技术编号:13100685
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体为一种改进的单晶炉。背景技术单晶炉是一种在惰性气体环境中将多晶硅等多晶材料融化,用直拉法生长成为无错位单晶的设备,传统的单晶炉在使用时由于多晶硅受热融化后体积会减少,因此可以继续添加材料,从而提高单次生产产量,但采用直接开炉添加会破坏原有的惰性气体环境,因此造成了单次产能的低效性,而且单晶炉在生成单晶硅的时候如果受到外部扰动,容易使晶体生产产生错位,如果发明一种能够方便的二次添加材料,并且能够有效减免外部振动的改进型单晶炉就能够解决此类问题,为此我们提供了一种改...
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