光阻喷嘴维护装置及光阻涂布装置的制作方法

本发明涉及光阻涂布领域，特别是涉及一种光阻喷嘴维护装置及光阻涂布装置。

背景技术：

液晶显示装置阵列基板的黄光制程就是将光罩的图形转移到基板上，在这个过程中需要涂布光阻，为了使光阻涂布到基板上一致性和均匀性较好，现有技术对喷涂光阻的喷嘴每工作一定时间就要对其进行维护(maintenance)，具体维护包括三个步骤：请参见图1和图2，在第一步骤中，喷嘴130对滚筒110喷涂光阻，同时刮刀120刮除滚筒110外表面的光阻，以使喷嘴130形成平坦的端面，维护后喷嘴130在后续工作过程中提供一致性和均匀性较好的光阻；在第二步骤中，使用清洗液对喷嘴130进行清洗以清除掉喷嘴130上多余的光阻，其后对喷嘴130进行烘干处理；在第三步骤中，将喷嘴130放到湿润的环境中以保持喷嘴130湿润。经过维护后，喷嘴130进行喷涂光阻工作。

然而，在上述维护过程中，由于滚筒110(roller)与刮刀120(blade)是线接触，具体在垂直滚筒110中心轴的截面上刮刀120与所述滚筒110是点接触(请参见图2)，导致刮刀120对滚筒110上光阻的刮除不干净，如果滚筒110上残留有光阻，滚筒110转动过程中，影响喷嘴130的端面凹凸不平，最终导致喷嘴130喷涂光阻到基板上的过程中前期喷涂的光阻一致性和均匀性较差，有些区域可能还存在没有光阻的情况，特别是当光阻(此时为pln型光阻)粘性较大时，例如涂布到阵列基板的平坦层上的光阻，情况更加严重，基板上前期喷涂的光阻一致性和均匀性较差，也即出现了所谓的startmura。

技术实现要素：

本发明实施例所要解决的技术问题在于，提供一种光阻喷嘴维护装置及光阻涂布装置。可改善光阻前期喷涂均匀性和一致性较差的问题。

为了解决上述技术问题，本发明第一方面实施例提供了一种光阻喷嘴维护装置，包括：

滚筒，其可作旋转运动，所述滚筒用于对喷嘴进行维护；

刮刀，其贴住所述滚筒的外表面设置；其中，所述刮刀与所述滚筒的外表面为面接触，所述滚筒转动时所述刮刀对滚筒表面的光阻进行清除。

在本发明第一方面一实施例中，在垂直滚筒中心轴的截面上，所述刮刀贴住所述滚筒外表面的轮廓线为圆弧，所述轮廓线与对应所述滚筒外表面相匹配。

在本发明第一方面一实施例中，所述轮廓线的弧长范围为70mm～290mm。

在本发明第一方面一实施例中，所述轮廓线两端的连线与所述刮刀底面的夹角范围为30°～60°。

在本发明第一方面一实施例中，在垂直滚筒中心轴的截面上所述滚筒与一个刮刀接触的弧长对应的中心角范围为5°-10°。

在本发明第一方面一实施例中，所述刮刀与滚筒接触的部分为柔性。

在本发明第一方面一实施例中，所述刮刀的数目至少为两个，当所述刮刀的数目为两个时两个所述刮刀位于所述滚筒的相对两侧。

在本发明第一方面一实施例中，所述刮刀远离滚筒的一端设有调节座，所述刮刀安装在所述调节座上，所述调节座远离刮刀的一侧连接弹性装置，所述弹性装置迫使所述刮刀紧贴所述滚筒。

在本发明第一方面一实施例中，还包括光阻收集容器，其位于滚筒和刮刀的下方，其用于收集刮刀从滚筒上刮下来的光阻。

本发明第二方面实施例提供了一种光阻涂布装置，包括喷嘴和上述的光阻喷嘴维护装置。

实施本发明实施例，具有如下有益效果：

由于光阻喷嘴维护装置包括刮刀，所述刮刀贴住所述滚筒的外表面设置；其中，所述刮刀与所述滚筒的外表面为面接触，所述滚筒转动时所述刮刀对滚筒表面的光阻进行清除。从而，滚筒在转动一周过程中所述刮刀对滚筒上同一点的光阻可以进行连续多次清理，极大的刮除了滚筒外表面的光阻，从而喷嘴经过维护后，喷嘴的端面比较平坦，喷嘴在后续涂布光阻的过程中不会出现前期喷涂的光阻一致性和均匀性较差的问题，改善了startmura的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术光阻喷嘴维护装置的示意图(将喷嘴示意出来)；

