技术编号：13175695
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种基于表面等离激元效应的微纳结构光电传感元件，特别是涉及相对湿度传感的维纳米尺度器件及其制备方法。背景技术传感器件的小型化一直是人们努力追求的目标，光电传感器件尺寸降低到纳米尺度是目前研究人员正在努力的方向。表面等离激元是存在于金属和介质界面的一种特殊的电磁波模式，它是表面电荷密度波和及其激发的电磁波的耦合，是一种横波。利用表面等离激元可以将光子局域在亚波长尺寸。金属与介质界面处在外电场的作用下能够形成表面电荷密度周期分布，表面电荷密度波与电磁波相互耦合，形成表面等离激元。表...
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