技术编号：13163497
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光阻涂布领域，特别是涉及一种光阻喷嘴维护装置及光阻涂布装置。背景技术液晶显示装置阵列基板的黄光制程就是将光罩的图形转移到基板上，在这个过程中需要涂布光阻，为了使光阻涂布到基板上一致性和均匀性较好，现有技术对喷涂光阻的喷嘴每工作一定时间就要对其进行维护(maintenance)，具体维护包括三个步骤：请参见图1和图2，在第一步骤中，喷嘴130对滚筒110喷涂光阻，同时刮刀120刮除滚筒110外表面的光阻，以使喷嘴130形成平坦的端面，维护后喷嘴130在后续工作过程中提供一致性和均匀性较好...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。