量测元件g23的量测而监控下压力道外，下压的压力本身就具有缓冲，可以降低待施作工件w上管芯w4受损。

惟以上所述者，仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，即大凡依本发明申请专利范围及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。

【符号说明】

a机台a1机台台面

a2台座a21上表面

a3移载区间a4第一工作区

a5第二工作区b龙门轨架

b1立柱b2横梁

b3第一驱动件b4滑轨

b5滑轨b6滑座

b7第二驱动件c检测机构

d取放机构d1夹座

d2卡掣部d3嵌夹件

d4枢轴d5固定座

d6驱动件e轨座

e1轨座驱动件f供液机构

g载台g1固定座

g2载盘g21上表面

g22支撑架g23荷重量测元件

g24定位件g3固定架

g31座面g311侧边

g32架脚g33定位区间

g4加热元件g41加热棒

g5定位盘g51凹沟

g52凹沟g53气孔

h擦拭机构h1压抵座架

h11固定座h12驱动件

h13第一轨座h131滑座

h14连动座h15第二轨座

h151滑轨h152滑座

h153轨杆h154驱动件

h155弹性元件h2激光测高器

h21线激光光束h3压抵模块

h31第一压抵组件h311驱动件

h3111固定座h3112连结座

h3113侧座h312调整组件

h3121第一调整座h3122第二调整座

h3123第三调整座h3124固定件

h3125固定件h313联结座

h3131加热孔h3132测温孔

h3133装卸部h3134装卸孔

h3135温度开关h314加热件

h315压抵座h3151装卸头

h3152移擦头h3153推把

h3154联接件h3155移擦部

h3156磁吸件h316螺接件

h3161微调螺接件h3162固定螺接件

h3163可调螺接件h3164穿孔

h3171销件h3172弹性元件

h32第二压抵组件h33座架

h4拭材组件h41固定架

h411第一区间h412第二区间

h413固定部h414释材区

h4141驱动件h4142卷轮

h4143第一转向轮h4144第二转向轮

h4145配重轮h4146长槽孔

h4147配重h4148滑轨

h4149感测件h415卷收区

h4151驱动件h4152卷轮

h4153第一转向轮h4154第二转向轮

h4155配重轮h4156长槽孔

h4157配重h4158滑轨

h4159感测件h416沾液区

h4161清洁液容器h4162滚轮

h4163近转轮h4164摆架

h4165第一活动轮h4166第二活动轮

h4167长槽孔h4168轴杆

h4169旋转驱动件h417拉引区

h4171驱动件h4172拉引轮

h4173嵌抵轮h4174枢轴

h4175摆臂h4176枢销

h4177弹性元件h418擦拭区

h4181第一导引臂h4182第二导引臂

h4183操作间距h4184第一支撑轮

h4185第二支撑轮h4186导引轮

h419温度杆测器h4191延伸杆

h4192固定座h4193滑座

h4194滑轨w待施作工件

w1钢框w2胶膜

w3晶圆w4管芯