技术编号：12968460
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。发明领域本发明总体上涉及半导体器件，并且特别是涉及晶体管器件。发明背景现代电子系统通常需要电学和光学活性材料的多个图案化的层，有时在相对大的基底上方。电子设备，例如射频识别(RFID)标签、光伏设备，以及光学和化学传感器，要求在其电子电路中的某种程度的图案化。平板显示器，例如液晶显示器或电致发光显示器，依靠准确图案化的顺序层来形成背板的薄膜组件。这些电子组件包括电容器、晶体管和电源总线。光刻图案化方法和选择性蚀刻工艺的常见组合具有若干缺点，包括高成本、用大基底的困难和选择性蚀刻工艺的复杂性。使用...
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