技术编号:13287065
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体生产设备领域,特别是一种半导体生产线路板上板防尘装置。背景技术防尘防静电是电子产品制造过程中所必须要遵循的基本原则。保持线路板的洁净对产品的性能至关重要。我们通常选择穿着防尘防静电服装,给线路板喷涂三防漆,贯彻执行5S(整理,整顿,清扫,清洁,素养)等方法致力于打造无尘的生产环境,从而保持线路板的清洁。但细微的灰尘往往混杂在空气中,因静电引力发生聚合,集聚在半导体设备的上表面。在现有半导体生产的上板设备中,如图2的传统上板工艺流程图和图3的装板框图,装板框的每层装载线路板,放...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。