光阻喷嘴维护装置及光阻涂布装置的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明实施例公开了一种光阻喷嘴维护装置，包括：滚筒，其可作旋转运动，所述滚筒用于对喷嘴进行维护；刮刀，其贴住所述滚筒的外表面设置；其中，所述刮刀与所述滚筒的外表面为面接触，所述滚筒转动时所述刮刀对滚筒表面的光阻进行清除。本发明实施例还公开了一种光阻涂布装置。采用本发明，具有改善光阻前期喷涂均匀性和一致性较差的优点。

技术研发人员：吴双
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.09.22
技术公布日：2017.12.12