技术编号：13143976
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及例如可用于触摸面板等的电子部件用层叠布线膜、以及用于形成覆盖该电子部件用层叠布线膜的导电层的覆盖层的溅射靶材。背景技术近年来，作为新型便携型末端的智能手机、平板电脑等实现了产品化，其是在于玻璃基板上形成薄膜装置的液晶显示器(LiquidCrystalDisplay：以下称为“LCD”)、利用于有机EL显示器、电子纸等的电泳型显示器等平面显示装置(平板显示器，FlatPanelDisplay：以下称为“FPD”)上组合能够一边观看其画面一边赋予直接的操作性的触摸面板而得到的。在作...
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