专利名称：光阻收集座的内衬结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光阻收集座的内衬结构，特别是指一种用于光阻涂布 机的光阻收集座的内衬结构。
背景技术：
目前应用在圆片上的光阻涂布是以旋转式的光阻涂布机(coater)来进行，藉 由将适量黏着性极高的液态光阻滴于圆片顶面中央处，并使该圆片高速转动， 利用圆片转动产生的离心力使光阻快速向外扩张，而达到均匀附着的状态，并 将多余的光阻甩出圆片表面，再经由设置于涂布机的光阻收集座排出光阻。同 时，多余的光阻容易四处飞散，需再藉由强力抽风来带引排除。
该涂布机具有一吸盘可将圆片置于其上，并抽真空将圆片吸住，该吸盘底 端连接-转动轴，可带动圆片高速旋转。该光阻收集座具有一内衬，其设置于 该吸盘下方。
现有光阻收集座的内衬10a如图l所示，其具有一圆形的底盘lla，该底盘 Ua中央处凸设有一隆起部12a，形成一阶梯状的设计，该涂布机的转动轴(图 略)贯穿该底盘lla与隆起部12a而伸出该内衬10a上方，并连接于吸盘100a， 使吸盘100a设置于该内衬10a上方，且与该内衬10a相隔-一段距离，该吸盘100a 可吸住一圆片(图略)，并带动其旋转。
在吸盘的转速较低时，由圆片所甩出去的多余光阻是呈水滴状，但是在转 速较高吋，光阻会呈细丝状如棉花糖一般，且吸盘在高速旋转时，吸盘下方会 产生微弱的真空状态并形成负压，此时较轻的光阻细丝在甩出断裂后会自行产 生一回复力，加上吸盘下方的负压影响，光阻细丝就很容易附着于圆片底面。
现有的内衬结构具有下列的缺点
1、 内衬与吸盘顶面之间隔距离过大，光阻细丝容易回喷于圆片底面，即
使在内衬与吸盘之间增加一铁环也无法阻挡光阻细丝回喷。
2、 内衬的阶梯过大，光阻细丝在抽风引起的气流飘动下，更容易让光阻
细丝残留于圆片底面。
因此，本设计人有感上述问题之可改善，乃潜心研究并配合学理的运用， 而提出一种设计合理且有效改善上述问题的本实用新型。
发明内容
本实用新型的主要目的，在于提供一种光阻收集座的内衬结构，可使高速 转动的圆片在进行光阻的涂布时，不会残留光阻细丝于圆片底面。
本实用新型的次要目的，在于提供一种光阻收集座的内衬结构，其可调整 内衬的高度与水平，以适用于不同的产品或规格上的变异。
为了达成上述目的，本实用新型提供一种光阻收集座的内衬结构，包括 --本体，其周缘为由下向上渐縮的圆弧面； 一容置槽，其由该本体顶端向下凹 设形成，该容置槽上端呈开口状；以及--穿孔，其位于该本体中央处，该穿孔 贯穿至该容置槽底面与该本体底端。
本实用新型具有以下有益效果本实用新型可使吸盘顶面与内衬上缘之间 的距离縮短，令光阻细丝难以残留于圆片底面，并加装有调整螺丝可调整内衬 的高度与水平，而能适用于不同的产品。
为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实 用新型的详细说明与附图，然而所示附图仅提供参考与说明用，并非用来对本 实用新型加以限制。
图1为现有技术的内衬与吸盘配合使用时的示意图2为本实用新型的立体分解图3为本实用新型的剖视图4为本实用新型另一角度的立体分解图5为本实用新型内衬、转动轴、吸盘及圆片配合使用时的剖视图。 其中，附图标记为 10a 内衬 lla底盘 12a隆起部
100a吸盘
10本体
11螺孔
12螺孔
13圆弧面
14圆弧面
20容置槽
30对接柱
31剖沟
40穿孔
50提把
51螺纹
60调整螺丝
100吸盘
200转动轴
300圆片
具体实施方式
请参阅图2至图4所示，本实用新型光阻收集座的内衬结构包括 一本体IO、 一容置槽20、 一对接柱30、 一穿孔40及二提把50。
该本体10略呈一圆盘状，该本体10周缘为由下向上渐縮的圆弧面13。该本 体10于该圆弧面13向下凹设有二螺孔11，该二螺孔11对称的设置在本体10两 侧，用以与该二提把50结合。该本体10底部并向内凹陷形成另一圆弧面14。
该容置槽20呈圆形，该容置槽20由该本体10顶端向下凹设形成，该容置槽 20位于该本体10内部，且其上端形成一开口状。
该对接柱30呈一短柱状，且由该本体10底部的圆弧面14的中央处向下凸设 形成，该对接柱30底面近周缘处环状的凹设有一剖沟31，该剖沟31由该对接柱 30底面向上延伸适当的深度。
该穿孔40呈圆形，且位于该本体10内部中央处，该穿孔40贯穿至该容置槽 20底面与该对接柱30底面，以供一光阻涂布机的转动轴200插置(请参阅图5)。该二提把50底端皆具有螺纹51，该二提把50以螺纹51螺锁于该本体10的二 螺孔ll，进而使该二提把50凸出的装设于该本体10顶端，以方便使用者拿取使用。