图2是图1的光阻喷嘴维护装置的截面图(截面垂直滚筒的中心轴)；

图3是本发明一实施例光阻喷嘴维护装置的截面图(截面垂直滚筒的中心轴，且将喷嘴示意出来)；

图4是图3中刮刀的放大图；

图示标号：

110、210-滚筒；120、220-刮刀；130、230-喷嘴；221-刮刀与滚筒紧贴的轮廓线；240-调节座；241-弹性装置；250-光阻收集容器；α-轮廓线两端的连线与底面的夹角；β-刮刀底面与水平面的夹角；δ-滚筒与刮刀接触的弧长对应的中心角。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本申请说明书、权利要求书和附图中出现的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。此外，术语“第一”、“第二”和“第三”等是用于区别不同的对象，而并非用于描述特定的顺序。

本发明实施例提供一种光阻喷嘴维护装置，其用于维护工作一段时间后的喷嘴，所述一段时间例如为45分钟，喷嘴进行维护的目的是使喷嘴喷出的光阻一致性和均匀性较好。请参见图3和图4，所述光阻喷嘴维护装置包括滚筒210和刮刀220。

请继续参见图3和图4，在本实施例中，所述滚筒210呈圆柱体，所述滚筒210可作旋转运动。具体说来，所述滚筒210的中心有中心轴，所述滚筒210通过中心轴连接到驱动装置，所述驱动装置驱动滚筒210转动。所述滚筒210用于对喷嘴230进行维护。具体说来，喷嘴230位于所述滚筒210的上方，所述喷嘴230与滚筒210之间具有一定的间隙，所述间隙例如为100nm(纳米)、90nm、110nm等。对喷嘴230进行维护时，具体为维护的第一步骤时，所述喷嘴230向滚筒210喷光阻，同时所述滚筒210同中心轴一起做旋转运动，所述喷嘴230持续向滚筒210喷光阻，从而有利于使喷嘴230形成平坦的端面，有利于后续制程中喷嘴230提供一致性和均匀性较好的光阻。

在本实施例中，所述刮刀220的数目为一个，所述刮刀220贴住所述滚筒210的外表面设置，在本实施例中，所述刮刀220的左端贴住所述滚筒210的外表面设置。从而，当滚筒210上有光阻时，所述刮刀220可以将滚筒210外表面上的光阻刮下来。

为了将滚筒210外表面的光阻刮除干净，防止存在光阻残留，在本实施例中，所述刮刀220与所述滚筒210的外表面为面接触，也即刮刀220与滚筒210的接触处为面与面的接触，不是点与面的接触，也不是线与面的接触，当所述滚筒210转动时所述刮刀220对所述滚筒210外表面的光阻进行清除。在本实施例中，由于所述滚筒210是圆柱体，从而滚筒210的外表面是弧形的曲面，从而所述面接触为曲面与曲面的接触。在本实施例中，由于所述刮刀220与所述滚筒210的外表面为面接触，相对现有技术的线接触，滚筒210在转动一周过程中所述刮刀220对滚筒210上同一点的光阻可以进行连续多次清理，相对现有技术滚筒210在一个转动周期中只能清理一次，极大的刮除了滚筒210外表面的光阻，从而滚筒210尚不容易出现光阻残留，喷嘴230经过维护后，其端面比较平坦，喷嘴230在后续涂布光阻的过程中不会出现前期喷涂的光阻一致性和均匀性较差的问题，改善了现有技术startmura的问题。

在本实施例中，在垂直滚筒210中心轴的截面上所述刮刀220贴住所述滚筒210外表面的轮廓线221为圆弧，在此处，垂直滚筒210中心轴的截面是指与圆柱体滚筒210底面或者顶面平行的截面，所述轮廓线221与对应的滚筒210外表面相匹配，从而所述刮刀220能比较好的贴住滚筒210的外表面，且刮除滚筒210外表面的光阻效果比较好。在本实施例中，垂直滚筒210中心轴的截面有很多个且彼此互相平行，刮刀220贴住所述滚筒210的外表面的轮廓线221在各个截面上的形状相同。在本实施例中，所述刮刀220与所述滚筒210接触的曲面在水平面的投影为方形，例如为长方形。

