技术编号：13136079
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示技术领域，具体地，涉及一种光罩组件以及曝光装置。背景技术近年来，半色调掩膜版(HalfToneMask)在薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay，简称TFT-LCD)技术中得到了越来越广泛的应用，例如，半色调掩膜版在彩色滤光片的基板制作中就备受青睐。半色调掩膜版包括透明衬底、形成在透明衬底上能够完全透光的光透射部分、能够完全阻挡光的光阻挡部分以及具有能够部分透光的半色调层的半透过部分。图1为现有技术所提供的LCD的剖...
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