一种改进的单晶炉的制作方法

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种改进的单晶炉。

背景技术：

单晶炉是一种在惰性气体环境中将多晶硅等多晶材料融化，用直拉法生长成为无错位单晶的设备，传统的单晶炉在使用时由于多晶硅受热融化后体积会减少，因此可以继续添加材料，从而提高单次生产产量，但采用直接开炉添加会破坏原有的惰性气体环境，因此造成了单次产能的低效性，而且单晶炉在生成单晶硅的时候如果受到外部扰动，容易使晶体生产产生错位，如果发明一种能够方便的二次添加材料，并且能够有效减免外部振动的改进型单晶炉就能够解决此类问题，为此我们提供了一种改进的单晶炉。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种改进的单晶炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种改进的单晶炉，包括壳体，所述壳体的下端安装有上支撑座，且上支撑座的下端设置有下支撑座，所述上支承座和下支撑座之间采用减震体进行固定，且下支撑座的下端设置有减震座，所述壳体的上端设置有副炉室，且副炉室的下端设置有控制阀，所述副炉室的上部设置有提拉装置，且壳体的下端设置有旋转电机，所述旋转电机的上端驱动有旋转座，且旋转座的上端设置有坩埚，所述坩埚的外侧设置有加热装置，且加热装置的上端设置有导流环，所述导流环的上端设置有温度过渡环，且加热装置的外侧设置有冷却装置，所述壳体的左侧设置有进气口，且壳体的右侧设置有出气口，所述壳体的上端设置有观察窗安装座，且观察窗安装座的上端设置有观察窗，所述壳体的右侧设置有备料管，且备料管的下端设置有限位阀，所述备料管的外端通过法兰安装有推动装置安装座，且推动装置安装座内设置有推动装置，所述备料管在位于壳体内部的管段处设置有孔径小于多晶硅粒度大小的通气孔。

优选的，所述减震体为阻尼弹簧减震器，且减震座为多层交错叠加的橡胶垫。

优选的，所述壳体由上至下依次由上壳体、中壳体和下壳体组成，所述观察窗由内层玻璃和内层玻璃叠放构成，且外层玻璃和内层玻璃之间设置有连接外部冷却装置的冷却液循环腔。

优选的，所述提拉装置为气动杆或者液压杆，且推动装置为滚珠丝杆式电动推杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型设计的单晶炉通过在单晶炉的壳体上设置一个备用的加料装置进行二次加料，由于二次加料时不需要重新打开单晶炉，因此不需要担心气密性问题，而且壳体的底部采用减震体和减震座构成的二次减震机构，也能够有效的减少工作过程中外部振动对单晶硅生成过程的影响，从而更好的保障产品质量，该装置的观察窗采用独立的冷却构造，从而有效的避免通过观察窗观察时烫伤观察人员，因此具有很高的实用价值。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构的剖视图。

图中：1壳体、101上壳体、102中壳体、103下壳体、2进气口、3观察窗、301内层玻璃、302冷却液循环腔、303外层玻璃、4推动装置安装座、5出气口、6上支撑座、7下支撑座、8减震体、9旋转电机、10减震座、11提拉装置、12推动装置、13备料管、14通气孔、15限位阀、16冷却装置、17旋转座、18观察窗安装座、19坩埚、20加热装置、21导流环、22温度过渡环、23控制阀、24副炉室。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的技术方案，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种改进的单晶炉，包括壳体1，壳体1的下端安装有上支撑座6，且上支撑座6的下端设置有下支撑座7，上支承座6和下支撑座7之间采用减震体8进行固定，且下支撑座7的下端设置有减震座10，壳体1的上端设置有副炉室24，且副炉室24的下端设置有控制阀23，副炉室24的上部设置有提拉装置11，且壳体1的下端设置有旋转电机9，旋转电机9的上端驱动有旋转座17，且旋转座17的上端设置有坩埚19。

坩埚19的外侧设置有加热装置20，且加热装置20的上端设置有导流环21，导流环21的上端设置有温度过渡环22，且加热装置20的外侧设置有冷却装置16，壳体1的左侧设置有进气口2，且壳体1的右侧设置有出气口5，壳体1的上端设置有观察窗安装座18，且观察窗安装座18的上端设置有观察窗3，壳体1的右侧设置有备料管13，且备料管13的下端设置有限位阀15，备料管13的外端通过法兰安装有推动装置安装座4，且推动装置安装座4内设置有推动装置12，备料管13在位于壳体1内部的管段处设置有孔径小于多晶硅粒度大小的通气孔14。

减震体8为阻尼弹簧减震器，且减震座10为多层交错叠加的橡胶垫，壳体1由上至下依次由上壳体101、中壳体102和下壳体103组成，观察窗3由内层玻璃301和内层玻璃303叠放构成，且外层玻璃303和内层玻璃301之间设置有连接外部冷却装置的冷却液循环腔302，提拉装置11为气动杆或者液压杆，且推动装置12为滚珠丝杆式电动推杆。

该装置通过在单晶炉的壳体1上设置一个备用的加料装置，使得坩埚19中的多晶硅融化后，还能够通过备料管13进行二次加料，该过程中多晶硅是预置在备料管13内的，二次加料时不需要重新打开单晶炉，因此不需要担心气密性问题，而且壳体1的底部采用减震体8和减震座10构成的二次减震机构，也能够有效的减少工作过程中外部振动对单晶硅生成过程的影响，从而更好的保障产品质量，而且该装置的观察窗3采用独立的冷却构造，从而有效的避免通过观察窗观察时烫伤观察人员，因此具有很高的实用价值。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。