在本实施例中，所述轮廓线221的弧长范围为70mm～290mm，例如为70mm、80mm、90mm、100mm、120mm、140mm、160mm、180mm、200mm、210mm、230mm、250mm、270mm、290mm等尺寸，也即所述圆弧的弧长范围为70mm-290mm。在本实施例中，当所述轮廓线221的弧长小于70mm时，此时刮刀220对滚筒210上的光阻清理效果不太理想；当所述轮廓线221的弧长大于290mm时，此时所述刮刀220与所述滚筒210外表面接触比较长，虽然可以将滚筒210外表面的光阻清除比较干净，但是所述刮刀220制造比较复杂，成本较高。在本实施例中，所述轮廓线221的弧长较佳范围为140mm～200mm。

在本实施例中，在垂直滚筒210中心轴的界面上所述滚筒210与一个刮刀220接触的弧长对应的中心角δ范围为5°-10°，例如为5°、6°、7°、8°、9°、10°等。此时所述滚动的该弧长对应所述圆弧，一般说来，由于两者是紧贴且相匹配，两者长度相等，形状相同。

在本实施例中，所述轮廓线221两端的连线与所述刮刀220底面的夹角α范围为30°～60°，例如为30°、35°、40°、45°、50°、55°、60°等角度。在本实施例中，所述底面与水平面的夹角β范围为30°～60°，例如为30°、35°、40°、45°、50°、55°、60°等角度。

在本实施例中，所述刮刀220与滚筒210接触的部分为柔性，在本实施例中，所述刮刀220整体是柔性的。从而，所述刮刀220与滚筒210为柔性接触，从而刮刀220在刮除滚筒210上的光阻过程中不会损坏滚筒210。在本实施例中，所述刮刀220由特质橡胶材料制成。

进一步的，在本实施例中，所述刮刀220远离滚筒210的一端设有调节座240，所述刮刀220安装在所述调节座上，所述调节座240远离所述刮刀220的一侧连接弹性装置241，所述弹性装置241例如为弹簧或者弹片等，所述弹性装置241可以通过调节座240迫使所述刮刀220紧贴所述滚筒210，也即刮刀220会施加作用力给滚筒210，从而有利于刮刀220进一步清洁干净滚筒210上的光阻。

当刮刀220将滚筒210上的光阻刮下来后，为了对刮下来的光阻进行回收或者再利用，在本实施例中，所述光阻喷嘴维护装置还包括光阻收集容器250，其位于滚筒210和刮刀220的下方，所述光阻收集容器250用于收集刮刀220从滚筒210上刮下来的光阻，从而可以将刮下来的光阻集中收集到光阻收集容器250中，便于后续的回收或者再利用。

在本发明的其他实施例中，为了进一步提升刮刀刮除滚筒上光阻的效果，所述刮刀的数目至少为两个，例如为两个、三个、四个、五个等数目。当所述刮刀的数目为两个时，所述刮刀位于滚筒的相对两侧，较佳的，两个所述刮刀相对所述滚筒的中心轴对称设置。

本发明实施例还提供一种光阻涂布装置，所述光阻涂布装置包括喷嘴和上述的光阻喷嘴维护装置，所述喷嘴位于所述光阻喷嘴维护装置的上方。

需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

通过上述实施例的描述，本发明具有以下优点：

由于光阻喷嘴维护装置包括刮刀，所述刮刀贴住所述滚筒的外表面设置；其中，所述刮刀与所述滚筒的外表面为面接触，所述滚筒转动时所述刮刀对滚筒表面的光阻进行清除。从而，滚筒在转动一周过程中所述刮刀对滚筒上同一点的光阻可以进行连续多次清理，极大的刮除了滚筒外表面的光阻，从而喷嘴经过维护后，喷嘴的端面比较平坦，喷嘴在后续涂布光阻的过程中不会出现前期喷涂的光阻一致性和均匀性较差的问题，改善了startmura的问题。

以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。