技术编号:1329571
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻投射装置,包括-用于提供投射辐射光束的辐射系统;-用于支撑构图部件的支撑结构,所述构图部件用于根据预期的图案对投射光束进行构图;-用于固定基底的基底台;和-用于将图案光束投射到基底目标位置上的投射系统。背景技术 这里使用的术语“构图部件”应广义地解释为能够给入射辐射束赋予以图案截面的部件,其中所述图案与要在基底的目标位置上形成的图案一致;本文中也使用术语“光阀”。一般地,所述图案与在目标位置中形成的器件的特殊功能层相应,如集成电路或者其它...
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