请再参阅图4所示，本实用新型可进一步在该本体10底部装设有三调整螺 丝60,形成一可调整式的设计。该本体10底部凹设有三个呈间隔设置的螺孔12， 该三螺孔12与该三调整螺丝60相对应，该三调整螺丝60尾部锁固于该三螺孔 12，该三调整螺丝60头部伸出该本体10底端外，且可与该光阻收集座(图略) 内面相抵接，可藉由调整该三调整螺丝60凸出该本体10底端的距离，对该本体 IO进行高度与水平的调整。
请参阅图5所示，本实用新型内衬结构设置于该光阻收集座(图略)内， 且可与一光阻涂布机(图略)的转动轴200及一设置于该转动轴200顶端的吸盘 IOO互相配合。该对接柱30的剖沟31可套设于该光阻收集座内面预设的环形凸 肋(图略)，使得该本体10能安装于该光阻收集座内。
该本体10设置于该吸盘100下方，由于该容置槽20内径较该吸盘100(图略) 为大，让该吸盘100能收容于该容置槽20内，该吸盘100顶面并略凸出于该本体 IO上缘，以使该吸盘100顶面与该本体10上缘较为接近。该吸盘100顶面放置有 一圆片300，并以抽真空的方式，将该圆片300吸附固定于其顶面，使圆片300 可与吸盘100同步转动。该转动轴200由该本体10底端通过该穿孔40伸入该容置 槽20内，且连接于该吸盘100底端，该转动轴200可带动该吸盘100旋转，以进 行光阻的涂布工作。
在涂布光阻的过程中，圆片300上的多余光阻在被甩出后，会沿着该光阻 收集座的内壁流向其底部，同时可由其底部的抽风孔(图略)进行抽风带引， 使光阻由该光阻收集座的排出孔(图略)排出。
而，本实用新型将该本体10的表面结构由阶梯状改为圆弧状，且将本体IO 的整体外径縮小，并将本体10的厚度加高(增加习知的铁环高度)，使得光阻 细丝在抽风气流的引导下，容易附着于本体10的圆弧面13上，并设置可收容该 吸盘100的容置槽20，使得该吸盘100可以沈入该本体10的容置槽20内，让该吸 盘100顶面与该本体10上缘之间的距离縮短，即使在圆片300以高速进行转动 时，光阻细丝也不易进入该吸盘100与本体10之间，令光阻细丝难以附着残留 于圆片300底面。
另外，在本实用新型的本体10底部加装有三颗调整螺丝60，可调整本实用 新型内衬结构的高度与水平，使该吸盘100表面与本体10上缘的间隙可因产品 或其它规格上的变异而进行调整，其适用性较高。
虽然本实用新型己以上述较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实 用新型，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人 员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形 都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
权利要求1、一种光阻收集座的内衬结构，其特征在于，该光阻收集座的内衬结构包括一本体，其周缘为由下向上渐缩的圆弧面；一容置槽，其由该本体顶端向下凹设形成，该容置槽上端呈开口状；以及一穿孔，其位于该本体中央处，该穿孔贯穿至该容置槽底面与该本体底端。
2、 根据权利要求l所述的光阻收集座的内衬结构，其特征在于，该本体顶 端装设有二提把。
3、 根据权利要求l所述的光阻收集座的内衬结构，其特征在于，该本体底 部向内凹陷形成另-一圆弧面，并装设有至少二调整螺丝。
4、 根据权利要求l所述的光阻收集座的内衬结构，其特征在于，该本体底 部中央处向下凸设一对接柱，该穿孔贯穿至该对接柱底面，该对接柱底面并凹设有一剖沟。
5、 根据权利要求l所述的光阻收集座的内衬结构，其特征在于，该容置槽 收容有一吸盘，该吸盘顶面凸出于该本体上缘，该吸盘设置于一转动轴，该转 动轴通过该穿孔而连接于该吸盘底端。
专利摘要本实用新型公开了一种光阻收集座的内衬结构，包括一本体、一容置槽及一穿孔，该本体周缘为圆弧面，该本体顶端向下凹设形成该容置槽，该容置槽上端呈开口状，该本体中央处设置有该穿孔，该穿孔贯穿至该容置槽底面与该本体底端；藉由上述组成，可与光阻涂布机的吸盘配合，让圆片在高速转动下进行光阻的涂布时，光阻细丝不会残留于圆片底面。
文档编号H01L21/00GK201000533SQ20062013937
公开日2008年1月2日 申请日期2006年12月26日 优先权日2006年12月26日
发明者李训敏, 洪承祥, 连志明 申请人:敦南科技股份有限公司